工業有機廢氣低溫等離子體處理設備燃燒法是處理高濃度VOC和惡臭化合物的有效方法。其原理是利用多余的空氣來燃燒這些雜質，其中大部分是產生的二氧化碳和水蒸氣，并可以釋放到大氣中。當吸附進行了一段時間,因為表面的濃度吸附劑,吸附能力顯著降低,吸附凈化的要求,此時,有必要采取某些措施,使吸附劑吸附吸附劑解吸,配合吸附能力,這個過程稱為吸附劑的再生。VOCs氣體解吸后經過冷凝器和氣液分離器，純VOCs氣體離開汽提塔回收。

常見廢氣處理設備部件：1、燃燒設備燃燒裝置是廢氣處理設備的設備，起著至關重要的目的;主要是利用燃燒反應，對廢氣和空氣燃燒，把廢氣分解成二氧化碳、水或固體氧化物等，來達成vocs廢氣處理問題。2，收集裝置收集裝置是構成循環系統的一部分，將vocs廢氣收集、檢測等工作;減少廢氣中粉塵，防止粉塵堵塞吸附設備。步是將vocs廢氣收集排入至廢氣處理設備內部進行燃燒處理，在廢氣進入燃燒室時，會進行廢氣檢測;將不溶解的vocs廢氣，從設備的頂部排出去。

如何選擇廢氣處理設備？有機廢氣凈化處理設備的處理方法對比應該優先選擇成本低、能耗少、無二次污染的廢氣凈化處理方法，充分利用廢氣的余熱，實現資源的循環利用。一般情況下，石化企業由于其生產活動的特殊性，排氣濃度高，多采用冷凝、吸收、燃燒等方法進行廢氣的凈化處理。而印刷等行業的排氣濃度低，多采用吸附、催化燃燒等方法進行廢氣凈化處理。