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7、該組合裝置對激光對中儀實施校準的測量不確定的分析驗證
對激光對中儀進行測量,進行零位校準時,主要的不確定度分量為測量重復(fù)性和標準裝置分別引入的不確定度分量,由溫度引起的不確定度分量由于激光對中儀的靶面均與同樣的環(huán)境下,所以不做分析。
7.1零位校準的不確定度分析
零位校準由測量重復(fù)性引入的不確定度分量為u1
在重復(fù)性測量條件下,選擇三點鐘方向,重復(fù)項測量10次,測量數(shù)據(jù)均為0,則由測量重復(fù)性引入的不確定度分量為0,自由度為9,
對于三米測長機引入的不確定分量,選擇B類方法評定方法進行評定,三米測長機引入的誤差為1.5um,符合均勻分布,則不確定度分量u2為
在重復(fù)性測量條件下,分別選擇橫向和縱向方向,重復(fù)項測量10次,分別用A類不確定方法,評定其測量誤差
用貝塞爾函數(shù)計算得:0.56um和0.63um,則激光對中儀進行橫向和縱向由測量重復(fù)性引入的不確定度分量為分別為0.56um和0.63um,自由度為9,
工具顯微鏡的測量誤差為1.5um,選擇B類方法評定方法進行評定,三米測長機引入的誤差為1.5um,符合均勻分布,則不確定度分量u2為
其擴展不確定度小于激光對中儀的zui大測量誤差的三分之一,所以此校準方法符合要求