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磁場屏蔽出現(xiàn)的問題

旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子在磁場中產(chǎn)生渦電流，將使轉(zhuǎn)子發(fā)熱，將產(chǎn)生如下問題：①、轉(zhuǎn)子與定子間隙越來越小，造成碎片；②、轉(zhuǎn)子溫升過大造成磁性電機(jī)轉(zhuǎn)子退磁；③、由于發(fā)熱會減弱鋁材料的強(qiáng)度，造成碎泵；④、轉(zhuǎn)子發(fā)熱，改變轉(zhuǎn)子和軸的相對位置，造成碎泵。分子泵在磁場中運(yùn)轉(zhuǎn)時，徑向和軸向磁場強(qiáng)度均不得大于30Gs。原則上，大于30Gs應(yīng)使用導(dǎo)磁材料屏蔽。

分子泵啟動的條件：①、啟動條件：連接無誤、無漏、冷卻、潤滑、真空度②、啟動時間：同時啟動——小系統(tǒng)，防前級泵油上返。延遲啟動——系統(tǒng)容積過大,先啟動前級泵，至系統(tǒng)壓強(qiáng)P=200Pa時，啟動分子泵。從逆擴(kuò)散型檢漏儀的檢漏過程出發(fā)，通過實(shí)驗討論分子泵轉(zhuǎn)速對氦質(zhì)譜檢漏儀檢測結(jié)果的影響，并分析產(chǎn)生這種結(jié)果的原因。

分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動量傳輸給氣體分子,使之獲得定向速度,從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。分子泵是獲得高真空和超高真空的關(guān)鍵設(shè)備之一。它被廣泛應(yīng)用于電子工業(yè)、表面工程、核能工業(yè)、等離子體技術(shù)、薄膜工程等工業(yè)領(lǐng)域和研究部門。它操作簡單、啟動時間短,在分子流區(qū)域內(nèi)對各種氣體的有效抽速幾乎不變,對分子量高的氣體壓縮比高,可以獲得清潔無油的高真空和超高真空環(huán)境。

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許多設(shè)備在工作時都會產(chǎn)生磁場，比如，家用電冰箱的磁場強(qiáng)度約有10高斯（1mT），MRI（）的磁場強(qiáng)度甚至?xí)哌_(dá)3T；盡管可以采取屏蔽等措施，仍然可能會有外漏的雜散磁場，對工作在附近的分子泵產(chǎn)生不好的影響。磁場對渦輪分子泵的可能影響當(dāng)渦輪分子泵的轉(zhuǎn)子在磁場中旋轉(zhuǎn)時，會產(chǎn)生渦流。這些電流傾向于阻礙轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)，并導(dǎo)致電機(jī)的功率增大。

由于泵轉(zhuǎn)子不與定子接觸，渦生的熱量和額外的功率主要通過輻射消散。因此，轉(zhuǎn)子可能會過熱，即使泵體及其它靜止的部件仍然是冷的。為了確認(rèn)磁場對分子泵工作的影響，德國卡爾斯魯厄理工學(xué)院（）設(shè)計并執(zhí)行了下面的測試：測試條件和裝置被測分子泵的型號為TwisTorr304FSCFF6，使用一對亥姆霍茲線圈(直徑120厘米)來產(chǎn)生包圍整個泵的均勻磁場。

被測分子泵由一臺渦旋干泵作為前級，分子泵的進(jìn)氣口壓力抽至1E-3mbar以下（該壓力以下，熱對流幾乎為零，分子泵轉(zhuǎn)子的熱量僅可以通過輻射傳遞出去很小的一部分）。使用20℃的冷卻水對分子泵持續(xù)進(jìn)行冷卻；分子泵的控制器會自動調(diào)整電機(jī)電流，保持轉(zhuǎn)子以恒定轉(zhuǎn)速運(yùn)行。

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除了可以承受更大的氣體流量，譜拓系列分子泵還擁有其他TwissTorr分子泵除高壓縮比之外的所有特點(diǎn)：

先進(jìn)的連接選項（RS232、NFC、藍(lán)牙等），可以通過A-Plus軟件連接電腦或者通過VacuumlinkAPP用手機(jī)進(jìn)行無線操控

AFS懸浮軸承技術(shù)，抗震性好，噪音低

免維護(hù)軸承，零運(yùn)行成本

無油運(yùn)行，可確保真空系統(tǒng)潔凈

體積小巧，可安裝在任何位置，有利于輕松集成

防輻射和防磁場設(shè)計，無嵌入式電子設(shè)備，可在強(qiáng)磁場和輻射環(huán)境下運(yùn)行

低電磁輻射，確保不會干擾工藝制程

我們此前曾發(fā)布過幾篇文章，講到使用真空產(chǎn)品如何讓企業(yè)節(jié)約成本、嘗到甜頭（詳情請點(diǎn)擊：這里）。今天，我們再給大家介紹一個在節(jié)能燈制作中應(yīng)用分子泵節(jié)約成本的案例。

為什么要把替換為分子泵機(jī)組？在制造節(jié)能燈的企業(yè)單位，有相當(dāng)一部分都采用圓排機(jī)自動線，生產(chǎn)，產(chǎn)品質(zhì)量一致性好。

但是，圓排機(jī)一般配置均采用直聯(lián)式真空泵和譜拓真空泵作為機(jī)組，這樣便帶來了新的問題：①耗電量高；②噪音大；③占用面積大。因此，各照明設(shè)備企業(yè)和照明生產(chǎn)企業(yè)都積極尋找新工藝新方法來進(jìn)行技改，以求改善這些狀況。在這個過程中，公司與上海涌真機(jī)械有限公司不謀而合，并與上海正貝照明一起達(dá)成共識，用分子泵機(jī)組來替代。

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當(dāng)時現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)的分子泵不能直接用到圓排機(jī)上，因為圓排機(jī)的工況，工作過程中燈管不可避免地會產(chǎn)生漏氣和破損而產(chǎn)生的壓力高、大氣流的沖擊和碎屑等的情況。鑒于此，由公司專項研制高壓強(qiáng)分子泵，由上海涌真機(jī)械有限公司實(shí)施圓排車制造替換譜拓泵，把公司研制的分子泵應(yīng)用在上海正貝照明制造的圓排車上，進(jìn)行的替代設(shè)計制造。

此后，公司成功研制出FF-160/500G分子泵，其技術(shù)參數(shù)詳見表1。表1 FF-160/500G復(fù)合分子泵技術(shù)參數(shù)替換方案此前圓排機(jī)上的兩套分別為：一臺ZJP150譜拓泵和TRP-16一臺真空泵和凱尼ZJ150譜拓泵和愛發(fā)科VD401真空泵的譜拓真空組。左：普通分子泵；右：高壓強(qiáng)分子泵替換方案為：一套由一臺KYKY公司的FF160/500G分子泵，前級為北儀優(yōu)成的TRP-60或TRP-48真空泵，過渡真空室、接管、真空測量系統(tǒng)組成的機(jī)組（簡稱分子泵機(jī)組）。

現(xiàn)一臺分子泵機(jī)組拖7工位，可增至10個工位。原兩臺拖7工位。表2 工作監(jiān)控情況及對比數(shù)據(jù)表實(shí)際效果對比分析分子泵機(jī)組比抽氣速率大，真空度高近一個數(shù)量級。而且相較而言，分子泵機(jī)組的噪音更小，占地面積更小。在運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用方面，按一年280天計算，每天24h，全年就是6720h。單位：元

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