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空檢漏的意義？

答：真空系統的極限真空決定于系統的抽速和漏氣量，故在抽速一定時，漏氣量就決定了真空度，欲使系統達到預定的極限真空，必須通過檢漏和堵漏使系統的漏氣量控制在允許漏率范圍內。從原理上講，真空檢漏可分為哪兩大類？答：可以分為：1）壓力檢漏法，包括①充氣檢漏法，②鹵素檢漏法，③氨檢漏法。2）真空檢漏法，包括①高頻火花檢漏法，②真空計檢漏法，③質譜儀檢漏法。

簡述真空泵的抽氣原理？答：1）利用壓縮作用將氣體排除到泵外。a.機械周期式膨脹壓縮，b.蒸汽流粘滯牽引壓縮，c.剛性表面的牽引壓縮。2）利用吸附作用將氣體束縛于泵內。a.利用電離吸氣作用，b.利用物理吸附和化學吸附作用。

真空計，又叫真空規。半導體設備中，不可避免的用到真空計，主要是用來測量某一個腔室或者管道中的壓強。

是什麼？能做什么？怎么用？1，是什麼？真空計，字面意思，計量真空度的儀器。2，能做什么？真空計主要用來測量真空，或者叫測量壓強大小。腔室里面氣體多，壓力大，壓強大，真空計顯示的數值就大；反之，真空計顯示的數值小。

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依照真空計測量基本原理所利用的差異的物理學體制，可將具體的真空計分成三大類，分別是利用物理性能，利用汽體動力學模型和利用自由電子作用的真空計。利用物理性能的真空計典型性的有波爾登規（Bourdon）和薄膜電容規；利用汽體結構力學效用的典型性真空計有皮拉尼(Pirani)電阻器規和電加熱偶規；利用自由電子作用的典型性真空計有熱陰極水解規和冷陰極電離規。

1、波爾登規（Bourdon）2、薄膜電容規3、皮拉尼規4、熱電阻規5、熱陰極水解規6、冷陰極水解規

真空計原理、工作中特點及應用熱偶真空計是運用熱電阻的電勢差與加溫部件的溫度相關，元器件的溫度又與氣體的導熱相關的基本原理來準確測量真空值的真空計。熱偶真空計原理熱電阻真空計的結構如下圖1所顯示，氣體分子結構擔負的導熱量與氣體壓強正相關是熱電阻真空計的原理。

熱電阻真空計的結構圖金屬材料圓桶內部結構配有一根燈絲，兩邊聯接電級，插電后燈絲會發燙。燈絲的卡路里會根據氣體分子結構撞擊燈絲、輻射熱和固態導熱等方法被搶走。設單位時間內以以上三種方法搶走的發熱量各自為Qg、Qr、Qs，則平衡狀態下下列公式計算創立：式中Q———單位時間燈絲釋放的發熱量；R———燈絲的電阻器；I———燈絲的電流量。

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inficon電容塑料薄膜真空計，電路為閉環控制構造，包含微電容測量電路和靜電力控制電路，在其中靜電力控制電路用于造成平衡力壓塑料薄膜的靜電力，系統對的測量特性擁有極為重要的危害，該方式在確保真空計高度測量的并且還能擴寬其動態性測量范圍。

inficon電容塑料薄膜真空計用以真空泵測量，規定在較寬的工作壓力測量范圍可以測出較小的工作壓力變化量，與此同時必須達到深空探測、臨近空間檢測及其流體力學試驗等運動中測量儀器設備微型化的規定，因此測量電路應當在達到測量規定的條件下盡量完成一體化、微型化、功能損耗低。

因而，對于不一樣電級構造的inficon電容塑料薄膜真空計微電容測量電路應向著便于集成化、微型化的角度發展趨勢。因為根據電源開關電容法的微電容測量電路便于集成化，而靜電平衡構造的微電容測量法有擴寬動態性測量范圍的優點，因而根據二者融合的微電容測量電路有希望完成對inficon電容塑料薄膜真空計總體測量特性的提高。

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