6分鐘前 3602125-35F-C02 解放進(jìn)氣流量傳感器供貨商來(lái)電洽談 濟(jì)南信發(fā)汽配質(zhì)量保證[濟(jì)南信發(fā)汽配a17d7e8]內(nèi)容：進(jìn)氣壓力傳感器軌壓傳感器EBL傳感器進(jìn)氣壓力傳感器1、進(jìn)氣壓力傳感器，簡(jiǎn)稱MAP。以真空管連接進(jìn)氣歧管，隨著引擎不同的轉(zhuǎn)速負(fù)荷，感應(yīng)進(jìn)氣歧管內(nèi)的真空變化，再?gòu)母兄鲀?nèi)部電阻的改變，轉(zhuǎn)換成電壓信號(hào)，供ECU修正噴油量和點(diǎn)火正時(shí)角度。2、電噴發(fā)動(dòng)機(jī)中采用進(jìn)氣壓力傳感器來(lái)檢測(cè)進(jìn)氣量的稱為D型噴射系統(tǒng)。進(jìn)氣壓力傳感器檢測(cè)進(jìn)氣量不是像進(jìn)氣流量傳感器那樣直接檢測(cè)，而是采用間接檢測(cè)。

軌壓傳感器

軌壓傳感器是由硅膜片、電橋、放大電路三部分組成。當(dāng)軌內(nèi)的壓力導(dǎo)致硅膜片形狀變化時(shí)（近似于在150MPa時(shí)1mm），連接于膜片的電阻層阻值也將改變，改變的電阻值將引起通過(guò)5V電橋（慧斯登電橋）輸出端電壓變化，通過(guò)放大電路的處理，使新號(hào)端輸出的電壓在0-5V之間變化，ECU便根據(jù)此電壓計(jì)

軌壓傳感器是由硅膜片、電橋、放大電路三部分組成。當(dāng)軌內(nèi)的壓力導(dǎo)致硅膜片形狀變化時(shí)（近似于在150MPa時(shí)1mm），連接于膜片的電阻層阻值也將改變，改變的電阻值將引起通過(guò)5V電橋（慧斯登電橋）輸出端電壓變化，通過(guò)放大電路的處理，使新號(hào)端輸出的電壓在0-5V之間變化，ECU便根據(jù)此電壓計(jì)

EBL傳感器

為滿足納米級(jí)電子束曝光系統(tǒng)的要求，系統(tǒng)設(shè)計(jì)了一個(gè)納米圖形發(fā)生器和數(shù)模轉(zhuǎn)換電路，并采用機(jī)控制。機(jī)通過(guò)圖形發(fā)生器和數(shù)模轉(zhuǎn)換電路去驅(qū)動(dòng)等儀器的掃描線圈，從而使電子束偏轉(zhuǎn)并控制束閘的通斷。通過(guò)可以對(duì)標(biāo)準(zhǔn)樣片進(jìn)行圖像采集以及掃描場(chǎng)的校正。配合精密定位的工件臺(tái)，還可以實(shí)現(xiàn)曝光場(chǎng)的拼接和套刻。利用配套軟件也可以新建或?qū)攵喾N通用格式的曝光圖形。

曝照所需電子束是由既有的產(chǎn)生的電子束(離子束)提供。

電子射出后，受數(shù)千乃至數(shù)萬(wàn)伏特之加速電壓驅(qū)動(dòng)沿顯微鏡中軸向下移動(dòng)，并受中軸周圍磁透鏡作用形成聚焦電子束而對(duì)樣本表面進(jìn)行掃描與圖案刻畫(huà)。掃描方式可分為循序掃描與矢量掃描。

掃描過(guò)程中，電子束的開(kāi)啟與阻斷是由電子束阻斷器所控制。電子束阻斷器通常安裝在磁透鏡組上方，其功效為產(chǎn)生一大偏轉(zhuǎn)磁場(chǎng)使電子束完全偏離中軸而無(wú)法到達(dá)樣本。

(三) 阻劑(光阻)

阻劑是轉(zhuǎn)移電子束曝照?qǐng)D案的媒介。阻劑通常是以薄膜形式均勻覆蓋于基材表面。高能電子束的照射會(huì)改變阻劑材料的特性，再經(jīng)過(guò)顯影后，曝照(負(fù)阻劑)或未曝照(正阻劑)的區(qū)域?qū)?huì)留在基材表面，顯出所設(shè)計(jì)的微影圖案，而后續(xù)的制程將可進(jìn)一步將此圖案轉(zhuǎn)移到阻劑以下的基材中。