光學微電子凈化工程之定義為將一定空間范圍內之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給于特別設計之密閉空間。

光學微電子凈化工程亦名無塵室或清凈室，目前已是半導體、精密制造、液晶制造、光學制造、線路板制造和生物化學、醫1藥、食品制造等行業不可或缺的重要設施。近幾年來，由于技術之創新發展，對于產品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切，如超大型積體電路之研究制造，已成為世界各國在科技發展上極為重視的項目，而我公司的設計理念及施工技術在行業中則處于領1先地位。

第三代：低溫等離子技術

主要原理是，通過給氣體外加電壓至氣體的放電電壓，使氣體被擊穿，產生各種強氧化性的低溫等離子。

空氣凈化工程在提高產品質量等方面有很明顯的效果，據國外文獻的報導，對于半導體在10000級和l00級潔凈室中制造的產品通過耐壓試驗，在l00級潔凈室和外大氣環境中進行晶體管涂布擴散，100級潔凈室中產品的性能分布集中，而且峰值出現在更的地方。而在大氣環境中的產品的性能極為分散，性能也極不穩定。可以看出，①有無空氣凈化，產品成品率有很大差別，②為了提高產品質量，不僅生產產品的環境需要潔凈，而且其關鍵的原材料、配料的生產也應在潔凈環境中進行。

凈化工程它是一個整體，對于其中的每個環節都要細致檢查，只有做好每一個細節，才能讓整個系統完善，發揮1大的價值。因此，大家要知道凈化工程的設計既要滿足工藝的條件，又要結合土建的安排，房間能不暴露的物體盡量都不要暴露，而暴露的物體要做到盡可能的光滑，便于清洗，因此比如說通風管道和電纜等盡量設在吊頂里面。