氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理與結(jié)構(gòu)

氦質(zhì)譜檢漏儀一般由質(zhì)譜管,真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。其中質(zhì)譜管包括離子源，質(zhì)量分析器和離子檢測(cè)器;真空系統(tǒng)-般由分子泵機(jī)械泵、電磁閥和真空計(jì)組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束，以-定能量注入質(zhì)分析器，目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質(zhì)分析器的作用起將各類(lèi)離子按其質(zhì)荷比的不同實(shí)現(xiàn)分離。04Mpa，對(duì)被檢工件充注氦氣，應(yīng)用真空箱法進(jìn)行氦質(zhì)譜氣密性檢測(cè)，通過(guò)該裝置判斷出被檢工件中的合格與不合格。子檢測(cè)器的作用是手機(jī)質(zhì)星分析器所選定的氦離子流并加以放大，再通過(guò)比對(duì)運(yùn)算，得出泄漏率

真空系統(tǒng)的作用是獲取質(zhì)譜過(guò)程所需的真空，同時(shí)完成被檢件的抽空和氦氣的引入。空系統(tǒng)-般由分子泵、機(jī)械泵、電磁閥和真空計(jì)組成組成。按照真空系統(tǒng)的不同結(jié)構(gòu)，檢漏儀分為常規(guī)系統(tǒng)和逆擴(kuò)散兩種。常規(guī)系統(tǒng)多用于早期的氦質(zhì)譜檢漏儀,該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通，由被檢件泄入的氮?dú)馐紫鹊竭_(dá)質(zhì)譜管被檢到，因而具有較高的靈敏度,但是會(huì)對(duì)質(zhì)譜管有污染。真空箱：采用不銹鋼材質(zhì)制造，其內(nèi)表面在加工后經(jīng)拋光和清洗處理，保證了良好的本底和ji少的藏氣，提高了真空箱的抽空效率。逆擴(kuò)散系統(tǒng)檢漏儀與常規(guī)系統(tǒng)相比，被檢件只與低真空相通,因

此只需將被檢工件抽至低真空就能進(jìn)行檢漏，氦氣是逆擴(kuò)散到質(zhì)譜管,不會(huì)對(duì)系統(tǒng)有污染,因此被廣泛采用,已成為市場(chǎng)的主品。

機(jī)械泵的工作方式不-樣,分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀，油泵工作會(huì)有油霧排出,污染工作環(huán)境，干泵沒(méi)有油霧排出對(duì)工作環(huán)境沒(méi)有影響。在半導(dǎo)體潔凈車(chē)間都是使用干泵檢漏儀。

氦質(zhì)譜檢漏儀

檢漏靈敏度高，可以檢漏到10-11Pam3/s 數(shù)量級(jí)，儀器響應(yīng)快，氦分子在儀器高真空的環(huán)境中擴(kuò)散的速度很高;所以氦質(zhì)譜檢漏儀在許多領(lǐng)域里得到廣泛的應(yīng)用，例如，在航空航天領(lǐng)域里宇宙飛船、航天飛機(jī)、火箭、、飛機(jī)等這些都要用到真空檢漏技術(shù)。在一般工業(yè)領(lǐng)域里原子能、發(fā)電廠、配電站、合成氨的氮肥生產(chǎn)廠、汽車(chē)制造業(yè)、造船工業(yè)、制冷工業(yè)、冶金工業(yè)、輸氣管道、氣罐、油罐、鍋爐快餐食品包裝等都離不開(kāi)檢漏問(wèn)題，同樣在裝備中也離不開(kāi)檢漏，彈體、燃料儲(chǔ)備罐、燃料運(yùn)輸管道、、特殊部件的密封性都要用到氦質(zhì)譜檢漏儀，本文主要真對(duì)氦質(zhì)譜檢漏儀原理及方法進(jìn)行綜述。真空箱式氦檢漏系統(tǒng)科創(chuàng)真空生產(chǎn)、銷(xiāo)售氦檢漏設(shè)備，我們?yōu)槟治鲈摦a(chǎn)品的以下信息。

氦質(zhì)譜檢漏儀

充氦法

充氦法也稱(chēng)負(fù)壓法 ，一個(gè)密閉的氣室連接真空泵和氦氣罐，將被檢零件裝入一個(gè)氣室，開(kāi)始關(guān)閉氦氣罐閥門(mén)，機(jī)械泵把氣室先抽成真空，然后關(guān)閉真空泵閥門(mén)，打開(kāi)氦氣罐閥門(mén)給氣室充氦，并靜置一段時(shí)間。被氦氣包圍的小器件上如果有漏隙，氦氣就慢慢充入小器件內(nèi)部。然后將氣室打開(kāi)，取出被檢器件，用壓縮空氣吹掉其外表面可能吸附的氦。再把這些器件逐個(gè)(或成組) 地裝入接在檢漏儀進(jìn)氣法蘭處的容器中，把此容器抽空后打開(kāi)節(jié)流閥，這時(shí)原先進(jìn)入被檢器件的氦又會(huì)經(jīng)過(guò)漏孔放出來(lái)，檢漏儀就會(huì)給出漏率響應(yīng)。0Mpa)放人水中是否有氣泡從工件中冒出來(lái)，冒泡的位置就是泄露的位置，而根據(jù)冒泡的速率,泡的速率,泡的大小，大約可估漏率。