氫氣檢漏法的基本原理

氫氣檢漏法是一種用5%的氫氣和95%的氮氣的混合氣作為示蹤氣體進行檢漏，稱作氫氮混合氣檢漏法，或氫氣檢漏法。5%氫氣與95%氮氣的混合氣體是不可燃的(ISO10156國際標準)，無毒性和腐蝕性，也不會對設備和環境產生不利影響。而對氦的檢測則使用的是質譜儀，是只檢測氦的質譜儀，這種質譜儀將其它質量數的氣體都屏蔽掉了。氫氣作為檢漏使用的示蹤元素，有著很多的優點。

氫的分子量與氦氣相近，是所有化學元素中分子量較輕的元素，有很好的擴散性，逃逸性很強，吸附及粘滯性很低。由于氫分子移動速度要高于其他分子，因此使用安全的低濃度氫氣作為示蹤氣體，可以有著更快的響應速度和更好的檢漏精度。基本工作原理是使用專門開發的氫氣傳感器，它只對氫氣有響應信號，而對其他氣體沒有響應，屬于唯1性檢漏性檢漏方法。氫氣檢漏儀可以為您帶來傳統檢漏無法滿足的更靈活的檢漏解決方案。一旦出現信號響應，說明有氫氣通過漏孔進入被檢件中，從而指示漏孔的位置與大小。同時，由于氫氣在一般環境中的含量濃度都非常低，所以不會因本底污染而導致誤報警。

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真空設備檢漏

北京科儀真空技術有限公司（簡稱：科儀）出資成立，創建于2015年，注冊資金500萬。科儀產品主要有：薄膜制備設備，真空冶金設備，檢漏設備，真空系統等非標真空產品；氫氣檢漏法的基本原理氫氣檢漏法是一種用5%的氫氣和95%的氮氣的混合氣作為示蹤氣體進行檢漏，稱作氫氮混合氣檢漏法，或氫氣檢漏法。系列分子泵，離子泵，鈦升華泵，深冷捕集泵等高真空獲得設備；系列干式渦旋泵，干式爪泵，干式螺桿泵等無油真空獲得設備；超高真空環境模擬設備等高新技術產品。

如何選擇檢漏方式，與檢測對象的工作環境有很大關系，盡量做到與檢測對象的工作狀態一致。如檢測對象工作時內部處于正壓，則用正壓模式，如檢測對象工作時內部處于負壓，則用真空模式。真空設備檢漏北京科儀創新真空專注氣密性檢測設備研發，生產、銷售20年。HLT260型氦質譜檢漏儀具有嗅探和抽真空2種檢漏模式，即正壓模式和負壓模式。詳細檢漏方法與測量工作過程如下：

在抽真空方式下，待檢漏的器件通過測試端口與檢漏儀相連，

待測器件被檢漏儀內部的粗抽泵和分子泵抽到一定的真空（如果待測器件容積較大，則需額外的泵組一起協同作業以提高xiao率）。只需測量待測器件外部大氣通過器壁的漏孔進入器件內部的氦的多少便可以判斷漏率的大小。現今的氫氮混合氣檢漏技術可以檢出低至5*10-7mbar/s的泄漏，相當于0。如果需要得到精que的漏率數值，則必須等待整個測量系統的真空達到穩態，

氦氣

氦氣穿透能力強，且易，對漏點有很好的檢出能力，可讓細微小洞無處可逃。氦氣檢漏就是采用氦氣來檢查電子元器件封裝管殼上的小漏洞。因為氦原子的尺寸很小。用氦氣穿過小洞而進入到管殼內部，氦氣檢漏方法能夠檢測出尺寸很小的小洞，靈敏度可與性檢漏方法匹敵，但要比性檢漏方法簡便。氦檢方法基本上可分為用氦氣內部加壓法和設備內部抽真空外部施氦這兩種，由于后者需將設備完全抽成真空狀態,往往會增加試驗用設備（如高、低壓真空泵、真空閥等）和設備工裝（如外壓加強圈）而使造價提高，所以該方法通常用于容積小而厚壁的設備。氦氣檢漏方法：首先把封裝好的元器件放入充滿氦氣的容器中，并加壓，讓氦氣通過小洞而進入管殼中；然后取出，并用壓縮空氣吹去管殼表面的殘留氦氣；接著采用質譜儀來檢測管殼外表所漏出的氦氣。

氣密檢漏設備

1. 氣密檢漏設備檢測產品有兩種比較直觀的產品，一種是使用測試氣管直接連接產品的充氣孔(產品自帶充氣孔)，再進密性測試，即采用直接檢測方法，另一種是將產品放置在仿形模具內(根據產品外形定制)，對仿形模具內腔進行充氣，然后進密檢漏設備。

2. 選擇上述不同兩種方法檢測產品的氣密檢漏設備。僅在氣密檢漏設備上選擇相應產品的泄漏檢測程序，程序根據產品的檢測標準，提前設定充氣時間、保壓時間、檢測時間、泄壓時間及工裝治具的基本檢測動作。

3. 手動打開氣密檢漏設備或工裝夾具的啟動按鈕，氣密檢漏設備自動進入檢測環節，可在10-30秒內就能完成檢測。

4. 檢測時如果產品有大泄漏，即時被判定為不合格。如泄漏值在標準范圍內，則合格。泄露值超出標準范圍，即是不合格。