所謂無塵并非沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。6）人類在頭部和軀干做動作時每分鐘將產(chǎn)生1000000個大于0。當(dāng)然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無塵是必然的要求。 無塵室中不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

無塵室中不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

無塵室控管項目：

1. 能除去空氣中飄游之微塵粒子。

⒉ 能防止微塵粒子之產(chǎn)生。

⒊ 溫度和濕度之控制。

⒋ 壓力之調(diào)節(jié)。

⒌ 有害氣體之排除。

⒍ 結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性。

⒎ 靜電之防制。

⒏ 電磁干擾預(yù)防。

⒐ 安全因素之考慮。

⒑ 節(jié)能之考量。

⒒照度的的調(diào)節(jié)

在電子元件制品的制造過程中，微粒子污染對成品率有重大影響，故應(yīng)在過程中嚴格控制微粒子的數(shù)量，遵守“不攜入、不發(fā)生、不儲備、除去”四項基本原則以防止微粒子污染。

無塵室內(nèi)防止微粒子污染基本原則：

排除/除去

在無法避免大量微粒子發(fā)生的機臺中，為了不讓無塵室內(nèi)產(chǎn)生微粒子，因此直接做對外排氣的動作，即所謂的局部排氣。清潔室內(nèi)用品除了進出潔凈室用的潔凈衣、防靜電鞋、頭罩、帽、手套、口罩外，尚有如紙張文具桌子、椅子、晶片盒、搬運車、筆記本、告示板及垃圾箱、真空洗塵器等。針對排氣的對策如下：由于導(dǎo)入同量的外氣是必要的，但會伴隨大量的能源消耗。所以無法說是理想的對策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時，不僅僅是向無塵室外排氣，負離子檢測儀而應(yīng)采用將除去粒子后的空氣再回流到無塵室內(nèi)之對策。

(1)FFU用于老建筑物改造成潔凈室時，其綜合經(jīng)濟性一般往往可取。

(2)潔凈度要求嚴的潔凈室，末級過濾器滿布率時，對大的系統(tǒng)采用FFU，當(dāng)前還是不經(jīng)濟的;對小系統(tǒng)有意義作具體比較。

(3)對潔凈度要求不甚嚴的潔凈室，末級過濾器滿布率≤40%時對大系統(tǒng)綜合經(jīng)濟性往往相差不多，但對IC工廠而言FFU系統(tǒng)的靈活性是重要的，因此當(dāng)前IC工廠對過濾器滿布率≤40%時，采用FFU系統(tǒng)已經(jīng)普遍。