什么是氣體質(zhì)量流量控制器？

氣體質(zhì)量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。它們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。

質(zhì)量流量控制器不僅具備質(zhì)量流量計的作用，更主要的是，它能控制氣體流量，即客戶可按照需求設(shè)定流量，MFC會自動地將流量穩(wěn)定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)工作壓力有起伏或自然環(huán)境溫度有轉(zhuǎn)變，也不會使其偏移設(shè)定值。簡易地說,質(zhì)量流量控制器可以看成是一個穩(wěn)流設(shè)備, 是一個可以手動式設(shè)置或與電子計算機(jī)連接自動控制的氣體穩(wěn)流設(shè)備。

如何通過質(zhì)量流量控制器判斷有沒有氣體通過？

可以使用惰性氣體接到MFC進(jìn)氣端，然后將出氣口接一根軟管再通進(jìn)水里，如果軟管口有氣泡冒出，證明MFC是有氣體通過的，不過需要注意防止液體倒吸進(jìn)MFC內(nèi)，也可以用手將出氣口堵死，觀察瞬時流量是否有下降，如果有下降，也證明有氣體通過，此時堵住出氣口的手指也能感受到一定的壓力。

氣體質(zhì)量流量控制器工作原理

氣體進(jìn)入進(jìn)氣管道接頭后大部門流量流過分流器通道，其中很小一部門進(jìn)入傳感器內(nèi)部的毛細(xì)鋼管。因?yàn)榉至髌魍ǖ赖奶厥饨Y(jié)構(gòu)，可以實(shí)現(xiàn)這兩部門氣體流量成正比例關(guān)系。傳感器經(jīng)由預(yù)熱加溫，里面的溫度高于進(jìn)入的氣流溫度，此時通過毛細(xì)鋼管傳熱和溫差量熱法原理丈量這一小部門氣體的質(zhì)量流量。用這種辦法測出的氣體流量可以忽略溫度和壓力的影響，將傳感器測得的流量檢測信號輸入電路板，經(jīng)由放大后輸出，就完成了MFM的功能。將電路板中加入PID閉環(huán)自動控制功能，把傳感器測得的流量檢測信號與用戶給出的設(shè)定信號進(jìn)行比較，以此為基礎(chǔ)控制調(diào)節(jié)閥，使得流量檢測信號與設(shè)定信號相等，這樣便實(shí)現(xiàn)了MFC的功能。