超純金屬的制備有化學提純法如精餾（特別是金屬氯化物的精餾及氫還原）、升華、溶劑萃取等和物理提純法如區(qū)熔提純等（見硅、鍺、鋁、銦）。其中以區(qū)熔提純或區(qū)熔提純與其他方法相 結(jié)合有效。

由于容器與藥劑中雜質(zhì)的污染，使得到的金屬純度受到一定的限制，只有用化學方法將金屬提純到一定純度之后，再用物理方法如區(qū)熔提純，才能將金屬純度提到一個新的高度。因此，含有氯原子的橡膠組分容易粘附于色粉和用于色粉的添加劑上。可以用半導(dǎo)體材料鍺及超純金屬鋁為例說明典型的超純金屬制備及檢測的原理（見區(qū)域熔煉）。

工業(yè)上大量使用的是工業(yè)純稀土金屬，較高純度的稀土金屬主要供測定物理化學性能之用。主要有四種提純方法在試驗室中使用，即真空熔融，真空蒸餾或升華，電遷移和區(qū)域熔煉。但是布線金屬本身易氧化、易與周圍的環(huán)境發(fā)生反應(yīng),與介質(zhì)層的粘結(jié)性差,易擴散進入Si與SiO2等器件的襯底材料中，并且在較低的溫度下會形成金屬與Si的化合物,充當了雜質(zhì)的角色,使器件的性能大幅度下降。 稀土金屬棒在區(qū)域熔煉爐中以很慢的速度（如提純釔時為0.4毫米/分），進行多次區(qū)熔，對去除鐵、鋁、鎂、銅、鎳等金屬雜質(zhì)有明顯效果，但對氧、氮、碳、氫無效。此外，電解精煉、區(qū)熔－電遷移聯(lián)合法提純稀土也有一定效果。

鎢-鈦靶材作為光伏電池鍍膜材料是近發(fā)展起來的，它作為第三代太陽能電池的阻擋層是佳選擇。

由于 W-Ti 系列薄膜具有非常優(yōu)良的性能，近幾年來應(yīng)用量急劇增加，2008年W-Ti 靶材世界用量已達到400t，隨著光伏產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，這種靶材的需求量會越來越大。具行業(yè)預(yù)測其用量還會有很大的增加。各種生產(chǎn)工藝及其特點簡介如下：熱等靜壓法：ITO靶材的熱等靜壓制作過程是將粉末或預(yù)先成形的胚體，在800℃～1400℃及1000kgf/cm2～2000kgf/cm2的壓力下等方加壓燒結(jié)。國際太陽能電池市場以的速度增長，目前世界有30 多公司參與太陽能市場的進一步開發(fā)， 并已有的公司產(chǎn)品投入市場。