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當停泵后，碳氧化合物返流很快通過泵進入直空室內，如果系統仍保持在直空狀態下，碳氣化合物將會粘在清潔的葉片和直空室的表面上，在隨后再運轉該系統時，將極難抽除粘著的碳氧化合物，另一方面，在渦輪分子泵停止運轉時，如果給泵充入干燥氙氣或干燥空氣，剛該干燥氣體將給暴露的表面提供一層氣體保護層，而且在系統充氣后，返流的碳氧化合物由于與充入的氣體混合起來，從而它的粘著能力很弱，在混合氣體中碳氧化合物所占比例*小，在下一次抽空時也很快就能被抽走。

一般導致真空泵無法正常啟動的原因

1、驅動電機電壓不正確或過載。維修進口真空泵

解決辦法：提供電機正確的電壓。

2、電機啟動器過載保護太小或設定值太低。

解決辦法：將電機啟動器過載保護的設定數據與電機銘牌的數據相對照，必要時，請校正。如果環境溫度較高：可將設定值根據正常電機電流提高5%。

3、保險絲熔斷。

解決辦法：檢查保險絲。維修進口真空泵

在何處充氣

在渦輪分子泵的前級側充氣，能強制使碳氧化合物立刻通過渦輪分子泵流入真空室。另一方面，若在渦輪分子泵吸入側充氣，能達到以清潔氣體蕩蓋表面的目的。并使氣流流向渦輪分子泵(自上而下)，能暫時阻止、延遲碳氫化合物的返流，也有些渦輪分子泵在壓縮級之間進行中間充氣，它和在吸入側充氣控制碳氣化合物返流幾乎同樣有效。在超高真空系統中，在壓縮級充氣尤其*越。因為中間充氣不需要價格昂貴的金屬密封的可烘烤的充氣閥。維修進口真空泵

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羅茨泵和油增壓泵都可以作為中真空泵，分子增壓泵有極高的壓縮比，這除了使它能獲得清潔真空外還具有優異的高真空性能，同時在中真空范圍也有超*的抽氣能力。這就使分子增壓泵成為目前唯yi兼有中高真空性能的真空泵，所以只需要與低真空泵配合便能組成性能堪比三級機組的高真空機組。阿爾卡特真空泵維護

分子增壓泵可以在100-50Pa工作，前級泵從大氣到這一壓力，基本遵從每經過時間壓力降低一個數量級的規律，因此機組可以具有很高的抽氣效率。簡化高真空機組，取消羅茨泵是分子增壓泵的又一個優勢。阿爾卡特真空泵維護

對于較大型的高真空應用設備，也可適當加強前級泵的預抽能力，進一步縮短抽氣時間，由于預抽時間與整個排氣過程相比很短，所以前級泵的使用時間也很短，因此可以兼作多套設備的預抽作用，而這往往是非常現實的。這就使規模化應用的真空機組得到大大的簡化。阿爾卡特真空泵維護

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分子泵轉子，是典型的高速撓性轉子，其多達十幾層幾百個葉片，轉動的葉片和定子之間只有0.1毫米，制造公差達到微米級。在轉速高達每分鐘7.2萬轉時，葉片端部的速度接近超音速，每次開始轉動、停下時，加速度和減速度都很大，輕微的偏差都將引起極大的震動，其平衡級別要求遠在國際*高標準G0.4之上，在其泵殼測量出的震動值要求達到0.01um，高速在線動平衡調整是其技術之一。二手渦輪分子泵維護中心

一般機械泵的極限真空在20~ -1pa之間

在不漏氣的情況下，低真空到高真空過度的地方會很費時間，是吸附氣體和泵較勁的地方，本來泵已經快到極限了。

當你關掉閥門時，真空室內的物件包括真空壁上的吸附氣體因為壓差都處在放氣的過程，這時你會看到真空表下降很快，你在打開閥門時就會覺得這個極限的地方過得很快

分子泵允許的正常工作溫度范圍是5-35攝氏度，在環境溫度低于5攝氏度時，需要采取一定的加溫措施。二手渦輪分子泵維護中心

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