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MEMS集成裝置尤其是在生物傳感器方面,已經成為心率、血壓等涉及到身體健康生物信號監測的重要器件,在嚴苛的環境中膜層防護性要求能具有較好的穩定性是關鍵。涂覆了派瑞林的工業級傳感器,為手術機器人功能提升與柔性電子發展提供重要的技術支撐。
除了健康領域,MEMS柔性傳感系統可應用的領域還包括運動行業、可穿戴機械設備、人造皮膚等等。如將柔性壓力傳感器內置在鞋子中,可以實時檢測體重、發力姿勢、身體平衡性等;可穿戴設備中的柔性傳感器可以感知人的動作和用力情況,協助佩戴者提起重物、快速走動等;集成了柔性觸力傳感器的人造皮膚,可以用于義肢上,感知佩戴者的動作意圖并協助其完成想要的動作。作為納米涂層材料之一,派瑞林鍍膜技術更好的提升了MEMS產品的表面防護性能。
表面科學是在固體物理等許多科學基礎上發展起來的新科學,其研究對象是各種各樣的表面。真空鍍膜技術為制造各種各樣的清潔表面提供了手段。特別是20世紀70年代在真空鍍膜基礎上發展起來的分子束外延技術,用他不值可以特備可控制的超薄薄膜、原子級平整度的表面、上百層的疊加膜,而且還可以控制薄膜的成分和亞比。這些薄膜的制備均為科學的研究和發展提供了充分的條件。
真空搜膜技術在其他科學領域中的應用亦很廣泛。例如,電子顯微鏡的標本必須經過真空鍍膜處理才能觀察﹔激光器需要鍍上精密控制的光學膜層才能使用;太陽能利用也與真空鍍膜技術息息相關。