擴散泵：以低壓高速蒸汽流（油或等蒸汽）作為工作介質的噴射真空泵。氣體分子擴散到蒸汽射流中，被送到出口。在射流中氣體分子密度始終是很低的，這種泵適于在分子流狀態下工作。可分為：① 自凈化擴散泵：泵液中易揮發的雜質經專門的機械輸送到出口而不回到鍋爐中的一種油擴散泵② 分餾式擴散泵：這種泵具有分餾裝置，使蒸汽壓強較低的工作液蒸汽進入高真空工作的噴嘴，而蒸汽壓強較高的工作液蒸汽進入低真空工作的噴嘴，它是一種多級油擴散泵。

吸氣劑泵：它是一種利用吸氣劑以化學結合方式捕獲氣體的真空泵。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。升華泵即屬于這種形式。吸氣劑離子泵：它是使被電離的氣體通過電磁場或電場的作用吸附在有吸氣材料的表面上，以達到抽氣的目的。它有如下幾種型式。（1）蒸發離子泵：泵內被電離的氣體吸附在以間斷或連續方式升華（或蒸發）而覆在泵內壁的吸氣材料上，以實現抽氣的一種真空泵。（2）濺射離子泵：泵內被電離的氣體吸附在由陰極連續濺射散出來的吸氣材料上，以實現抽氣目的的一種真空泵。低溫泵：利用低溫表面捕集氣體的真空泵按其真空度可以分為：粗真空、高真空、超高真空三大類。

流量單位時間流過任意截面的氣體量，符號用“Q”表示，單位為帕·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。流導表示真空管道通過氣體的能力。單位為升/秒（L/s），在穩定狀態下，管道流導等于管道流量除以管道兩端壓強差。符號記作“U”。標準大氣壓壓強為每平方厘米101325達因的氣壓，符號：（Atm）。極限真空真空容器經充分抽氣后，穩定在某一真空度，此真空度稱為極限真空。通常真空容器須經12小時煉氣，再經12小時抽真空，一個小時每隔10分鐘測量一次，取其10次的平均值為極限真空值。

立式多級離心真空泵在安裝時稍有不慎就會導致安裝沒做好，影響日后真空泵的工作性能。接下來為大家解析一立式多級離心真空泵下常見的安裝誤區及有關的解決辦法。一、立式多級離心真空泵進水管路上彎頭多，若是在進水管路上用的彎頭多，會添加有些水流阻力。而且彎頭應在筆直方向轉彎，不允許在水平方向轉彎，避免集合空氣。二、裝置進水管路時，水平段水平或向上翹。這樣做會使進水管內集合空氣，下降水管和水真空泵的真空度，使水真空泵吸水揚程下降，出水量削減。正確的做法是：其水平段應向水源方向稍有歪斜，不該水平，更不得向上翹起。