廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫真空分子泵維修費(fèi)用

抗振動測試 通過對一批泵（處于運(yùn)行和非運(yùn)行條件下）進(jìn)行一系列測試，證明對外部源產(chǎn)生振動的耐受性。在 105 分鐘的振動周期中，全轉(zhuǎn)速和不運(yùn)行的每個泵在垂、水平、倒立方向上受到 0.5–2 g 加速度水平的振動。該測試證實了泵的穩(wěn)定性以及耐振性，因為未觀察到轉(zhuǎn)子機(jī)械接觸或泵運(yùn)行狀態(tài)的改變，且泵不平衡性仍然遠(yuǎn)低于閾值。溫度測試 將泵置于 –40 °C 至 +70 °C（處于非運(yùn)行狀態(tài)）以及 0 °C至 40 °C（處于運(yùn)行狀態(tài)）下暴露 86 小時。對每個泵的不平衡性和是否可正常操作驗證 11 次，結(jié)果顯示僅存在的變異，遠(yuǎn)低于閾值。溫度測試證實了泵在各種預(yù)期運(yùn)行和非運(yùn)行溫度條件下的穩(wěn)定性。

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殊潤滑劑潤滑軸承

使用渦輪分子泵的高真空環(huán)境對潤滑油或潤滑脂非常敏感，因為在高真空環(huán)境下，潤滑油或潤滑脂非常容易汽化。一方面，這些油脂類的蒸氣會形成一種氣源，影響系統(tǒng)的真空度和純凈度；另一方面，這些蒸氣進(jìn)入到真空腔體后，會冷凝附著在其它零件上，影響高真空系統(tǒng)內(nèi)相關(guān)設(shè)備的工作。

TwisTorr 704 FS 采用安捷倫與軸承廠家合作研發(fā)的軸承，能夠任意方向安裝；并且，由于其使用的特殊潤滑劑飽和蒸汽壓極低，正常使用時幾乎沒有損耗，使得該泵在整個壽命周期內(nèi)都無需進(jìn)行加注潤滑脂、更換油棉等維護(hù)。

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氣載、熱氣體、突變氣載

a 引起問題：溫度升高；動靜片變形；轉(zhuǎn)子上移；潤滑失效5℃原則；軸承失效

b. 措施：加大水冷；增加冷卻裝置；縮短換油時間7磁場屏蔽出現(xiàn)的問題

旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子在磁場中產(chǎn)生渦電流，將使轉(zhuǎn)子發(fā)熱，將產(chǎn)生如下問題：

①、轉(zhuǎn)子與定子間隙越來越小，造成碎片；

②、轉(zhuǎn)子溫升過大造成磁性電機(jī)轉(zhuǎn)子退磁；

③、由于發(fā)熱會減弱鋁材料的強(qiáng)度，造成碎泵；

④、轉(zhuǎn)子發(fā)熱，改變轉(zhuǎn)子和軸的相對位置，造成碎泵。

分子泵在磁場中運(yùn)轉(zhuǎn)時，徑向和軸向磁場強(qiáng)度均不得大于30Gs。原則上，大于30Gs應(yīng)使用導(dǎo)磁材料屏蔽。

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為什么要選擇渦旋式無油干泵IDP-3？極低維護(hù)成本IDP-3的采購價格及維護(hù)包價格只是隔膜泵的一半更換操作快捷15分鐘即可完成的密封條更換工作降低音頻噪聲—提高用戶體驗使用精密的測聲計，并通過ISO標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行測試：在操作人員位置的測試結(jié)果表明，IDP-3的噪聲會小于油封式真空泵2dB

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安捷倫分子泵標(biāo)準(zhǔn)保養(yǎng)服務(wù)安捷倫維修中心提供各型號安捷倫分子泵的標(biāo)準(zhǔn)保養(yǎng)服務(wù)，主要項目包括：對整泵進(jìn)行拆解和清洗、更換密封和軸承套件、動平衡調(diào)試和泄漏檢測等。安捷倫的分子泵設(shè)計是免日常維護(hù)的。由于工藝環(huán)境差異，分子泵的工作壽命差別很大，但是如果分子泵已經(jīng)工作了很長時間（5年以上），或者出現(xiàn)了噪音、溫度、功率異常，及時的對其進(jìn)行維護(hù)保養(yǎng)可以大大延長其使用壽命。

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油潤滑分子泵：潤滑油量小，且在前級真空段，對真空室污染小。脂潤滑分子泵：油脂量小，前級配干泵可獲得近似無油的清潔真空。全磁懸浮分子泵：無須潤滑，與干泵一起使用，可獲得無油的清潔真空環(huán)境

干式真空泵主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、化工、電影、儀器、食品等范圍廣泛的行業(yè)，市場上超過50%的產(chǎn)品是進(jìn)口品牌，尤其在半導(dǎo)體行業(yè)中，絕大多數(shù)的真空泵均為國外品牌，國產(chǎn)真空泵主要應(yīng)用于化工等行業(yè)。

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安捷倫推出GC-MS 5973和5975分析儀器使用無油真空解決方案——渦旋式無油干泵IDP-3，在客戶現(xiàn)場就可實現(xiàn)?，F(xiàn)在使用GC-MS分子泵系統(tǒng)的分析儀器的客戶，可以將您的真空泵升級為無油真空泵IDP-3，來改善操作環(huán)境，降低使用成本，消除更換潤滑油和處置廢油所帶來的一切煩惱。

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渦輪分子泵內(nèi)有多組相間動輪葉和定輪葉，每一個輪葉上有許多按一定角度斜置的葉片，如圖一所示。實際的渦輪分子泵都是由多級葉列串聯(lián)組成，即按動片、定片、動片等依次交替排列。動葉片轉(zhuǎn)動時又類似于電風(fēng)扇葉片的作用，能將氣體從一側(cè)抽到另一側(cè)。提高分子泵的轉(zhuǎn)速，有利于提高分子泵的抽速。由于葉片轉(zhuǎn)速限制，如果氣體分子運(yùn)動速度較大，泵抽真空就比較困難。

廣州潽拓光電科技有限公司推出全新HiPace 350 和 450 渦輪分子泵，該產(chǎn)品特別適用于質(zhì)譜分析、電子顯微術(shù)、測量技術(shù)、粒子加速和等離子體物理方面的應(yīng)用。新產(chǎn)品的應(yīng)用領(lǐng)域十分廣泛，除了用于分析、真空工藝和半導(dǎo)體技術(shù)外，還可用于真空鍍膜、研發(fā)以及工業(yè)領(lǐng)域。