廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫分子泵控制器維修維護

振動分析 在制造過程中以及泵運輸前的測試中，對每臺泵的振動頻譜進行驗證。全速下的平均大振動水平：0.4 m/s2。噪音測試 通過在以下 12 種不同運行狀態和方向下對一批泵進行一系列測試，來驗證泵噪音：垂直、水平和翻轉位置；高溫和低溫；全速和低速。在正常運行狀態下，168 次測量得到的平均噪音為 41 dB(A)+/-3σ。包裝測試 通過對帶包裝的泵進行測試來驗證包裝性能，在測試時，使帶包裝的泵從 96 厘米/37.8 英寸的高度以各種角度跌落 18 次。裝有 TwisTorr 305 的包裝箱可承受 30 g 的加速度，以確保在運輸過程中不會因跌落或運輸而損壞。

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分子泵控制器 “3D” 控制軟件

早期的分子泵控制器又叫分子泵電源，其的功能是向分子泵供電；后來，改進型的控制器具備了一定的保護功能，可以監控分子泵的功率和溫度，相當于為分子泵的工作狀態設置了一條紅線，分子泵只能在這條線以下工作（2D），若超過這條線控制器就會報警停機。

與 704FS 配合工作的安捷倫新一代分子泵控制器，變被動保護為主動調整，可以根據不同的工藝條件，自動調整輸出功率和轉速，使泵在保證自身安全的同時，始終工作在一個達到優性能的曲面上（3D），達到佳的氣載量和壓縮比。同時因為避免了分子泵超負荷運行，可以延長其使用壽命。

與 704FS 同時發布的還有 804FS 和 404FS，加上之前的 84FS 和 304FS，形成了一個完整的系列。

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安捷倫分子泵標準保養服務安捷倫維修中心提供各型號安捷倫分子泵的標準保養服務，主要項目包括：對整泵進行拆解和清洗、更換密封和軸承套件、動平衡調試和泄漏檢測等。安捷倫的分子泵設計是免日常維護的。由于工藝環境差異，分子泵的工作壽命差別很大，但是如果分子泵已經工作了很長時間（5年以上），或者出現了噪音、溫度、功率異常，及時的對其進行維護保養可以大大延長其使用壽命。

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油潤滑分子泵：潤滑油量小，且在前級真空段，對真空室污染小。脂潤滑分子泵：油脂量小，前級配干泵可獲得近似無油的清潔真空。全磁懸浮分子泵：無須潤滑，與干泵一起使用，可獲得無油的清潔真空環境

干式真空泵主要應用于半導體、化工、電影、儀器、食品等范圍廣泛的行業，市場上超過50%的產品是進口品牌，尤其在半導體行業中，絕大多數的真空泵均為國外品牌，國產真空泵主要應用于化工等行業。

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對使用過的安捷倫擴散泵做過保養的客戶都會有一種印象，與別的擴散泵經常會結滿黑黑的油垢不同，安捷倫的擴散泵噴塔往往在使用好幾年后也非常干凈，有客戶甚至猜測安捷倫的擴散泵噴塔使用了類似不粘鍋的涂層。其實，這主要是因為安捷倫擴散泵噴塔上防焦化擋板設計——在每一級噴嘴的上方，都會有一個與下面的噴塔點接觸的罩子，該罩子的溫度比噴塔低很多，所以，從上方滴下的油滴就不會落到高溫的泵塔上焦化結垢，而是滴落在低溫的擋板上，這就保證了安捷倫擴散泵的噴塔可以一直很干凈，不用定期費時費力清洗

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一般的檢漏儀只能設置大于某一漏率的報警值。因此在系統檢漏時，當分流比過大卻沒有設置相應的分流比，或者當檢漏閥門關閉或堵塞時，就有可能錯過泄漏。安捷倫 HLD 系列檢漏儀可以同時設置大于某一漏率和小于某一漏率的報警值。這樣，當檢漏儀的漏率小于經驗的本底值或者預先安裝的標準漏孔的值時，就會觸發報警。另外，在使用自動排序器模式進行密封元器件的檢漏時，除了對漏率可以同時設置大于和小于某一漏率的報警值外（使用背壓法檢漏的器件，當泄漏很大時，檢漏儀的讀數反而會很?。?，還可以設置長粗抽時間和檢漏時間，從而盡可能地避免系統污染、漏氣、堵塞等帶來的誤報、漏報等