無塵室(Clean Room)，亦稱為無塵室或清凈室。它是污染控制的基礎。控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當的微粒潔凈度級別。2、無塵室廠區功能設施一定要配套,必須有保證產品生產所需的生產、倉庫、科研、辦公及水、電、汽、氣公用工程等主要功能廠房設施以外,還應配備三廢處理池、廢渣料與垃圾臨時堆放場地、停車庫、機修、飯堂等輔助設施。無塵室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。

所謂無塵并非沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微，但是對于光學構造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的影響，所以在光學構造產品的生產上，無塵是必然的要求。應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。 無塵室中不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

在高等級的無塵室中從天花板到地面，完全除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流動。這是在約10秒內將室內空氣和完全過濾空氣完全交換所計算出來的數值。同時，空氣的流向也必須要有精準的控制才行。手套材料除為與潔凈衣相同的布料外尚有薄橡膠或乙烯樹脂（Vinyl），在使用過程中若有不舒適感或妨害手指脂觸感者則停止使用，手套表面有粉質時須去除或停用，原則上以使用無粉之Vinyl手套為佳。特別要保證氣流的流通路徑暢通無阻，因為在流通路徑中有障礙物的話，容易產生空氣空氣渦流而形成空氣的滯留區域，使得附近已發生的微粒子無法快速排除而長時間漂流在無塵室內，而一部分會附著在周邊機器設備的表面而引起污染。

潔凈室用鞋要合腳且穿起來舒適為基本條件，容易洗滌，底則采用塑膠底，布質部分則采用與潔凈衣相同材質即可，鞋子穿著時潔凈衣腳跟部分應完全塞入緊密包著。手套材料除為與潔凈衣相同的布料外尚有薄橡膠或乙烯樹脂（Vinyl），在使用過程中若有不舒適感或妨害手指脂觸感者則停止使用，手套表面有粉質時須去除或停用，原則上以使用無粉之Vinyl手套為佳。（清潔急救網合作工廠伙伴為清潔同行提供無塵車間實地演示）無塵衣、鞋、帽子等須由專人管理，并定期做清洗，清洗須在潔凈室內進行，并以純水配合清潔溶劑，并經約0.2μm過濾器為之，一般洗滌周期視清潔度等級而定，在高潔凈區為2～3天，其他區域則為5天～1星期，洗滌完畢干燥后應立即密封。潔凈室用鞋要合腳且穿起來舒適為基本條件，容易洗滌，底則采用塑膠底，布質部分則采用與潔凈衣相同材質即可，鞋子穿著時潔凈衣腳跟部分應完全塞入緊密包著。洗滌衣置放場所須為潔凈室，備用品或新品存放柜內，正使用者則吊掛衣架上，以為方便取用。