氦質譜檢漏儀的基本原理與結構

氦質譜檢漏儀一般由質譜管,真空系統和電子系統組成。其中質譜管包括離子源，質量分析器和離子檢測器;真空系統-般由分子泵機械泵、電磁閥和真空計組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束，以-定能量注入質分析器，目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質分析器的作用起將各類離子按其質荷比的不同實現分離。04Mpa，對被檢工件充注氦氣，應用真空箱法進行氦質譜氣密性檢測，通過該裝置判斷出被檢工件中的合格與不合格。子檢測器的作用是手機質星分析器所選定的氦離子流并加以放大，再通過比對運算，得出泄漏率

真空系統的作用是獲取質譜過程所需的真空，同時完成被檢件的抽空和氦氣的引入。空系統-般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成組成。按照真空系統的不同結構，檢漏儀分為常規系統和逆擴散兩種。常規系統多用于早期的氦質譜檢漏儀,該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通，由被檢件泄入的氮氣首先到達質譜管被檢到，因而具有較高的靈敏度,但是會對質譜管有污染。真空箱：采用不銹鋼材質制造，其內表面在加工后經拋光和清洗處理，保證了良好的本底和ji少的藏氣，提高了真空箱的抽空效率。逆擴散系統檢漏儀與常規系統相比，被檢件只與低真空相通,因

此只需將被檢工件抽至低真空就能進行檢漏，氦氣是逆擴散到質譜管,不會對系統有污染,因此被廣泛采用,已成為市場的主品。

機械泵的工作方式不-樣,分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀，油泵工作會有油霧排出,污染工作環境，干泵沒有油霧排出對工作環境沒有影響。在半導體潔凈車間都是使用干泵檢漏儀。

氦質譜檢漏儀

檢漏靈敏度高，可以檢漏到10-11Pam3/s 數量級，儀器響應快，氦分子在儀器高真空的環境中擴散的速度很高;所以氦質譜檢漏儀在許多領域里得到廣泛的應用，例如，在航空航天領域里宇宙飛船、航天飛機、火箭、、飛機等這些都要用到真空檢漏技術。在一般工業領域里原子能、發電廠、配電站、合成氨的氮肥生產廠、汽車制造業、造船工業、制冷工業、冶金工業、輸氣管道、氣罐、油罐、鍋爐快餐食品包裝等都離不開檢漏問題，同樣在裝備中也離不開檢漏，彈體、燃料儲備罐、燃料運輸管道、、特殊部件的密封性都要用到氦質譜檢漏儀，本文主要真對氦質譜檢漏儀原理及方法進行綜述。真空箱式氦檢漏系統科創真空生產、銷售氦檢漏設備，我們為您分析該產品的以下信息。

氦質譜檢漏儀

充氦法

充氦法也稱負壓法 ，一個密閉的氣室連接真空泵和氦氣罐，將被檢零件裝入一個氣室，開始關閉氦氣罐閥門，機械泵把氣室先抽成真空，然后關閉真空泵閥門，打開氦氣罐閥門給氣室充氦，并靜置一段時間。被氦氣包圍的小器件上如果有漏隙，氦氣就慢慢充入小器件內部。然后將氣室打開，取出被檢器件，用壓縮空氣吹掉其外表面可能吸附的氦。再把這些器件逐個(或成組) 地裝入接在檢漏儀進氣法蘭處的容器中，把此容器抽空后打開節流閥，這時原先進入被檢器件的氦又會經過漏孔放出來，檢漏儀就會給出漏率響應。0Mpa)放人水中是否有氣泡從工件中冒出來，冒泡的位置就是泄露的位置，而根據冒泡的速率,泡的速率,泡的大小，大約可估漏率。