真空泵維修應經帶保持清潔，真空泵上不得放置其它物件，

注意皮帶松緊是杏適當.必要時應調整或更換，

應每年定期更換了1~3次真空泵油)。真空熔煉用的機械真空泵，每月可能換油多坎。這是由干真空泵在使用過程中，真空泵油會被灰、水分或其它臟物污染或皂、碳化，影晌真空泵的性能，因此，需要根據具體情況定期換油。

工作環境更好，環境影響低：

安靜運轉

操作簡單：

智能且易于使用控制

無污染且不需要處理油：

采用密封結構，實現了無潤滑劑真空環境

低擁有 成本：

長維修間隔和低功耗

更快的制程：

出色的蒸汽處理能力

有許多消費者可能是真空泵在使用時出現了一些小故障，為了節約成本就會拿去維修，也不管找到的維修商家是否有能力修好該真空泵，只一味的注重價格。真空泵要處于通風位置或者室內裝有降溫裝置也可以，原因也是一樣的，只是為了讓真空泵的散熱性能更好，盡可能的降低真空泵的工作溫度。耗材及時更換。其中的又是：油霧分離器（排氣濾芯）和油。這兩種耗材一定要及時的更換。排氣過濾器如果一旦出現報廢或者其他質量問題時第yi時間更換！油出現了顏色變色、沉淀物增多、開始出現乳化等現象時不能僅僅停留在加油的保養，要全部更換真空泵油

適用于 Applied Materials 制程平臺的 IPUP

IPUP2：緊湊型低能量的 180m3/h 干泵，用于晶圓加工和其他清潔工作應用。它能夠 以低能耗快速抽空負載鎖定艙室。

IPUP2 小巧輕便，適用于負載鎖定 和清潔應用。其低振動和低噪聲級的優點使其適合于 在機臺上使用或安裝在工廠的夾心層中，從而有助于節省寶貴的 工廠地面空間，同時程序地提高泵送性能。環保模式可在 空閑期間降低設備使用率，從而降低使用成本， 有助于保護環境。

適合在 Applied Materials 的制程平臺上使用， 可提高處理能力，同時減少能耗。

3 萬億次循環 MTBF

與原始 IPUP? 相比，速度 提高 50%，能耗降低 70%

提供適用于現有 IPUP? 的 插入式替換部件

我們這里提到的真空泵維修是指真空泵腐蝕的維修。真空泵維修的方法之一就是在真空泵表層涂上有機涂層，該方法非常有效。

有關真空泵的工作原理、真空泵價格和真空泵維修等知識就為大家介紹到這里了，如果您還想了解更多有關真空泵的知識的話，就請繼續關注我們。

iGX 干泵真空系統

iGX 干式真空泵系列為 大修之間零維護現代干泵樹立了新標準；這 使其成為了世界上受歡迎的干泵之一，目前已在大多數 的 300mm 工廠中安裝了 20,000 套以上。 iGX 系列包括 MicroTIM 工具 接口和以太網連接，允許通過網頁查看 主要數據，同時包括一套的網絡選項， 可確保泵持續運轉。

iGX 泵的峰值速度范圍 很寬，并可以改變以適合各種應用條件，包括從清潔 到中等負載制程。模塊化設計允許用戶對 iGX 干泵 進行配置以適合各個工廠的要求。緊湊的占地面積允許使用多種安裝 選項，包括工具上、近程和遠程操作。

通過使用 iGX 干泵技術， 整個工廠通常可以在設施成本方面實現 40%* 的節省 （與 iL/iH 干泵相比）。

基于包含 200 個工具、537 臺泵/70% iGX 泵、30% iH 泵/ iGX 配有恒流水閥的 300mm 美國工廠。