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一般潔凈室高度控制在2.60米,對個別較高的設備可在局部加高,而不宜提高潔凈區的高度。潔凈室的構成是由下列各項系統所組成(在所組成的系統分子中是缺一不可的),否則將無法構成一完整且品質良好的潔凈室。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規模集成電路生產的光刻工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。

現在我們國家的經濟科技在發展,同時帶動了社會各行各業在告訴發展中。以凈化工程這個行業為例,在目前呈現一片喜人的發展態勢。壓力差的維持依靠新風量,這個新風量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。設計合理的空間面積應考慮到設備操作、維修的需要。生產區和儲存區應有與生產規模相適應的空間面積,用以安置設備、物料,便于操作和維修。

1級:塵埃易使芯片失效或者穩定性下降,當金屬塵埃落于集成電路上時,就可能造成短路。當空氣中的酸性離子落在電路上時,可能將電路腐蝕,因此凈化空調系統對微電子工業而言至關重要。此外,液晶、光纖的生產也需要1級潔凈度的要求。凈化工程在設計時,無論是新建還是重新改造的凈化車間,都一定依照國家相關標準、規范進行。設計凈化系統組織的原則是相鄰二級過濾器的效率不能太接近,也不能相差太大。一般采用初效、中效、亞(或)三級過濾器。也可分四級,增加一級過濾器。

工業潔凈室適用于精密機械工業、電子工業(半導體、集成電路等)宇航工業、高純度化學工業、原子能工業、光磁產品工業(光盤、膠片、磁帶生產)LCD(液晶玻璃)、電腦硬盤、電腦磁頭生產等多行業。潔凈廠房設置電話,對講電話,可以減少人員在潔凈區走動,減少發塵量,也可在萬一發生火災時及時與外部聯系,也為正常工作聯系創造條件。在建造無塵車間時,將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪 音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,為了避免外界污染侵入,需求堅持內部的壓力高于外部的壓力。
