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1.派瑞林真空鍍膜是一種在高真空下加熱金屬或非金屬材料,使其在被鍍膜件(金屬、半導體或絕緣體)表面蒸發凝結形成薄膜的方法。如真空鍍鋁、真空鍍鉻等。
2.光學鍍膜是指在光學零件表面涂覆一層(或多層)金屬(或電介質)薄膜的工藝過程。光學零件表面鍍膜的目的是為了滿足減少或增加光反射、分束、分色、濾光和偏振的要求。常用的涂膜方法有真空涂膜(物理涂膜之一)和化學涂膜。
派瑞林(Parylene)涂層也用于硅橡膠鍵盤,防止印刷圖案表面磨損,解決粘性問題,同時保護鍵盤免受污垢,灰塵和油污。派瑞林(Parylene)涂層具有高介電強度,并且不損害下面的橡膠組分的電絕緣性能。派瑞林(Parylene)提供無孔、防止潮濕、腐蝕性體液,常見氣體和溫度。
很多客戶反饋照明燈具防水技術要求特別高,特別是戶外燈具需要長期經受冰雪烈日、風雨雷電的考驗,且造價較高,并且照明燈具中的LED是嬌貴的半導體元件,若受潮,就會出現芯片吸濕現象,損壞LED、PCB和其他元件,因此,LED適宜工作在干燥和較低溫度環境。因此,保證LED在戶外惡劣條件下長期穩定地工作,燈具防水結構設計極為關鍵。派瑞林涂層75微米的涂層大約需要15個小時。
考夫曼離子源是應用較早的離子源。屬于柵格式離子源。首先由陰極在離子源內腔產生等離子體,讓后由兩層或三層陽極柵格將離子從等離子腔體中抽取出來。這種離子源產生的離子方向性強,離子能量帶寬集中,可廣泛應用于真空鍍膜中。缺點是陰極(往往是鎢絲)在反應氣體中很快就燒掉了,另外就是離子流量有極限,對需要大離子流量的用戶可能不適和。
霍爾離子源是陽極在一個強軸向磁場的協作下將工藝氣體等離子化。這個軸向磁場的強不平衡性將氣體離子分離并形成離子束。由于軸向磁場的作用太強,霍爾離子源離子束需要補充電子以中和離子流。常見的中和源就是鎢絲(陰極)。