廈門太星機電有限公司擁有十多年真空行業經驗和銷售及維修工程師團隊組成，公司提供國外及國內廠家生產的真空泵，檢漏儀，分子泵，擴散泵，水環真空泵，螺桿真空泵，羅茨泵，真空測量，真空泵油及其備品備件。

散泵是目前獲得高真空的、主要的工具之一，通常指油擴散泵。擴散泵是一種次級泵，它需要機械泵作為前級泵。

影響油擴散泵性能的因素如下。

1、油擴散泵的返流。

2、氣體分子的反擴散。

3、擴散泵油的裂化分解，一般擴散泵對其工作油的要求是飽和蒸氣壓以內(室溫下0.00000001Pa左右)，受熱穩定性好，不易被氧化，分子量大的高沸點的液體，如硅油是擴散泵中比較理想的工作油。

4、泵清洗不干凈，污染物質留在泵內并重復循環，影響其真空度。

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通常擴散泵的性能是以極限真空、大反壓強、抽氣速率以及設置冷阱或低溫擋板而定。

1.極限真空

如果對一般油擴散泵的結構進行改進，如減少油蒸氣的返流，加分鎦裝置，合理分配加熱功率，改進噴嘴角度設計，加以擋油帽、障板或冷阱、吸附阱等，就能使擴散泵性能大大改善，極限真空可達到更低的壓強。油擴散泵工作壓力范圍是10^-1~10^-6Pa，起始壓力正好是機械泵的極限壓力，因此，油擴散泵通常要利用機械泵作為前級泵，將真空度抽到10^-1Pa后才能開始工作。

2.大反壓強

大反壓強是指擴散泵所允許的前置壓強大值。如果前級泵所產生的壓強高于大反壓強，則擴散泵就不能正常工作。

3.抽氣速率

擴散泵的抽速可根據氣體分子運動理論來推算出來。

4.設置冷阱及低溫擋板的原因

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（1）目前國內生擴散泵的廠家較多，型號、尺寸不統一，大泵越作越大，小泵則很少生產。況且對泵的性能也沒有考核指標。行業應對提和質量進行定期檢查、組織生產廠家多做改進工作，使用戶配套方便。（2）泵在結構方面：要縮小尺寸、降低重量，保證零件的加工精度，可增加級數，提高在4×10-1Pa時的抽氣量。給出對幾種常用的被抽氣體的抽氣量。（3）增加附件。如設置擋油帽，過熱保護裝置（對冷卻水水溫、水壓和泵油溫度的在線測和自動保護。可自動切斷和復位）。出口壓力的監控。（4）規定油量的大值和小值和耗油量（如0.5~0.7 g/h等）。要觀察油位，以方便用戶及時注油。從觀察窗看泵油變質情況以便及時更換。（5）給出合適的前級泵的容量。（6）為了節能加熱功率要可調，要快速起動和快速冷卻停泵，提高設備的運轉率。（7）給出各種被抽氣體的性能曲線，好給出對一些氣體的壓縮比（方便用戶選用。（8）用微機控制運行和故障診斷。（9）密封處要選高質量的放氣率和透氣率小的橡膠圈。（10）給出各種泵的返油率限定值，進一步降低返油率，擴大油擴散泵的用途。油擴散泵的工作壓力范圍寬（1~10-5Pa以下），它比其它高真空泵的可靠性高，成本低，只有少數部件需要維修，泵內無運動部件，工作中可更換加熱器。硅油或聚苯醚的蒸汽壓為10-9~10-10Torr，使用合適的擋板或阱在室溫狀態下可獲得10-10Torr或更低的壓力。

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現代的油擴散泵在泵入口處，泵油的返流已降至大約室溫下泵油蒸發速率的水平。

只有在使用時遵守一定的操作規程，才能保證系統的正常工作。前已詳細敘述過有關機械泵、擴散泵的操作規程。經人們生產實踐，對排氣系統，也同樣總結出來一套操作規程。以高真空排氣系統為例（其他真空設備可仿照施行），其操作規程如下：①檢查真空系統各部分，熟悉系統的氣路結構，了解真空系統各元件的作用以及操作部分的電路聯接。②關閉放氣閥門，啟動機械泵，對系統進行抽氣，并隨時用火花檢漏器對系統各部分進行檢漏。如系全金屬系統，則可關閉閥門，用真空計讀數記下P-t曲線（作靜態升壓試驗）。如壓強隨時間呈直線上升，可斷定系統有漏氣源，應進行檢漏。③當系統真空度達到油擴散泵的前置壓強（5×10-2托）后，啟動擴散泵，使加熱電流逐漸升到額定（佳）值。在啟動擴散泵前，必須先開冷卻水。④擴散泵正常工作后，用火花檢漏器（或熱偶計）判斷量測系統的真空度。到10-3托以上（熱偶計近滿偏或95格以上）才能使用電離真空計。使用時先對規管除氣，后測量真空度。