氣體管道安裝

實(shí)驗(yàn)室供氣系統(tǒng)作為一種氣體補(bǔ)給方式，現(xiàn)已經(jīng)被人們?cè)絹?lái)越廣泛的使用。它是一種包括了氣源、切換裝置、壓力調(diào)節(jié)設(shè)備、終端、報(bào)警設(shè)備。氣路系統(tǒng)通常采用不銹鋼管道。

實(shí)驗(yàn)室供氣系統(tǒng)主要包括中央集中供氣系統(tǒng)和氣瓶分散供氣系統(tǒng)兩種模式。氣體管道設(shè)計(jì)規(guī)范（1）氫氣、氧氣和煤氣管道以及引入實(shí)驗(yàn)室的各種氣體管道支管宜明敷。實(shí)驗(yàn)室集中供氣系統(tǒng)已成為實(shí)驗(yàn)室的主流，其優(yōu)勢(shì)主要體現(xiàn)在集中供氣更安全、更經(jīng)濟(jì)、純度更高，工作流程更優(yōu)化。實(shí)驗(yàn)室是一個(gè)特殊的工作區(qū)域，從安全、經(jīng)濟(jì)社會(huì)效應(yīng)及實(shí)際使用效益角度考慮，形成系統(tǒng)的供氣迫在眉睫，實(shí)驗(yàn)室供氣系統(tǒng)的安全系數(shù)應(yīng)通過(guò)集中供氣來(lái)實(shí)現(xiàn)，氣瓶供氣已逐步淘汰。

高純氣體配管及附件材質(zhì)的選擇

選用滲透性小、出氣速率低、吸附性差的材料。（5）空瓶與實(shí)瓶分區(qū)放置，氣瓶室易i燃易i爆氣瓶應(yīng)該與助燃?xì)馄扛綦x。目前超大規(guī)模集成電路前工序高純氣體輸送系統(tǒng)管道材料采用不銹鋼光亮退火管（SS304BA、SS316BA）、不銹鋼電拋光管（SS316L-EP）等，但是對(duì)要求控制高純氣體中總雜質(zhì)含量≤1.01.0×10－6及以下的管材應(yīng)用SS316L-EP管。

注：①管路型式以氣體特性設(shè)計(jì)，惰性氣體使用一般的單層管，作為制程用的反應(yīng)氣體，則選用高i級(jí)別的SS316L-EP管；使用與芯片接觸但不參與制程反應(yīng)的氣體則選用SS316L-BA管。

②對(duì)于自燃爆i炸，有劇i毒的特種氣體，如SiH4、PH3、AsH3等則考慮使用雙套管，它的內(nèi)/外管材質(zhì)一般為SS316L-EP/SS316L-AP，此設(shè)計(jì)的主要目的有兩點(diǎn)，首先可保護(hù)內(nèi)管直接受到外力撞擊，其次能將由內(nèi)管滲漏的氣體阻絕于外管，并利用相關(guān)的檢測(cè)設(shè)備檢測(cè)，目前常用的設(shè)計(jì)有正壓和負(fù)壓兩種方式，負(fù)壓設(shè)計(jì)是將內(nèi)外管間抽成真空，正壓設(shè)計(jì)則是灌以氮?dú)饩S持正壓，兩者皆可接上壓力表或者壓力警報(bào)器檢知泄漏狀態(tài)。蒸汽或其他含水的氣體管道在i低點(diǎn)設(shè)置排水管或疏水閥，某些氣體管道還設(shè)有氣水分離器，以便及時(shí)排去水液，防止管內(nèi)產(chǎn)生水擊和阻礙氣體流動(dòng)。

通常采用的方法有機(jī)械噴砂、化學(xué)溶液清洗、化學(xué)拋光、電拋光等，目前廣泛應(yīng)用的管材有光亮退火管和電拋光管。

現(xiàn)在實(shí)驗(yàn)室常會(huì)用到各類分析儀器，這些儀器都需要使用載氣和燃料氣，這些氣體的控制系統(tǒng)對(duì)于實(shí)驗(yàn)人員和價(jià)格高昂的實(shí)驗(yàn)器材的安全都是至關(guān)重要的。氣體管道安裝氣體管道可能承受許多種外力的作用，包括本身的重量、氣體作用在管端的推力、風(fēng)雪載荷、土壤壓力、熱脹冷縮引起的熱應(yīng)力、振動(dòng)載荷和地i震災(zāi)害等。它必須確保這些氣體的穩(wěn)定性和安全性。多種分析儀器，如氣相色譜儀，原子吸收，氣—質(zhì)聯(lián)用儀，ICP等等，這些儀器需要用到高純氣體，傳統(tǒng)的做法是采用獨(dú)立鋼瓶分散供氣的模式，這種供氣模式每臺(tái)儀器設(shè)備單獨(dú)配置氣體鋼瓶，分別滿足每臺(tái)儀器設(shè)備的使用，但隨著近年來(lái)實(shí)驗(yàn)室投資的不斷加大，儀器設(shè)備的迅速增加，用氣量也逐年增加，傳統(tǒng)的供氣模式已經(jīng)難以滿足儀器設(shè)備增加的需求，同時(shí)分散供氣模式帶來(lái)的實(shí)驗(yàn)室布局混亂，鋼瓶的頻繁更換也對(duì)實(shí)驗(yàn)室的管理和維護(hù)造成了困難。

目前主流氣路編排主要是實(shí)驗(yàn)室集中供氣系統(tǒng)。