②廢氣處理設備維護與檢修相結合是貫徹“預防為主”方針，保證廢氣處理設備持續安全經濟運行的重要措施。對廢氣處理設備加強運行中的維護保養、檢査監測、調整潤滑可以有效地保持廢氣處理設備的各項功能，延長修理間隔期，減少修理工作量。廢氣處理設備在使用時應該注意的事項：廢氣處理設備使用前應檢查設備各系統管道閥門是否完好，吸收液藥劑選用和配比是否正確。現代化廢氣處理設備的使用，尤其應加強維護保養，可起到事半功倍的作用。在廢氣處理設備檢查和狀態監測的基礎上實施預防 性檢修，不僅可以及時恢復廢氣處理設備功能，同時又為廢氣處理設備的維護創造了良好條件，減少 工作量，降低維修費用，延長廢氣處理設備使用壽命。此外在廢氣處理設備的設計、制造、選購時應考慮其維護和檢修的特性。

廢氣治理廣泛應用于各種化工、電工電子、銅鋅冶煉、工業生產等多種領域的氣體吸收、凈化工藝，其結構形式多種多樣，應用較多的是填料塔及板式塔，此種塔型因塔內部有填料及塔盤，存在著阻力大、造價高、清理及維護管理工作量大等不足。輕氧氣體凈化器的工作原理：有足夠的能量產生自由基，引發了一系列復雜的物理化學反應。無填料及氣液交換塔盤等汽液交換裝置，采用機器進行液體霧化，使汽液完全飽和接觸。廢氣治理主要是達到工藝要求，其效果比傳統的填料塔和板式塔均有較大優勢。

2、溶劑吸收法

以液體溶劑作為吸收劑，使廢氣中的有害成分被液體吸收，從而達到凈化的目的，其吸收過程是根據有機物相似相溶原理，常采用沸點較高、蒸氣壓較低的柴油、煤油作為溶劑，使 VOC 從氣相轉移到液相中，然后對吸收液進行解吸處理，回收其中的 VOC，同時使溶劑得以再生。但溶劑吸收法仍有不足之處，由于吸收劑后處理投資大，對有機成分選擇性大，易出現二次污染。該法不僅能消除氣態污染物，還能回收一些有用的物質，可用來氣體流量一般為 3000～15 000 m3/h、濃度為 0.05%～0.5%（體積分數）的VOC，去除率可達到 95%～98%。