無塵室門窗縫隙的處理一般來說，無塵室門窗大都共同具有三類構(gòu)造縫隙。一類是樘的組合拼接和樘與無塵室門洞間的安裝縫隙;二類是樘與開啟扇之間的搭接縫隙;三類是玻璃或其他芯板的安裝縫隙。通常所提的無塵室門的空氣泄漏無非是由上述三種縫隙產(chǎn)生的問題。無塵室FFU控制方式：目前FFU一般采用單相多速交流電機、三相多速交流電機和直流電機。

由于控制元件為FFU自帶，分布在潔凈室吊頂內(nèi)的各個位置，工作人員必須在現(xiàn)場通過撥擋開關(guān)來調(diào)節(jié)FFU，控制起來極不方便，而且FFU的風速可調(diào)范圍有限，于幾檔。采用多檔開關(guān)控制方式優(yōu)點是控制簡單、成本低，但存在許多缺陷，比如能耗大、不能平滑調(diào)速、沒有反饋信號、不能實現(xiàn)靈活的組群1控制等。比如說在微電子工作的芯片出產(chǎn)過程中，對微粒的控制要抵達分子級，該工作對出產(chǎn)環(huán)境要求非常苛刻，如不滿意出產(chǎn)的環(huán)境需求就無法進行出產(chǎn)，或者說出產(chǎn)出來的產(chǎn)品都是報廢品，無法運用。

無塵室使用FFU的注意事項：利用FFU解決凈化工程存在的問題，利用FFU可以節(jié)省空間，解決無塵室吊頂頂端維修空間狹小的問題。由于高1級別的無塵室(如百級間)需要百級甚至十級層流罩用以解決工藝需求，潔凈室吊頂上部將設(shè)立一個個巨大的送風靜壓箱，靜壓箱內(nèi)設(shè)立通風機，這些靜壓箱連同送風管、回風管占據(jù)了很大的空間，使得維修空間變的狹小，有時甚至影響消防通道的使用。連續(xù)速度調(diào)節(jié)控制：此系統(tǒng)連續(xù)速度調(diào)節(jié)控制與多檔開關(guān)控制方式相比，多了一個連續(xù)速度調(diào)節(jié)器，使FFU風機轉(zhuǎn)速連續(xù)可調(diào)，但同時也犧牲了電機效率，使其能耗比多檔開關(guān)控制方式還要高。

由于無塵室的平面和空間布置特殊，在進行各項技術(shù)設(shè)施的系統(tǒng)設(shè)計、設(shè)備配置時應(yīng)特別注意按規(guī)定選用符合要求的系統(tǒng)和設(shè)備。為確保無塵室工程潔凈廠房的正常生產(chǎn)和工作，應(yīng)設(shè)置一套較完整的自控裝置，實現(xiàn)以下功能：潔凈室空氣潔凈度、溫濕度、壓差監(jiān)控、風閥調(diào)節(jié)、高純氣體、純水和循環(huán)冷卻水的溫度、壓力、流量的檢測、氣體純度、純水水質(zhì)的監(jiān)測等。無塵室門窗上的縫隙分為固定縫隙和活動縫隙。性質(zhì)不同在無塵室門、窗上所占比例也不同。無塵室門、窗密閉采取的氣密措施也不完全相同。