1、氮化硅結(jié)合碳化硅制品，質(zhì)地堅硬，莫氏硬度約為9，在非金屬材料中屬于硬度材料，僅次于金剛石。

2、氮化硅結(jié)合碳化硅制品的常溫強度高，在1200-1400℃高溫下，幾乎保持與常溫相同時間的強度和硬度。隨著使用氣氛的不同，使用溫度可達(dá)到1650-1750℃。

3、熱膨脹系數(shù)小，相比碳化硅等制品熱導(dǎo)率高，不易產(chǎn)生熱應(yīng)力，具有良好熱震穩(wěn)定性，使用壽命長。高溫抗蠕能力強，耐腐蝕，易制成尺寸精度高符合要求的制品。

4、產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于鋼鐵、有色金屬、化工建材等多種行業(yè)，節(jié)能、環(huán)保、降低成本。

氮化硅的很多性能都?xì)w結(jié)于此結(jié)構(gòu)。它耐高溫，強度一直可以維持到1200℃的高溫而不下降，受熱后不會熔成融體，一直到1900℃才會分解，并有驚人的耐化學(xué)腐蝕性能，能耐幾乎所有的無機酸和30%以下的溶液，也能耐很多有機酸的腐蝕。純Si3N4為3119，有α和β兩種晶體結(jié)構(gòu)，均為六角晶形，其分解溫度在空氣中為1800℃，在110MPa氮中為1850℃。Si3N4 熱膨脹系數(shù)低、導(dǎo)熱率高。熱壓燒結(jié)的氮化硅加熱到l000℃后投入冷水中也不會。在不太高的溫度下，Si3N4 具有較高的強度和抗沖擊性，但在1200℃以上會隨使用時間的增長而出現(xiàn)破損，使其強度降低，在1450℃以上更易出現(xiàn)疲勞損壞，所以Si3N4 的使用溫度一般不超過1300℃。

耐火磚通稱火磚。氮化硅磚是指以氧化鎂(MgO)和三氧化二鉻(Cr2O3)為主要成分，方鎂石和尖晶石為主要礦物組分的耐火材料制品。用耐火黏土或別的防火原料燒造成的耐火材料。淺黃色或帶深褐色。關(guān)鍵用以砌冶煉爐，可耐1，580℃—1，770℃的高溫。也叫火磚。具備一定形狀和規(guī)格的耐火材料。按制取加工工藝方式來區(qū)劃可分成燒制磚、不燒制、電熔管件磚（溶煉磚）、防火隔熱板；按形狀和規(guī)格可分成基本型磚、一般磚、特異性型磚等。可作為工程建筑工業(yè)窯爐和各種各樣隔熱機器設(shè)備的高溫建筑裝飾材料和構(gòu)造原材料，并在高溫下會承受各種各樣物理學(xué)轉(zhuǎn)變和機械設(shè)備功效。比如耐火粘土磚、高鋁耐火磚、硅磚、鎂磚等。

如果要在半導(dǎo)體基材上沉積氮化硅，有兩種方法可供使用：

利用低壓化學(xué)氣相沉積技術(shù)在相對較高的溫度下利用垂直或水平管式爐進(jìn)行。

等離子體增強化學(xué)氣相沉積技術(shù)在溫度相對較低的真空條件下進(jìn)行。

氮化硅的晶胞參數(shù)與單質(zhì)硅不同。因此根據(jù)沉積方法的不同，生成的氮化硅薄膜會有產(chǎn)生張力或應(yīng)力。特別是當(dāng)使用等離子體增強化學(xué)氣相沉積技術(shù)時，能通過調(diào)節(jié)沉積參數(shù)來減少張力。

先利用溶膠凝膠法制備出二氧化硅，然后同時利用碳熱還原法和氮化對其中包含特細(xì)碳粒子的硅膠進(jìn)行處理后得到氮化硅納米線。硅膠中的特細(xì)碳粒子是由葡萄糖在1200-1350℃分解產(chǎn)生的。