隨著真空技術(shù)在生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域中對其應(yīng)用壓強(qiáng)范圍的要求越來越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統(tǒng)共同抽氣后才能滿足生產(chǎn)和科學(xué)研究過程的要求，由于真空應(yīng)用部門所涉及的工作壓力的范圍很寬，因此任何一種類型的真空泵都不可能完全適用于所有的工作壓力范圍，只能根據(jù)不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類型的真空泵。為了使用方便和各種真空工藝過程的需要，有時(shí)將各種真空泵按其性能要求組合起來，以機(jī)組型式應(yīng)用。

真空泵不斷向高速度發(fā)展，由于滑片和泵體的高速摩擦使油溫升高，油品很容易氧化分解，尤其擴(kuò)散泵往往處于很高的溫度環(huán)境下工作，使系統(tǒng)內(nèi)蒸氣壓升高，真空度降低，因此要求真空泵油具有良好的熱氧化安定性。真空泵吸入的如果是腐蝕性氣體，會與油發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，腐蝕泵內(nèi)零件；吸入空氣中往往含有水汽冷凝水，引起真空泵油的乳化并使金屬腐蝕，所以要求具有良好的抗腐蝕和抗乳化性。主要要求真空泵中不攜帶輕質(zhì)組分，以免影響油品的飽和蒸氣壓。極限壓力是真空泵油重要的使用性能指標(biāo)以了解在低真空極限壓力下真空泵的極限壓力。

真空泵組閥片的作用：閥片其實(shí)對于真空泵機(jī)組的運(yùn)行起到了很大的作用，如果閥片受損就會嚴(yán)重影響機(jī)組的正常運(yùn)轉(zhuǎn)情況，所以這就需要對閥片做好定期檢查，從而確保閥片能夠長久保持良好的使用狀態(tài)。真空泵組在運(yùn)行過程中會出現(xiàn)機(jī)械故障，為了預(yù)防這些可能出現(xiàn)的故障，首先保證設(shè)備的密封效果，一般會在真空泵兩端的柔性排氣孔上安裝一組閥片，閥片的作用是為了盡可能的緩解由于真空泵工作出現(xiàn)的氣壓不穩(wěn)影響到內(nèi)部壓縮作業(yè)效果的情況。

真空泵按其工作原理，基本上分為氣體輸送泵和氣體捕集泵兩種類型。氣體輸送泵包括：1、液環(huán)真空泵(水環(huán)式真空泵)2、往復(fù)式真空泵3、旋片式真空泵4、定片式真空泵5、滑閥式真空泵6、余擺線真空泵7、干式真空泵8、羅茨真空泵9、分子真空泵10、牽引分子泵11、復(fù)合式真空泵12、水噴射真空泵13、氣體噴射泵14、蒸汽噴射泵15、擴(kuò)散泵等。氣體捕集泵包括：吸附泵和低溫泵等。工業(yè)中應(yīng)用多的是水環(huán)式真空泵和旋片式真空泵等。