潔凈室中的溫濕度控制

潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間溫度不宜超過25度，濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結露，如果發生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。在本設計里是指末端工藝的一些無塵車間，其凈化潔凈度一般為千級或萬級或十萬級。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面難以清除。相對濕度越高,粘附的越難去掉，但當相對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導體器件容易發生擊穿。對于硅片生產濕度范圍為35—45%。

光學微電子凈化工程解決方案:

2、光學微電子行業凈化工程設計方案分析之水冷柜機+增壓風柜+高1效送風口

缺點：

A.需要小面積的機房。需要有冷卻塔、冷卻水泵的擺放位置;

B.空調機組與空調處理機組要集中布置;

C.造價較低。特點：這種方案可以是一次回風也可以是二次回風，具體根據車間的大小情況而定;這類方案一般可以適用于潔凈度為千級、萬級、十萬級等的凈化無塵廠房。

千級無塵車間管理規范 ▼標簽： 千級無塵車間 環保工程 凈化工程 空氣凈化

1. 凈化工程1.目的為無塵室清潔建立規范從而保證產品的質量。

2 范圍 適用于千級無塵室生產車間及進出人員、物料。

3 定義 無

4 職責 生產部：負責無塵室清潔的執行。 品質部：負責對無塵室的潔凈度進行檢驗。 5 內容與要求

5.1 風淋室清潔：

5.1.1 每天上午和下午下班時對風淋室進行清潔，擦拭灰塵和換除塵墊。

5.1.2 進入車間時風淋時間為20秒。

5.2 無塵室清潔：

5.2.1 每天上午和下午下進時進行清潔，用吸塵器進行吸塵。

5.2.2 每三天進行一次大清潔，用濕海棉擦地面。

5.2.3 每天上午和下午上班后30分鐘內生產主管進行溫濕度檢驗并記錄。

5.2.4 溫度要求25±3℃；濕度要求≤65%。如達不到則進行空調調節直到合格才能生產。

5.3 潔凈度檢驗:

5.3.1 品質部每天上午9:00前,下午14:00前用塵埃粒子測試儀進行檢驗并記錄結果.

5.3.2如檢驗達不到千級要求則生產部停止生產進行清潔,直到檢驗OK方可生產.

5.4 人員進出:

5.4.1 人員進入前按《千級無塵室著裝規范》著裝.

5.4.2 所有人員從風淋室進,出口出,不得違規進出.

5.4.3 緊急出口只能在發生緊急情況下或運送機器時才能使用.

5.5 物料進出:

5.5.1 所有材料必須從風淋窗口進入.

5.5.2 任何容易帶有或產生灰塵、紙屑的物料不得進入和使用。

6 記錄及相關文件

6.1《溫濕度記錄表》

6.2《塵埃粒子檢驗記錄表》

6.3《千級無塵室著裝規定》