特氣管道系統(tǒng) Special Gas Pipeline System 是指SiH4，NF3，Cl2 等一些具有高危險性，應確保安全性的特氣。公司提供從供氣系統(tǒng)；排氣處理、監(jiān)視系統(tǒng)的綜合管理系統(tǒng)；建立以安全為第i一的特氣管理輸送系統(tǒng)。實驗室供氣系統(tǒng)主要包括中央集中供氣系統(tǒng)和氣瓶分散供氣系統(tǒng)兩種模式。提供設計、選型、制造、安裝、測試、調試和系統(tǒng)托管服務等整體解決方案。

特種氣體是光電子、微電子等領域，特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導體發(fā)光器件和半導體材料制造過程不可缺少的基礎性支撐源材料。銅管只使用在氣體管路的末端和氣體純度不是要求太嚴格的地方（比如通風柜）。它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質量、集成度、特定技術指標和成品率，并從根本上制約著電路和器件的精i確性和準確性。

工程項目覆蓋半導體、集成電路、平板顯示、光電、汽車、新能源、納米、光纖、微電子、石油化工、生物醫(yī)i藥、各類實驗室、研究所、標準檢測等高科技行業(yè)；為客戶提供高純介質輸送系統(tǒng)全套解決方案；逐步成為行業(yè)領i先的整體系統(tǒng)供應商。

氣路系統(tǒng)百科知識

一、氣瓶間。

1、鋼瓶間的設計宜設在中心化驗室的主入口側，并應采取遮陽防曬措施，當鋼瓶間與建筑物為一體時，隔墻應為鋼筋混凝土防爆墻。

2、通風良好，并具有足夠的泄爆面積，室內地面應有防火花，防靜電措施;

3、可燃氣體鋼瓶(H2，C2H2)與助燃氣體鋼瓶(O2)應隔開布置;

4、還應設立泄露報警系統(tǒng)。

二、色譜室。

1、中心化驗室的管道應統(tǒng)籌規(guī)劃、集中布置，以便于安裝、操作和檢修為布置原則;

2、引入中心化驗室的工藝管道總管應設切斷閥，并根據需要設置壓力表、溫度計、流量計、過濾器和減壓閥等。閥門或儀表宜設置在便于觀察和檢修的位置;

3、可燃易i爆氣體如氫氣、乙i炔、氧氣等宜明線鋪設;

4、管道宜集中布置并沿墻明設，且方便安裝及檢修;

5、使用鋼瓶氣管道的設備臺應離墻布置，留出的維修空間不宜小于600mm;

6、氫氣管道宜采用焊接連接，不應采用螺紋連接和使用閘閥。

實驗室氣體管道工程

實驗室供氣系統(tǒng)氣體管路

氣體管路指氣瓶至儀器終端之間連接管線，一般有氣體切換裝置-減壓裝置-閥門-管線-過濾器-報警器-終端箱-調節(jié)閥等部分組成，輸送氣體為實驗室儀器(色譜、原子吸收等)用氣、高純氣體。

使用的氣瓶和備用氣瓶之間有一個半自動調節(jié)閥來控制。所有氣體管路都是高質量的、完全退火、無縫不銹鋼SS-316L。所有氧氣管路都需完全清理干凈，使其適合氧氣使用。氣體管路需要有安全壓力釋放閥門、壓力調節(jié)閥門、壓力表來指示氣體壓力。

實驗供氣系統(tǒng)易i燃易i爆氣體使用安全注意事項

1.易i燃易i爆氣體：此類氣體只要形成了可燃氣體爆i炸混合氣和達到著火溫度。便會發(fā)生燃燒爆i炸事故因此在可燃氣體入口處、氣體鋼瓶存放間、潔凈室

內使用可燃氣體處、敷設可燃氣體的管廊或技術夾層以及可能聚集可燃氣體的場所均應設置可燃氣體報警裝置。具體要求如下：

①可燃氣體比空氣輕者，報警裝置設置在所處場所的頂部。

②可燃氣體比空氣重者，報警裝置設置在所處場所的較低處。

③可燃氣體的報警裝置應與相應的事故排風裝置設電氣連鎖，當空氣中的可燃氣體濃度達到規(guī)定值時，事故排風裝置自動開啟，同時向潔凈廠房的消防安全值班室發(fā)出報警信號。

④為防止倒流回火應在用氣設備的支管上設置阻火器，在排入大氣的排氣管道上，為防止排氣時突遇雷電襲i擊阻止火焰蔓延至可燃氣體管道引發(fā)燃燒爆i炸事故，必須在排氣管道上設置阻火器。

⑤可燃氣體在適當的管道處應做接地，但接地電阻應符合相關規(guī)定。

⑥各種可燃氣體管道系統(tǒng)均應設置能引入氮氣等惰性氣體的接口及相應的檢測口，以便在可燃氣體供應系統(tǒng)使用前后或檢修動火前后對其系統(tǒng)進行吹掃置換，但是惰性氣體吹掃接口在正常運行中不能與氣體鋼瓶或惰性氣體管道相通，以避免影響氣體質量。