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空檢漏的意義？

答：真空系統(tǒng)的極限真空決定于系統(tǒng)的抽速和漏氣量，故在抽速一定時(shí)，漏氣量就決定了真空度，欲使系統(tǒng)達(dá)到預(yù)定的極限真空，必須通過(guò)檢漏和堵漏使系統(tǒng)的漏氣量控制在允許漏率范圍內(nèi)。從原理上講，真空檢漏可分為哪兩大類？答：可以分為：1）壓力檢漏法，包括①充氣檢漏法，②鹵素檢漏法，③氨檢漏法。2）真空檢漏法，包括①高頻火花檢漏法，②真空計(jì)檢漏法，③質(zhì)譜儀檢漏法。

簡(jiǎn)述真空泵的抽氣原理？答：1）利用壓縮作用將氣體排除到泵外。a.機(jī)械周期式膨脹壓縮，b.蒸汽流粘滯牽引壓縮，c.剛性表面的牽引壓縮。2）利用吸附作用將氣體束縛于泵內(nèi)。a.利用電離吸氣作用，b.利用物理吸附和化學(xué)吸附作用。

真空計(jì)，又叫真空規(guī)。半導(dǎo)體設(shè)備中，不可避免的用到真空計(jì)，主要是用來(lái)測(cè)量某一個(gè)腔室或者管道中的壓強(qiáng)。

是什麼？能做什么？怎么用？1，是什麼？真空計(jì)，字面意思，計(jì)量真空度的儀器。2，能做什么？真空計(jì)主要用來(lái)測(cè)量真空，或者叫測(cè)量壓強(qiáng)大小。腔室里面氣體多，壓力大，壓強(qiáng)大，真空計(jì)顯示的數(shù)值就大；反之，真空計(jì)顯示的數(shù)值小。

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依照真空計(jì)測(cè)量基本原理所利用的差異的物理學(xué)體制，可將具體的真空計(jì)分成三大類，分別是利用物理性能，利用汽體動(dòng)力學(xué)模型和利用自由電子作用的真空計(jì)。利用物理性能的真空計(jì)典型性的有波爾登規(guī)（Bourdon）和薄膜電容規(guī)；利用汽體結(jié)構(gòu)力學(xué)效用的典型性真空計(jì)有皮拉尼(Pirani)電阻器規(guī)和電加熱偶規(guī)；利用自由電子作用的典型性真空計(jì)有熱陰極水解規(guī)和冷陰極電離規(guī)。

1、波爾登規(guī)（Bourdon）2、薄膜電容規(guī)3、皮拉尼規(guī)4、熱電阻規(guī)5、熱陰極水解規(guī)6、冷陰極水解規(guī)

真空計(jì)原理、工作中特點(diǎn)及應(yīng)用熱偶真空計(jì)是運(yùn)用熱電阻的電勢(shì)差與加溫部件的溫度相關(guān)，元器件的溫度又與氣體的導(dǎo)熱相關(guān)的基本原理來(lái)準(zhǔn)確測(cè)量真空值的真空計(jì)。熱偶真空計(jì)原理熱電阻真空計(jì)的結(jié)構(gòu)如下圖1所顯示，氣體分子結(jié)構(gòu)擔(dān)負(fù)的導(dǎo)熱量與氣體壓強(qiáng)正相關(guān)是熱電阻真空計(jì)的原理。

熱電阻真空計(jì)的結(jié)構(gòu)圖金屬材料圓桶內(nèi)部結(jié)構(gòu)配有一根燈絲，兩邊聯(lián)接電級(jí)，插電后燈絲會(huì)發(fā)燙。燈絲的卡路里會(huì)根據(jù)氣體分子結(jié)構(gòu)撞擊燈絲、輻射熱和固態(tài)導(dǎo)熱等方法被搶走。設(shè)單位時(shí)間內(nèi)以以上三種方法搶走的發(fā)熱量各自為Qg、Qr、Qs，則平衡狀態(tài)下下列公式計(jì)算創(chuàng)立：式中Q———單位時(shí)間燈絲釋放的發(fā)熱量；R———燈絲的電阻器；I———燈絲的電流量。

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inficon電容塑料薄膜真空計(jì)，電路為閉環(huán)控制構(gòu)造，包含微電容測(cè)量電路和靜電力控制電路，在其中靜電力控制電路用于造成平衡力壓塑料薄膜的靜電力，系統(tǒng)對(duì)的測(cè)量特性擁有極為重要的危害，該方式在確保真空計(jì)高度測(cè)量的并且還能擴(kuò)寬其動(dòng)態(tài)性測(cè)量范圍。

inficon電容塑料薄膜真空計(jì)用以真空泵測(cè)量，規(guī)定在較寬的工作壓力測(cè)量范圍可以測(cè)出較小的工作壓力變化量，與此同時(shí)必須達(dá)到深空探測(cè)、臨近空間檢測(cè)及其流體力學(xué)試驗(yàn)等運(yùn)動(dòng)中測(cè)量?jī)x器設(shè)備微型化的規(guī)定，因此測(cè)量電路應(yīng)當(dāng)在達(dá)到測(cè)量規(guī)定的條件下盡量完成一體化、微型化、功能損耗低。

因而，對(duì)于不一樣電級(jí)構(gòu)造的inficon電容塑料薄膜真空計(jì)微電容測(cè)量電路應(yīng)向著便于集成化、微型化的角度發(fā)展趨勢(shì)。因?yàn)楦鶕?jù)電源開(kāi)關(guān)電容法的微電容測(cè)量電路便于集成化，而靜電平衡構(gòu)造的微電容測(cè)量法有擴(kuò)寬動(dòng)態(tài)性測(cè)量范圍的優(yōu)點(diǎn)，因而根據(jù)二者融合的微電容測(cè)量電路有希望完成對(duì)inficon電容塑料薄膜真空計(jì)總體測(cè)量特性的提高。

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