在氧化室中，有機廢氣再由燃燒器加熱升溫至設定的氧化溫度760℃，使其中的VOC成分分解成二氧化碳和水。由于廢氣已在蓄熱室內預熱，燃料耗量大為減少。氧化室有兩個作用：一是保證廢氣能達到設定的氧化溫度，二是保證有足夠的停留時間使廢氣中VOC充分氧化。 廢氣在氧化室中焚燒，成為凈化的高溫氣體后離開氧化室，進入蓄熱室2（在前面的循環中已被冷卻），放熱降溫后排出，而蓄熱室2吸收大量熱量后升溫（用于下一個循環加熱廢氣）。凈化后的廢氣經煙囪排入大氣，同時引小股凈化氣清掃蓄熱室3。排氣溫度比進氣溫度高約40℃左右。

循環完成后，進氣與出氣閥門進行一次切換，進入下一個循環，廢氣由蓄熱室2進入，蓄熱室3排出。同時引回一部分凈化氣清掃蓄熱室1。周而復始，連續工作。

催化燃燒，可燃物在催化劑作用下燃燒。與直接燃燒相比，催化燃燒溫度較低，燃燒比較。催化燃燒所用的催化劑為具有大比表面的和金屬氧化物多組分物質。采用適當的催化劑，是使氣體中的可燃物質在較低的溫度下分解、氧化的燃燒方法之一。

催化燃燒設備的吸附法是利用物質自身的物理特性，在使用進程中不會產生二次污染，而且質料價格便宜、簡單獲取，為保護環境以及減少廠家開支做出了貢獻。這種設備起燃溫度低，反應速率快，節省能源。催化燃燒過程中，催化劑起到降低VOCs分子與氧分子反應的活化能，改變反應途徑的作用。

生物凈化法利用微生物的分解作用凈化有機廢氣。 好處是運行成本低。 缺點是不適合濃度變動和環境溫度變化的溫差大的環境，容易導致微生物，高濃度排氣凈化效果和投資很大。

冷疑法把工業廢氣立即導進冷卻器經吸咐、消化吸收、解板、分離出來，回收利用有使用價值的有機化合物，該法適用工業廢氣濃度值高、溫度低、排風量小的工作狀況，必須附設冷疑機器設備，關鍵運用于制藥業、石油化工行業，包裝印刷公司非常少選用。