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一般潔凈室高度控制在2.60米,對(duì)個(gè)別較高的設(shè)備可在局部加高,而不宜提高潔凈區(qū)的高度。潔凈室的構(gòu)成是由下列各項(xiàng)系統(tǒng)所組成(在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的),否則將無(wú)法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的潔凈室。具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來(lái)越精細(xì),所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。
現(xiàn)在我們國(guó)家的經(jīng)濟(jì)科技在發(fā)展,同時(shí)帶動(dòng)了社會(huì)各行各業(yè)在告訴發(fā)展中。以凈化工程這個(gè)行業(yè)為例,在目前呈現(xiàn)一片喜人的發(fā)展態(tài)勢(shì)。壓力差的維持依靠新風(fēng)量,這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風(fēng)量通過(guò)潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。設(shè)計(jì)合理的空間面積應(yīng)考慮到設(shè)備操作、維修的需要。生產(chǎn)區(qū)和儲(chǔ)存區(qū)應(yīng)有與生產(chǎn)規(guī)模相適應(yīng)的空間面積,用以安置設(shè)備、物料,便于操作和維修。
1級(jí):塵埃易使芯片失效或者穩(wěn)定性下降,當(dāng)金屬塵埃落于集成電路上時(shí),就可能造成短路。當(dāng)空氣中的酸性離子落在電路上時(shí),可能將電路腐蝕,因此凈化空調(diào)系統(tǒng)對(duì)微電子工業(yè)而言至關(guān)重要。此外,液晶、光纖的生產(chǎn)也需要1級(jí)潔凈度的要求。凈化工程在設(shè)計(jì)時(shí),無(wú)論是新建還是重新改造的凈化車間,都一定依照國(guó)家相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范進(jìn)行。設(shè)計(jì)凈化系統(tǒng)組織的原則是相鄰二級(jí)過(guò)濾器的效率不能太接近,也不能相差太大。一般采用初效、中效、亞(或)三級(jí)過(guò)濾器。也可分四級(jí),增加一級(jí)過(guò)濾器。
工業(yè)潔凈室適用于精密機(jī)械工業(yè)、電子工業(yè)(半導(dǎo)體、集成電路等)宇航工業(yè)、高純度化學(xué)工業(yè)、原子能工業(yè)、光磁產(chǎn)品工業(yè)(光盤、膠片、磁帶生產(chǎn))LCD(液晶玻璃)、電腦硬盤、電腦磁頭生產(chǎn)等多行業(yè)。潔凈廠房設(shè)置電話,對(duì)講電話,可以減少人員在潔凈區(qū)走動(dòng),減少發(fā)塵量,也可在萬(wàn)一發(fā)生火災(zāi)時(shí)及時(shí)與外部聯(lián)系,也為正常工作聯(lián)系創(chuàng)造條件。在建造無(wú)塵車間時(shí),將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪 音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),為了避免外界污染侵入,需求堅(jiān)持內(nèi)部的壓力高于外部的壓力。