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空檢漏的意義？

答：真空系統(tǒng)的極限真空決定于系統(tǒng)的抽速和漏氣量，故在抽速一定時，漏氣量就決定了真空度，欲使系統(tǒng)達到預(yù)定的極限真空，必須通過檢漏和堵漏使系統(tǒng)的漏氣量控制在允許漏率范圍內(nèi)。從原理上講，真空檢漏可分為哪兩大類？答：可以分為：1）壓力檢漏法，包括①充氣檢漏法，②鹵素檢漏法，③氨檢漏法。2）真空檢漏法，包括①高頻火花檢漏法，②真空計檢漏法，③質(zhì)譜儀檢漏法。

簡述真空泵的抽氣原理？答：1）利用壓縮作用將氣體排除到泵外。a.機械周期式膨脹壓縮，b.蒸汽流粘滯牽引壓縮，c.剛性表面的牽引壓縮。2）利用吸附作用將氣體束縛于泵內(nèi)。a.利用電離吸氣作用，b.利用物理吸附和化學(xué)吸附作用。

真空計，又叫真空規(guī)。半導(dǎo)體設(shè)備中，不可避免的用到真空計，主要是用來測量某一個腔室或者管道中的壓強。

是什麼？能做什么？怎么用？1，是什麼？真空計，字面意思，計量真空度的儀器。2，能做什么？真空計主要用來測量真空，或者叫測量壓強大小。腔室里面氣體多，壓力大，壓強大，真空計顯示的數(shù)值就大；反之，真空計顯示的數(shù)值小。

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依照真空計測量基本原理所利用的差異的物理學(xué)體制，可將具體的真空計分成三大類，分別是利用物理性能，利用汽體動力學(xué)模型和利用自由電子作用的真空計。利用物理性能的真空計典型性的有波爾登規(guī)（Bourdon）和薄膜電容規(guī)；利用汽體結(jié)構(gòu)力學(xué)效用的典型性真空計有皮拉尼(Pirani)電阻器規(guī)和電加熱偶規(guī)；利用自由電子作用的典型性真空計有熱陰極水解規(guī)和冷陰極電離規(guī)。

1、波爾登規(guī)（Bourdon）2、薄膜電容規(guī)3、皮拉尼規(guī)4、熱電阻規(guī)5、熱陰極水解規(guī)6、冷陰極水解規(guī)

真空計原理、工作中特點及應(yīng)用熱偶真空計是運用熱電阻的電勢差與加溫部件的溫度相關(guān)，元器件的溫度又與氣體的導(dǎo)熱相關(guān)的基本原理來準確測量真空值的真空計。熱偶真空計原理熱電阻真空計的結(jié)構(gòu)如下圖1所顯示，氣體分子結(jié)構(gòu)擔(dān)負的導(dǎo)熱量與氣體壓強正相關(guān)是熱電阻真空計的原理。

熱電阻真空計的結(jié)構(gòu)圖金屬材料圓桶內(nèi)部結(jié)構(gòu)配有一根燈絲，兩邊聯(lián)接電級，插電后燈絲會發(fā)燙。燈絲的卡路里會根據(jù)氣體分子結(jié)構(gòu)撞擊燈絲、輻射熱和固態(tài)導(dǎo)熱等方法被搶走。設(shè)單位時間內(nèi)以以上三種方法搶走的發(fā)熱量各自為Qg、Qr、Qs，則平衡狀態(tài)下下列公式計算創(chuàng)立：式中Q———單位時間燈絲釋放的發(fā)熱量；R———燈絲的電阻器；I———燈絲的電流量。

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inficon電容塑料薄膜真空計，電路為閉環(huán)控制構(gòu)造，包含微電容測量電路和靜電力控制電路，在其中靜電力控制電路用于造成平衡力壓塑料薄膜的靜電力，系統(tǒng)對的測量特性擁有極為重要的危害，該方式在確保真空計高度測量的并且還能擴寬其動態(tài)性測量范圍。

inficon電容塑料薄膜真空計用以真空泵測量，規(guī)定在較寬的工作壓力測量范圍可以測出較小的工作壓力變化量，與此同時必須達到深空探測、臨近空間檢測及其流體力學(xué)試驗等運動中測量儀器設(shè)備微型化的規(guī)定，因此測量電路應(yīng)當在達到測量規(guī)定的條件下盡量完成一體化、微型化、功能損耗低。

因而，對于不一樣電級構(gòu)造的inficon電容塑料薄膜真空計微電容測量電路應(yīng)向著便于集成化、微型化的角度發(fā)展趨勢。因為根據(jù)電源開關(guān)電容法的微電容測量電路便于集成化，而靜電平衡構(gòu)造的微電容測量法有擴寬動態(tài)性測量范圍的優(yōu)點，因而根據(jù)二者融合的微電容測量電路有希望完成對inficon電容塑料薄膜真空計總體測量特性的提高。

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