隨著真空技術在生產和科學研究領域中對其應用壓強范圍的要求越來越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統共同抽氣后才能滿足生產和科學研究過程的要求，由于真空應用部門所涉及的工作壓力的范圍很寬，因此任何一種類型的真空泵都不可能完全適用于所有的工作壓力范圍，只能根據不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類型的真空泵。為了使用方便和各種真空工藝過程的需要，有時將各種真空泵按其性能要求組合起來，以機組型式應用。

真空泵不斷向高速度發展，由于滑片和泵體的高速摩擦使油溫升高，油品很容易氧化分解，尤其擴散泵往往處于很高的溫度環境下工作，使系統內蒸氣壓升高，真空度降低，因此要求真空泵油具有良好的熱氧化安定性。真空泵吸入的如果是腐蝕性氣體，會與油發生化學反應，腐蝕泵內零件；吸入空氣中往往含有水汽冷凝水，引起真空泵油的乳化并使金屬腐蝕，所以要求具有良好的抗腐蝕和抗乳化性。主要要求真空泵中不攜帶輕質組分，以免影響油品的飽和蒸氣壓。極限壓力是真空泵油重要的使用性能指標以了解在低真空極限壓力下真空泵的極限壓力。

真空泵組閥片的作用：閥片其實對于真空泵機組的運行起到了很大的作用，如果閥片受損就會嚴重影響機組的正常運轉情況，所以這就需要對閥片做好定期檢查，從而確保閥片能夠長久保持良好的使用狀態。真空泵組在運行過程中會出現機械故障，為了預防這些可能出現的故障，首先保證設備的密封效果，一般會在真空泵兩端的柔性排氣孔上安裝一組閥片，閥片的作用是為了盡可能的緩解由于真空泵工作出現的氣壓不穩影響到內部壓縮作業效果的情況。

真空泵按其工作原理，基本上分為氣體輸送泵和氣體捕集泵兩種類型。氣體輸送泵包括：1、液環真空泵(水環式真空泵)2、往復式真空泵3、旋片式真空泵4、定片式真空泵5、滑閥式真空泵6、余擺線真空泵7、干式真空泵8、羅茨真空泵9、分子真空泵10、牽引分子泵11、復合式真空泵12、水噴射真空泵13、氣體噴射泵14、蒸汽噴射泵15、擴散泵等。氣體捕集泵包括：吸附泵和低溫泵等。工業中應用多的是水環式真空泵和旋片式真空泵等。