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公司基本資料信息
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真空設(shè)備檢漏與維修
為什么要檢漏
泄漏和密封相對(duì)應(yīng)
很多情況下,我們需要密封住一定的空間,防止氣體或液體在壓力的作用下,流進(jìn)或流出這個(gè)空間。如真空設(shè)備(真空鍍膜機(jī),液晶注入機(jī),PVD,半導(dǎo)體外延等等),需要在真空條件下工作,要求在工作時(shí),空氣不能漏進(jìn)工作腔體,否則生產(chǎn)不能進(jìn)行,或者產(chǎn)生次品,浪費(fèi)人力物力。另外裝液體或氣體的容器(液壓氣瓶,氧氣瓶,空調(diào)冰箱中的雪種容器等等),要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下,不能有氣體或液體漏出。質(zhì)量分析器是一個(gè)均勻的磁場(chǎng)空間,不同離子的質(zhì)荷比不同,在磁場(chǎng)中就會(huì)按照不同軌道半徑運(yùn)動(dòng)而進(jìn)行分離,在設(shè)計(jì)時(shí)只讓氦離子飛出分析器的縫隙,打在收集器上。如果有漏,后果嚴(yán)重,一般會(huì)造成有效物資的浪費(fèi),如有毒物資、腐蝕性氣體漏出,甚至?xí)劤墒鹿省?/p>
這些對(duì)密封性有要求的產(chǎn)品或設(shè)備,在投入使用前,就要先進(jìn)行檢漏,使用中也要定期進(jìn)行檢漏檢查。
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真空設(shè)備檢漏
如何判斷真空系統(tǒng)是否存在漏氣,通常采用靜態(tài)升壓法,即把容器抽到一定壓強(qiáng)后,關(guān)閉閥門(mén)將被抽容器與泵隔開(kāi),若容器漏氣或材料放氣,容器中的壓強(qiáng)將隨時(shí)間而上升。用真空計(jì)每隔一定時(shí)間計(jì)量一次容器中的壓強(qiáng),可得出壓強(qiáng)/時(shí)間曲線(xiàn)。而對(duì)氦的檢測(cè)則使用的是質(zhì)譜儀,是只檢測(cè)氦的質(zhì)譜儀,這種質(zhì)譜儀將其它質(zhì)量數(shù)的氣體都屏蔽掉了。由于容器的漏氣與出氣情況不同,其曲線(xiàn)也不同
1.直線(xiàn)A
壓強(qiáng)不隨時(shí)間變化,說(shuō)明系統(tǒng)即不漏氣,也不放氣。真空度上不去的原因是泵工作不良。
2.直線(xiàn)B
壓強(qiáng)期初上升很快,而后上升速度漸漸減慢而趨于平衡,這說(shuō)明容器沒(méi)有漏氣。真空度上不去的原因主要是放氣的影響。因?yàn)榉艢馑俾孰S壓強(qiáng)的升高和時(shí)間的延長(zhǎng)而降低,故曲線(xiàn)漸趨向于平衡。
3.直線(xiàn)C
是一斜率為ΔP/Δt的直線(xiàn)。這說(shuō)明只有漏氣而沒(méi)有放氣。
4.曲線(xiàn)D
開(kāi)始?jí)簭?qiáng)上升較快,而后漸漸減慢,后變成斜率為ΔP/Δt的直線(xiàn)。這說(shuō)明容器即有放氣也有漏氣。曲線(xiàn)D可以認(rèn)為是B和C的疊加。如果出現(xiàn)曲線(xiàn)C和D的情況,則判定系統(tǒng)有漏氣。
氫氣檢測(cè)儀是一種可連續(xù)檢測(cè)有毒氣體濃度,適用于防爆場(chǎng)所要求的本質(zhì)安全型設(shè)備。氫氣氣體檢測(cè)儀為本質(zhì)安全型產(chǎn)品,符合GB3836.1-2000《操作指南氣體環(huán)境電氣設(shè)備》部分:通用要求和GB3836.4-2000《性氣體環(huán)境電氣設(shè)備》第4部分:本質(zhì)安全型”i”的有關(guān)規(guī)定。便攜式氫氣泄漏檢測(cè)儀,是一種可連續(xù)檢測(cè)作業(yè)環(huán)境中氫氣濃度的儀器。氫氣檢測(cè)儀為內(nèi)置泵吸式方式檢測(cè)氣體濃度,采用進(jìn)口電化學(xué)傳感器,具有的靈敏度和出色的重復(fù)性;氫氣檢測(cè)儀采用嵌入式微控制技術(shù),菜單操作簡(jiǎn)單,功能齊全,可靠性高,整機(jī)性能居國(guó)內(nèi)水平。檢測(cè)儀外殼采用高強(qiáng)度工程材料、復(fù)合彈性橡膠材料精制而成,強(qiáng)度高、手感好。氫氣檢漏法的工藝和方法批量生產(chǎn)的用戶(hù)采用上述控制器進(jìn)行示蹤氣體的充注,達(dá)到收到壓力后控制器會(huì)給出提示,這時(shí)操作人員即可進(jìn)行檢漏操作,然后通過(guò)控制器把氣體排出。
氮?dú)夂蜌錃獾幕旌蠚獾挠猛?/p>
焊接行業(yè)中的應(yīng)用氮?dú)浠旌蠚怏w是焊接行業(yè)常用的混合保護(hù)氣種類(lèi)之一,氮?dú)夥€(wěn)定的性質(zhì)和氫氣的弱還原作用對(duì)焊縫的成形具有的輔助效果,并且對(duì)于氣泡生產(chǎn)也有相當(dāng)?shù)囊种谱饔茫诤附宇I(lǐng)域有很好的使用成效。
煉鋼行業(yè)中的應(yīng)用5%的氫氣+95%氮?dú)獾幕旌蜌馐且环N安全的不可燃?xì)怏w,這是一種煉鋼用的標(biāo)準(zhǔn)還原保護(hù)氣,所以很容易買(mǎi)到混和好的氣體。