氫氣檢漏法的基本原理

氫氣檢漏法是一種用5%的氫氣和95%的氮?dú)獾幕旌蠚庾鳛槭聚櫄怏w進(jìn)行檢漏，稱作氫氮混合氣檢漏法，或氫氣檢漏法。5%氫氣與95%氮?dú)獾幕旌蠚怏w是不可燃的(ISO10156國(guó)際標(biāo)準(zhǔn))，無(wú)毒性和腐蝕性，也不會(huì)對(duì)設(shè)備和環(huán)境產(chǎn)生不利影響。而對(duì)氦的檢測(cè)則使用的是質(zhì)譜儀，是只檢測(cè)氦的質(zhì)譜儀，這種質(zhì)譜儀將其它質(zhì)量數(shù)的氣體都屏蔽掉了。氫氣作為檢漏使用的示蹤元素，有著很多的優(yōu)點(diǎn)。

氫的分子量與氦氣相近，是所有化學(xué)元素中分子量較輕的元素，有很好的擴(kuò)散性，逃逸性很強(qiáng)，吸附及粘滯性很低。由于氫分子移動(dòng)速度要高于其他分子，因此使用安全的低濃度氫氣作為示蹤氣體，可以有著更快的響應(yīng)速度和更好的檢漏精度。基本工作原理是使用專門開發(fā)的氫氣傳感器，它只對(duì)氫氣有響應(yīng)信號(hào)，而對(duì)其他氣體沒(méi)有響應(yīng)，屬于唯1性檢漏性檢漏方法。氫氣檢漏儀可以為您帶來(lái)傳統(tǒng)檢漏無(wú)法滿足的更靈活的檢漏解決方案。一旦出現(xiàn)信號(hào)響應(yīng)，說(shuō)明有氫氣通過(guò)漏孔進(jìn)入被檢件中，從而指示漏孔的位置與大小。同時(shí)，由于氫氣在一般環(huán)境中的含量濃度都非常低，所以不會(huì)因本底污染而導(dǎo)致誤報(bào)警。

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真空設(shè)備檢漏

北京科儀真空技術(shù)有限公司（簡(jiǎn)稱：科儀）出資成立，創(chuàng)建于2015年，注冊(cè)資金500萬(wàn)。科儀產(chǎn)品主要有：薄膜制備設(shè)備，真空冶金設(shè)備，檢漏設(shè)備，真空系統(tǒng)等非標(biāo)真空產(chǎn)品；氫氣檢漏法的基本原理氫氣檢漏法是一種用5%的氫氣和95%的氮?dú)獾幕旌蠚庾鳛槭聚櫄怏w進(jìn)行檢漏，稱作氫氮混合氣檢漏法，或氫氣檢漏法。系列分子泵，離子泵，鈦升華泵，深冷捕集泵等高真空獲得設(shè)備；系列干式渦旋泵，干式爪泵，干式螺桿泵等無(wú)油真空獲得設(shè)備；超高真空環(huán)境模擬設(shè)備等高新技術(shù)產(chǎn)品。

如何選擇檢漏方式，與檢測(cè)對(duì)象的工作環(huán)境有很大關(guān)系，盡量做到與檢測(cè)對(duì)象的工作狀態(tài)一致。如檢測(cè)對(duì)象工作時(shí)內(nèi)部處于正壓，則用正壓模式，如檢測(cè)對(duì)象工作時(shí)內(nèi)部處于負(fù)壓，則用真空模式。真空設(shè)備檢漏北京科儀創(chuàng)新真空專注氣密性檢測(cè)設(shè)備研發(fā)，生產(chǎn)、銷售20年。HLT260型氦質(zhì)譜檢漏儀具有嗅探和抽真空2種檢漏模式，即正壓模式和負(fù)壓模式。詳細(xì)檢漏方法與測(cè)量工作過(guò)程如下：

在抽真空方式下，待檢漏的器件通過(guò)測(cè)試端口與檢漏儀相連，

待測(cè)器件被檢漏儀內(nèi)部的粗抽泵和分子泵抽到一定的真空（如果待測(cè)器件容積較大，則需額外的泵組一起協(xié)同作業(yè)以提高xiao率）。只需測(cè)量待測(cè)器件外部大氣通過(guò)器壁的漏孔進(jìn)入器件內(nèi)部的氦的多少便可以判斷漏率的大小。現(xiàn)今的氫氮混合氣檢漏技術(shù)可以檢出低至5*10-7mbar/s的泄漏，相當(dāng)于0。如果需要得到精que的漏率數(shù)值，則必須等待整個(gè)測(cè)量系統(tǒng)的真空達(dá)到穩(wěn)態(tài)，

氦氣

氦氣穿透能力強(qiáng)，且易，對(duì)漏點(diǎn)有很好的檢出能力，可讓細(xì)微小洞無(wú)處可逃。氦氣檢漏就是采用氦氣來(lái)檢查電子元器件封裝管殼上的小漏洞。因?yàn)楹ぴ拥某叽绾苄　Ｓ煤獯┻^(guò)小洞而進(jìn)入到管殼內(nèi)部，氦氣檢漏方法能夠檢測(cè)出尺寸很小的小洞，靈敏度可與性檢漏方法匹敵，但要比性檢漏方法簡(jiǎn)便。氦檢方法基本上可分為用氦氣內(nèi)部加壓法和設(shè)備內(nèi)部抽真空外部施氦這兩種，由于后者需將設(shè)備完全抽成真空狀態(tài),往往會(huì)增加試驗(yàn)用設(shè)備（如高、低壓真空泵、真空閥等）和設(shè)備工裝（如外壓加強(qiáng)圈）而使造價(jià)提高，所以該方法通常用于容積小而厚壁的設(shè)備。氦氣檢漏方法：首先把封裝好的元器件放入充滿氦氣的容器中，并加壓，讓氦氣通過(guò)小洞而進(jìn)入管殼中；然后取出，并用壓縮空氣吹去管殼表面的殘留氦氣；接著采用質(zhì)譜儀來(lái)檢測(cè)管殼外表所漏出的氦氣。

氣密檢漏設(shè)備

1. 氣密檢漏設(shè)備檢測(cè)產(chǎn)品有兩種比較直觀的產(chǎn)品，一種是使用測(cè)試氣管直接連接產(chǎn)品的充氣孔(產(chǎn)品自帶充氣孔)，再進(jìn)密性測(cè)試，即采用直接檢測(cè)方法，另一種是將產(chǎn)品放置在仿形模具內(nèi)(根據(jù)產(chǎn)品外形定制)，對(duì)仿形模具內(nèi)腔進(jìn)行充氣，然后進(jìn)密檢漏設(shè)備。

2. 選擇上述不同兩種方法檢測(cè)產(chǎn)品的氣密檢漏設(shè)備。僅在氣密檢漏設(shè)備上選擇相應(yīng)產(chǎn)品的泄漏檢測(cè)程序，程序根據(jù)產(chǎn)品的檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)，提前設(shè)定充氣時(shí)間、保壓時(shí)間、檢測(cè)時(shí)間、泄壓時(shí)間及工裝治具的基本檢測(cè)動(dòng)作。

3. 手動(dòng)打開氣密檢漏設(shè)備或工裝夾具的啟動(dòng)按鈕，氣密檢漏設(shè)備自動(dòng)進(jìn)入檢測(cè)環(huán)節(jié)，可在10-30秒內(nèi)就能完成檢測(cè)。

4. 檢測(cè)時(shí)如果產(chǎn)品有大泄漏，即時(shí)被判定為不合格。如泄漏值在標(biāo)準(zhǔn)范圍內(nèi)，則合格。泄露值超出標(biāo)準(zhǔn)范圍，即是不合格。