真空箱式氦檢漏設(shè)備

適用對各類被檢要求氣密性漏率的產(chǎn)品（以下簡稱工件）進(jìn)行真空法檢漏。同步對工件和真空箱抽真空，使工件內(nèi)外壓差不大0.04Mpa，對被檢工件充注氦氣，應(yīng)用真空箱法進(jìn)行氦質(zhì)譜氣密性檢測，通過該裝置判斷出被檢工件中的合格與不合格。技術(shù)成熟，性能穩(wěn)定，安裝維護(hù)方便，使其和真空箱連接更加協(xié)調(diào)緊密。然后將被檢工件內(nèi)的氦氣回收循環(huán)使用，向工件內(nèi)充入規(guī)定壓力的SF6工作氣體。系統(tǒng)嚴(yán)格按照客戶的要求設(shè)計(jì)制造，采用模塊化的設(shè)計(jì)，充分考慮客戶的檢漏要求，同時也盡可能采用標(biāo)準(zhǔn)化的模塊和部件，保證了系統(tǒng)的可靠性和可維護(hù)性。設(shè)備適應(yīng)用電力行業(yè),家用空調(diào)，制冷行業(yè)，汽車行業(yè)，新能源行業(yè)的氣密性檢測、應(yīng)具有氣體充注。大漏判定功能，微漏定量檢漏功能，工件泄漏總的判定功能，并能滿足連續(xù)生產(chǎn)的需求，具有較高的自動化程度，操作簡便、可靠、安全。

真空箱式氦檢漏系統(tǒng)【工作環(huán)境】

科創(chuàng)真空——真空箱氦檢漏供應(yīng)商，我們?yōu)槟鷰硪韵滦畔ⅰ?/p>

真空箱式氦檢漏系統(tǒng)【工作環(huán)境】

工作環(huán)境:

1、長×寬×高（設(shè)備占地面積約）：依據(jù)實(shí)物實(shí)際面積為準(zhǔn)。

2、電源：380 V±38 V，50 Hz±0.5 Hz，約22KW；

3、壓縮氣源及減壓器：0.6～0.8Mpa氮?dú)饣蚋稍锴鍧崏嚎s空氣；

4、待檢工件要求清潔、干燥。

5、環(huán)境溫度： 5 ℃ ～ 35 ℃；

6、相對濕度： ≤80%；

7、氦氣源及減壓器：氦氣純度為 99％。

8、設(shè)備應(yīng)安裝在通風(fēng)良好的廠房內(nèi)。

半導(dǎo)體設(shè)備及材料需要檢漏原因

1、半導(dǎo)體設(shè)備要求高真空，比如磁控濺射臺、電子束蒸發(fā)臺、ICP、PECVD等設(shè)備。出現(xiàn)泄漏就會導(dǎo)致高真空達(dá)不到或需要大量的時間，耗時耗力；

2、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆粒或塵埃就會對晶元造成污染，對半導(dǎo)體的特性改變并破壞其性能，因此在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中必須進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏；

3、一些半導(dǎo)體設(shè)備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體，經(jīng)過氦質(zhì)譜檢漏后，在低漏率真空條件下，這些氣體不易外泄，設(shè)備能及時抽走未反應(yīng)氣體和氣態(tài)反應(yīng)產(chǎn)物，保障工作人員安全和大氣環(huán)境。

4、芯片封裝，一旦出現(xiàn)泄漏，芯片就會失效。

氦質(zhì)譜檢漏儀

氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù)，用這種技術(shù)檢漏，簡便易操作，儀器反映靈敏，精度高，不易受其它氣體的干擾，以上列舉的方法是檢漏技術(shù)領(lǐng)域里經(jīng)常用道的方法，包括了從小件檢漏到大件檢漏，從確定漏孔檢漏到確定漏率檢漏，比較的列舉了各種檢漏方法，相信在工程實(shí)際應(yīng)用中有很好的參考價值。基本技術(shù)參數(shù)編輯真空箱數(shù)量：根據(jù)實(shí)際需要真空箱容積：根據(jù)實(shí)際需要示漏氦氣壓力：根據(jù)實(shí)際需要耐壓試驗(yàn)壓力：根據(jù)實(shí)際需要檢漏生產(chǎn)節(jié)拍：根據(jù)實(shí)際需要氦氣回收率：≧98%‘’想了解更多關(guān)于氦檢漏設(shè)備的相關(guān)資訊，請持續(xù)關(guān)注本公司。