真空箱法氦質譜檢漏的原理與系統特點

真空箱法氦質譜檢漏的充氣回收檢漏系統

1．配置與氣路控制

真空箱：一般為雙工位，兩個不銹鋼真空箱，開門裝置可采用液壓方式，或加配重的手動方式。

工件抽空系統：低真空泵及閥門，低真空測量充氮與回收系統：氦氣儲存罐(高壓罐)，氦氣回收取罐(低壓罐)，主壓縮機，輔壓縮機，過濾器以及一些高壓閥和真空閥門等。

真空箱抽氣系統：為自動控制型，由面板、PLC系統(可編程邏輯控制器)，充氦回收系統，真空箱抽氣系統的電路部分以及為自動檢漏過程提供參考信號的壓力傳感器和熱偶計，同時，實施對整個系統的工作控制，對檢漏過程和結果顯示。

2.系統檢測過程

1)、通過v1、V4，泵系統對工件和真空箱抽真空，如果限定的時間內抽到限定的真空度，此時，電氣控制系統關閉V1，打開V2

2)、充氦系統通過V2對工件進行充氦至核定的壓力，穩定，關閉V2

3)、關閉V4，打開V3、V5，處在正常工作狀態待命的氦質譜檢漏儀進行檢漏，如果不漏，電氣控制系統指揮關斷V3、V5，打開V2對氦氣進行回收。

4)、關閉V2打開V6對真空箱放氣，開啟真空箱更換工件。

5)、如果第三點檢漏儀檢測到超過設定值(漏率)的工件，檢漏儀聲光報警，將：工作內的氦氣回收,對真空箱和管道巾的氦氣通過清潔泵抽除，免得影響檢漏儀的檢測效果和不污染檢漏儀。

6)、維持泵有一定的氦分流作用,不宜過大(不超過41),清潔泵也同樣。

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真空檢漏技術

真空檢漏技術就是用適當的方法判斷真空系統、容器或器件是否漏氣、確定漏孔位置及漏率大小的一門技術，相應的儀器稱為檢漏儀。在真空系統、容器、器件制造過程中借助真空檢漏技術確定它們的真空氣密性、探查漏孔的位置，以便采取措施將漏孔封閉從而使系統、容器、器件中的真空狀態得以維持。檢測節拍要求：據調查一般的兩器生產廠家年產量都會在十萬只以上，要實現所有產品全部使用氦檢測，就要求氦檢測節拍越快越好。

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氦質譜檢漏儀

充氦法

充氦法也稱負壓法 ，一個密閉的氣室連接真空泵和氦氣罐，將被檢零件裝入一個氣室，開始關閉氦氣罐閥門，機械泵把氣室先抽成真空，然后關閉真空泵閥門，打開氦氣罐閥門給氣室充氦，并靜置一段時間。被氦氣包圍的小器件上如果有漏隙，氦氣就慢慢充入小器件內部。然后將氣室打開，取出被檢器件，用壓縮空氣吹掉其外表面可能吸附的氦。再把這些器件逐個(或成組) 地裝入接在檢漏儀進氣法蘭處的容器中，把此容器抽空后打開節流閥，這時原先進入被檢器件的氦又會經過漏孔放出來，檢漏儀就會給出漏率響應。逆擴散系統檢漏儀與常規系統相比，被檢件只與低真空相通,因此只需將被檢工件抽至低真空就能進行檢漏，氦氣是逆擴散到質譜管,不會對系統有污染,因此被廣泛采用,已成為市場的主品。