無塵潔凈室主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為無塵潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當(dāng)然這個標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無塵是必然的要求。

我國的潔凈室工程開始于20世紀(jì)60年代初，在70年代電子工業(yè)潔凈室特別是半導(dǎo)體集成電路用潔凈室的規(guī)劃、建造開展很快，相繼建成一批潔凈廠房，并研制成功100級單向流潔凈室;與此同時，潔凈廠房用設(shè)備和資料，如過濾器，潔凈工作臺、層流罩、潔凈烘箱、空氣吹淵室、凈化型傳遞窗等相繼研制成功，并投入出產(chǎn)，雖然制作質(zhì)量和某些工程指標(biāo)與世界水平尚有差距，但已能滿足國內(nèi)部分需求，到20世紀(jì)70年代末我國潔凈室規(guī)劃、建造和潔凈工程的開展走向成熟階段。

無塵車間凈化工程該如何選擇與維護(hù)保養(yǎng)呢？

1.應(yīng)提升留意房間內(nèi)的溫度濕度操縱，防止因環(huán)境濕度的不善導(dǎo)致冷凝水銹蝕。

2.當(dāng)設(shè)備檢修易造成微塵物體，故檢修時盡可能于清理戶外開展，并加護(hù)欄網(wǎng)防護(hù)。

3.針對工程施工或檢修的生產(chǎn)商，應(yīng)告之出入無塵車間的工作紀(jì)律要求，且承擔(dān)技術(shù)工程師應(yīng)隨侍在側(cè)現(xiàn)場監(jiān)工。

4.需有無無塵車間常用工具組，但不可弄出無塵車間外應(yīng)用。

5.設(shè)計室內(nèi)空間時若能鄰近無塵車間開設(shè)一間檢修和設(shè)備維修手冊放置室，將是一理想化的設(shè)計。