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給出不單獨設置粗抽管道、不設置高真空閥門的渦輪分子泵抽氣系統(tǒng)，這個系統(tǒng)的真空室是直接通過渦輪分子泵進行粗抽的。因為系統(tǒng)上沒有粗抽管道，所以就不存在因粗抽管道而帶來的污染和切換區(qū)域不適當?shù)葐栴}。從結(jié)構上看，系統(tǒng)也變得更簡單了。它沒有粗抽閥、管道和冷阱，也不需要高真空閥，只需要一個電離規(guī)和一個熱傳導規(guī)。

每當打開真空室暴露大氣時，就必須把整個系統(tǒng)停機，而后再重新啟動。這就使得液氮冷卻表面使用起來不方便，因為每當系統(tǒng)停機時，必須將冷卻表面升溫。1-檢漏接口閥；2-渦輪分子泵；3-放氣閥；4-電離規(guī)；5-熱傳導規(guī)；6-真空管路閥；7-電磁放氣閥；8-機械泵。圖2 不用閥門的渦輪分子泵抽氣系統(tǒng)同時，啟動渦輪分子泵和機械泵，通過渦輪分子泵進行粗抽，必須正確選配前級機械泵。

如果機械泵的抽速小，它是不能在渦輪分子泵達到很大轉(zhuǎn)速以前把真空室抽到過渡區(qū)的。當出現(xiàn)這種情況時，電動機的過流保護電路就會把渦輪分子泵關掉。抽速大小合適、運轉(zhuǎn)適當?shù)臋C械真空泵應該是在渦輪分子泵達到其額定轉(zhuǎn)速的75%左右時就能把真空室抽到20~200Pa，這樣也可防止機械泵油的返流。大多數(shù)渦輪分子泵所設計的啟動加速時間為5~10min。

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ARPES光束線客戶案例:某光源ARPES光束線真空系統(tǒng),真空系統(tǒng)是同步輻射光束線的重要組成部分,只有在真空環(huán)境中運行,光學元件才能夠?qū)⑼捷椛涔鈧鬏數(shù)皆囼炚?真空系統(tǒng)的作用就是獲得并維持合理的真空度,保證光束線的穩(wěn)定運行.此系統(tǒng)搭配愛發(fā)科分子泵80,及配套真空規(guī).

真空系統(tǒng)要求(分子泵):

1.靜態(tài)真空(無束流):5x10-8Pa,動態(tài)真空(有束流):

2.真空系統(tǒng)基本配置:離子泵+無油分子泵+冷陰極真空規(guī)管+氣體分析儀超高真空系統(tǒng)配置:

渦輪分子泵

接口:DN100CF-F

極限真空:氮氣壓縮比:>1X1011渦輪分子泵80

接口:DN63CF-F

極限真空:氮氣壓縮比:>1X1011殘余氣體分析儀PrismaPro

質(zhì)量數(shù):1-300amu

四極桿直徑／長度:6/125mm

很大工作壓力FhPa:5X10-4

渦輪分子泵抽速范圍10至2700L/S,轉(zhuǎn)速很高90,000rpm,極限真空很大1E-11mbar,對小分子氣體具有更高的壓縮比,實踐證明渦輪分子泵運行時間可以達到100,000小時!分子泵提供復合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大系列滿足不同應用,推薦搭配旋片泵和干泵共同使用.更多分子泵典型應用>>

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真空泵常規(guī)性能參數(shù)測試:抽速、壓縮比等性能參數(shù)是分子泵設計之初就要首先考慮的，也是各項設計調(diào)整優(yōu)化的重要目標。很終產(chǎn)品定型時，對外發(fā)布的各項參數(shù)和曲線，比如下圖的抽速和壓縮比曲線，都來自于這些測試的結(jié)果。這些測試都有相關的，在此不再展開描述。在泵處于垂直、水平和倒立狀態(tài)時，各進行6次沖擊測試所測試的泵在24次跌落后無任何問題（不發(fā)生轉(zhuǎn)子機械接觸，泵運行狀態(tài)不變）。

在每次跌落后驗證泵的不平衡性，結(jié)果表明變化，遠低于閾值。抗振動測試通過對一批泵（處于運行和非運行條件下）進行一系列測試，證明對外部源產(chǎn)生振動的耐受性在105分鐘的振動周期中，全轉(zhuǎn)速和不運行的每個泵在垂、水平、倒立方向上受到0.5–2g加速度水平的振動。該測試證實了泵的穩(wěn)定性以及耐振性，因為未觀察到轉(zhuǎn)子機械接觸或泵運行狀態(tài)的改變，且泵不平衡性仍然遠低于閾值。

溫度測試將泵置于–40°C至+70°C（處于非運行狀態(tài)）以及0°C至40°C（處于運行狀態(tài)）下暴露86小時。對每個泵的不平衡性和是否可正常操作驗證11次，結(jié)果顯示僅存在的變異，遠低于閾值。溫度測試證實了泵在各種預期運行和非運行溫度條件下的穩(wěn)定性。傅立葉振動分析在制造過程中以及泵運輸前的很后測試中，對每臺泵的振動頻譜進行驗證。全速下的平均很大振動水平：0.4m/s2。

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