真空泵維修的結構特征以及零部件磨損規律，通常采用以下兩類典型的維修方式。

1、事后維修

它是指機械設備發生故障后才進行的維修。它包括查找故障部位、進行修復或更換零部件、調整、驗收等一系列技術活動，是一種古老的維修方式，僅適用于安全性、可靠性要求不高的情況。

2、預防維修

預防維修是指機械未發生停機故障或損失之前所進行的維修。隨著設備或系統結構的日趨復雜，以及因發生故障所造成的經濟損失日益增大，那種只通過事后維修的方法越來越滿足不了需要，采用預防維修是不可缺少的。

的艙室抽空時間可減少 總體平均循環時間 (TACT)

僅僅 0.55kW 的功耗 有助于減少客戶擁有成本

環保模式可以在空閑 期間多減少 92% 的功耗

35oC 的水 供給有助于降低設備冷卻水要求

且極輕， 有助于節省寶貴的工廠空間

適用于嚴苛應用的大型 iXL 干泵

iXL1000：緊湊型低能量的干 泵，適用于輕負載應用。它提供快速艙室抽空和 極低的功耗。可用于輕負載應用（如晶圓加工、PVD 和 計量）的且安靜的泵之一。此產品 在高度成功的 iXL120 泵的基礎上構建，具有高抽取速度和 低能耗特性。通過環保模式可在空閑期間降低設備 使用率，從而降低成本并幫助保護環境。

Edwards E2M175/275 系列雙級油封旋轉葉片真空泵因其限真空、高抽取速度、運行噪音小以及能夠處理水蒸汽而享有盛譽。這些直接傳動旋轉式葉片泵設計緊湊且無振動，配備防傷手風扇和聯軸器殼體，可為操作人員提供的保護。這種泵能勝任大多數工作，并且可在其正常運行參數范圍內，安全地處理非氣體和蒸汽。

應用

真空冶金加工

薄膜覆層技術

制藥冷凍干燥

冷凍和空調系統

抽空、干燥和回填

特性和優點

可靠性：

可靠且穩定的制程 - 即使是在高氣體負荷下也可提供有效的潤滑

穩定：

無制程污染 - 油和空氣反吸保護

性能：

長期無故障 - 傳動軸桿上安裝有工業級滾柱軸承

再保證：

安心 - 經過多年嘗試、測試，已經成為工業標準

可靠且穩定 - 高真空性能

泵系列

E2M175

E2M175FX

E2M175T3

E2M275

E2M275T3

真空泵在工作1個月內，經100小時更換潤滑油，以后每個500小時，換油一次。經常調整填料壓蓋，保證填料室內的滴漏情況正常（以成滴漏出為宜）。定期檢查軸套的磨損情況，磨損較大后應及時更換。真空泵在寒冬季節使用時，停車后，需將泵體下部放水螺塞擰開將介質放凈。防止凍裂。真空泵長期停用，需將泵全部拆開，擦干水分，將轉動部位及結合處涂以油脂裝好，妥善保管。

螺桿真空泵是利用一對相互嚙合的螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉而產生的吸氣和排氣作用的抽氣設備，兩螺桿經精細動平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，因此泵工作時，相互之間無磨擦，運轉平穩，噪音低，工作腔無需潤滑油，因此，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及粉塵的氣體場合。

真空泵維修是的真空設備供應商，在工業、制藥、化工、科研、加工、玻璃鍍膜、食品包裝行業以及廣泛的研發應用的真空技術占有領導地位。日本Seiko Seiki曾是清潔和干燥真空技術的，STP系列磁懸浮分子泵1983年在全世界范圍內開始廣泛銷售，如今被Edwards收購。