1、氮化硅結合碳化硅制品，質地堅硬，莫氏硬度約為9，在非金屬材料中屬于硬度材料，僅次于金剛石。

2、氮化硅結合碳化硅制品的常溫強度高，在1200-1400℃高溫下，幾乎保持與常溫相同時間的強度和硬度。隨著使用氣氛的不同，使用溫度可達到1650-1750℃。

3、熱膨脹系數(shù)小，相比碳化硅等制品熱導率高，不易產生熱應力，具有良好熱震穩(wěn)定性，使用壽命長。高溫抗蠕能力強，耐腐蝕，易制成尺寸精度高符合要求的制品。

4、產品廣泛應用于鋼鐵、有色金屬、化工建材等多種行業(yè)，節(jié)能、環(huán)保、降低成本。

氮化硅的很多性能都歸結于此結構。它耐高溫，強度一直可以維持到1200℃的高溫而不下降，受熱后不會熔成融體，一直到1900℃才會分解，并有驚人的耐化學腐蝕性能，能耐幾乎所有的無機酸和30%以下的溶液，也能耐很多有機酸的腐蝕。純Si3N4為3119，有α和β兩種晶體結構，均為六角晶形，其分解溫度在空氣中為1800℃，在110MPa氮中為1850℃。Si3N4 熱膨脹系數(shù)低、導熱率高。熱壓燒結的氮化硅加熱到l000℃后投入冷水中也不會。在不太高的溫度下，Si3N4 具有較高的強度和抗沖擊性，但在1200℃以上會隨使用時間的增長而出現(xiàn)破損，使其強度降低，在1450℃以上更易出現(xiàn)疲勞損壞，所以Si3N4 的使用溫度一般不超過1300℃。

耐火磚通稱火磚。氮化硅磚是指以氧化鎂(MgO)和三氧化二鉻(Cr2O3)為主要成分，方鎂石和尖晶石為主要礦物組分的耐火材料制品。用耐火黏土或別的防火原料燒造成的耐火材料。淺黃色或帶深褐色。關鍵用以砌冶煉爐，可耐1，580℃—1，770℃的高溫。也叫火磚。具備一定形狀和規(guī)格的耐火材料。按制取加工工藝方式來區(qū)劃可分成燒制磚、不燒制、電熔管件磚（溶煉磚）、防火隔熱板；按形狀和規(guī)格可分成基本型磚、一般磚、特異性型磚等。可作為工程建筑工業(yè)窯爐和各種各樣隔熱機器設備的高溫建筑裝飾材料和構造原材料，并在高溫下會承受各種各樣物理學轉變和機械設備功效。比如耐火粘土磚、高鋁耐火磚、硅磚、鎂磚等。

如果要在半導體基材上沉積氮化硅，有兩種方法可供使用：

利用低壓化學氣相沉積技術在相對較高的溫度下利用垂直或水平管式爐進行。

等離子體增強化學氣相沉積技術在溫度相對較低的真空條件下進行。

氮化硅的晶胞參數(shù)與單質硅不同。因此根據(jù)沉積方法的不同，生成的氮化硅薄膜會有產生張力或應力。特別是當使用等離子體增強化學氣相沉積技術時，能通過調節(jié)沉積參數(shù)來減少張力。

先利用溶膠凝膠法制備出二氧化硅，然后同時利用碳熱還原法和氮化對其中包含特細碳粒子的硅膠進行處理后得到氮化硅納米線。硅膠中的特細碳粒子是由葡萄糖在1200-1350℃分解產生的。