氦質(zhì)譜檢漏法由于其高的靈敏度、方法的多樣性、對各種試件的適應(yīng)性以及無破壞性，使其廣泛應(yīng)用。氦質(zhì)譜檢漏設(shè)備應(yīng)在施工工作完成后進(jìn)行本測試，測試完成后不得進(jìn)行焊縫的修磨等。若設(shè)備被浸濕或有殘余的液體都會影響毛細(xì)管的泄漏而影響測試結(jié)果的真實(shí)性。氦質(zhì)譜檢漏儀是用示蹤氣體氦氣的專門用于檢漏的儀器，它性能穩(wěn)定，靈敏度高，是真空檢漏技術(shù)中較成熟的設(shè)備，使用比較普遍的檢漏儀。為工廠作業(yè)人員的安全以及環(huán)境保護(hù)，氦質(zhì)譜檢漏儀成為化工管道檢漏的的選擇。

為了避免串液故障發(fā)生，需要對導(dǎo)流區(qū)域和二道密封區(qū)域進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏。采用真空法進(jìn)行檢漏時，采用水環(huán)泵、旋片泵、不銹鋼波紋管、球閥、節(jié)流閥組建真空系統(tǒng)。首先使用水環(huán)泵抽真空，然后充入氮?dú)猓俅问褂盟h(huán)泵抽真空，反復(fù)幾次對換熱器內(nèi)部抽出水蒸氣和粉塵。使用工業(yè)吸塵器對換熱器外表面除塵和干燥。使用旋片泵抽真空和氮?dú)庵脫Q的方式對換熱器內(nèi)部進(jìn)一步干燥。干燥后在管熱管抽真空后，在的漏點(diǎn)噴氦氣，觀察氦檢儀顯示情況。對漏點(diǎn)進(jìn)行堵漏。

檢漏設(shè)備：質(zhì)譜檢漏儀之間使用金屬軟管連接。氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)在校驗(yàn)后使用并在檢漏期間每 1- 2 小時校驗(yàn)。檢漏的方式是：鏈接被檢化工管道和真空泵組以及氦質(zhì)譜檢漏儀，用真空泵組把管道抽真空，達(dá)到一定真空度。氦質(zhì)譜檢漏主要領(lǐng)域：航空航天——燃料箱、油箱、及各種電機(jī)等；儀表制造——壓力傳感器、閥門、波紋管和密封焊接件等。