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泵的傳動方式真空泵的兩個轉子是通過一對高精度齒輪來實現其相對同步運轉的。主動軸通過聯軸器與電機聯接。在傳動結構布置上主要有以下兩種:其一是電動機與齒輪放在轉子的同一側如圖。從動轉子由電動機端齒輪直接傳過去帶動,這樣主動轉子軸的扭轉變形小,則兩個轉子之間的間隙不會因主動軸的扭轉變形大而改變,故使轉子之間的間隙在運轉過程中均勻。這種傳動方式的大缺點是:a.主動軸上有三個軸承,增加了泵的加工和裝配難度,齒輪的拆裝及調整也不便;b.整體結構不勻稱,泵的偏向電動機和齒輪箱一側。
干泵;國外干泵市場的不斷增長,其主要驅動來自于半導體行業、化學工業、薄膜產業的迅速發展。在日本,半導體行業已全部用干式真空泵代替油封式機械泵,歐美半導體行業45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵,大大提高了產品的性能和質量。為了滿足不同應用領域和不同工況的要求,國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa~10-2Pa,抽速從20m3/h~500m3/h。
在確定了工藝要求的真空度的基礎上檢查真空泵系統的極限真空度,因為系統的極限真空度決定了系統的佳工作真空度。一般來講,系統的極限真空度比系統的工作真空度低20%,比前級泵的極限真空度低50%。檢查確定工藝要求的抽氣種類與抽氣量。因為如果被抽氣體種類與泵內液體發生反應,泵系統將被污染。同時必須考慮確定合適的排氣時間與抽氣過程中產生的氣體量。檢查確定達到要求的真空度所需要的時間、真空管道的流阻與泄漏。考慮達到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。
冷凝水的影響: 冷凝水在多級真空泵中具有無足輕重的位置, 為了包管冷凝水可以將蒸汽充沛冷凝, 真空泵排出壓力中的水蒸汽分壓有必要高于其所對應的飽滿蒸汽壓, 所以冷凝水的溫度也要低于該壓力下的飽滿溫度, 才干包管泵體的正常作業。別的, 冷凝器的冷凝功率也是十分要害的, 冷凝器的冷凝作用差, 會使蒸汽因來不及冷凝而直接進入下一級泵, 加大后級泵的負荷, 影響泵的抽氣才能。為此,冷凝水的進口溫度, 流量及冷凝器的運用情況對泵的功能均有很大的影響。