MEMS集成裝置尤其是在生物傳感器方面，已經(jīng)成為心率、血壓等涉及到身體健康生物信號(hào)監(jiān)測(cè)的重要器件，在嚴(yán)苛的環(huán)境中膜層防護(hù)性要求能具有較好的穩(wěn)定性是關(guān)鍵。涂覆了派瑞林的工業(yè)級(jí)傳感器，為手術(shù)機(jī)器人功能提升與柔性電子發(fā)展提供重要的技術(shù)支撐。

除了健康領(lǐng)域，MEMS柔性傳感系統(tǒng)可應(yīng)用的領(lǐng)域還包括運(yùn)動(dòng)行業(yè)、可穿戴機(jī)械設(shè)備、人造皮膚等等。如將柔性壓力傳感器內(nèi)置在鞋子中，可以實(shí)時(shí)檢測(cè)體重、發(fā)力姿勢(shì)、身體平衡性等；可穿戴設(shè)備中的柔性傳感器可以感知人的動(dòng)作和用力情況，協(xié)助佩戴者提起重物、快速走動(dòng)等；集成了柔性觸力傳感器的人造皮膚，可以用于義肢上，感知佩戴者的動(dòng)作意圖并協(xié)助其完成想要的動(dòng)作。作為納米涂層材料之一，派瑞林鍍膜技術(shù)更好的提升了MEMS產(chǎn)品的表面防護(hù)性能。

1.中性鹽雲(yún)試驗(yàn)(NSS試驗(yàn))是出現(xiàn)很早目前應(yīng)用領(lǐng)域很廣的一種加速膚蝕試驗(yàn)方法。它采用5%的氯化鈉鹽水溶液,溶液PH值調(diào)在中性范圍(6~7)作為噴零用的溶液。試驗(yàn)溫度均取35"C,要求鹽的沉降率在1~2ml/80cm2h之間。

2.錯(cuò)酸鹽零試驗(yàn)(ASS試驗(yàn))是在中性鹽霧試驗(yàn)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的。它是在5%氯化鈉溶液中加入ー些冰錯(cuò)酸,使溶液的PH值降為3左右,溶液變成酸性,很后形成的鹽零也由中性鹽變成酸性。它的腐蝕速度要比NSS試驗(yàn)倍左右。

3.銅鹽加速錯(cuò)酸鹽零試驗(yàn)(CASS試驗(yàn))是國(guó)外新近發(fā)展起來(lái)的一種快速鹽雲(yún)腐蝕試驗(yàn),試驗(yàn)溫度為50C,鹽溶液中加入少量銅鹽一氯化銅,強(qiáng)烈發(fā)膚蝕。它的腐蝕速度大約是NSS試驗(yàn)的8倍。

納米涂層指納米wu毒涂層的先進(jìn)工藝，科技含量高的納米涂層技術(shù)。它的厚度為50-800納米，大約為人類頭發(fā)直徑千分之一的透明薄膜納米涂料。這種高科技納米涂層不僅無(wú)毒無(wú)害，還可以緩慢釋放出一種物質(zhì)，降解室內(nèi)甲醛、二等有害物質(zhì)。凡是傳統(tǒng)表面涂層技術(shù)，都可以用來(lái)或者稍加改造，實(shí)現(xiàn)納米材料復(fù)合涂層。

納米涂層低凸的表面可以吸附周?chē)臍怏w分子，形成一層穩(wěn)定的薄膜氣墊，避免了PCB表面及元器件管腳金屬材料與水分子的直接接觸。在PCB表面形成極細(xì)微的網(wǎng)狀膜層，有效降低線路板及電子元器件表面能，使沉積在PCB表面的水滴接觸角趨于大值，PCB表面呈現(xiàn)出較強(qiáng)的超疏水性能。