齒輪是干式真空泵常見一種功率帶動(dòng)零件，它的耐用性與可靠性雖然與齒輪的材料，加工質(zhì)量以及潤滑情況關(guān)系很大，但其裝配方法不當(dāng)也會(huì)影響齒輪的傳動(dòng)的效率，裝配不當(dāng)會(huì)導(dǎo)致齒面加速磨損以及縮短其使用的壽命，因此在真空泵維修中的齒輪裝配工序尤為重要。

Stokes Microvac 系列油封真空滑閥泵

在 佳性能和可靠性方面，Stokes Microvac 滑閥泵樹立了 行業(yè)的滑閥泵標(biāo)準(zhǔn)，并能大限度減少維護(hù)與 時(shí)間。

Stokes Microvac 經(jīng)過了 時(shí)間的考驗(yàn)，堪稱、可靠的滑閥泵。如今經(jīng)過進(jìn)一步優(yōu)化、升級(jí)和微調(diào)， 新的“J”系列將具有優(yōu)性能、極低的維護(hù)需求和 運(yùn)行成本。

低轉(zhuǎn)速幫助實(shí)現(xiàn) 長的泵使用壽命

簡單耐用的機(jī)制 帶來高可靠性且易于裝配

泵機(jī)享有 充分的質(zhì)量保障和售后支持，免除

經(jīng)過 80 年時(shí)間考驗(yàn)的 性能

多種增壓機(jī)選項(xiàng)， 支持靈活的泵組合

新推出的“J”系列結(jié)合了 工程設(shè)計(jì)數(shù)十年的發(fā)展成果，噪音更低、密封更好且性能穩(wěn)定 具有極低的維護(hù)需求和運(yùn)行成本。

愛德華真空泵相對(duì)其他單級(jí)選片式真空泵具有更高的精度，同時(shí)結(jié)構(gòu)相對(duì)來講比較復(fù)雜，所以我們在愛德華真空泵維修時(shí)需要制作精度較高的工具來對(duì)泵浦進(jìn)行拆卸、安裝，下面就其軸承的檢修與裝配跟大家交流下。

拆卸軸承應(yīng)使用工具，安裝時(shí)不得用錘直接敲擊軸承，需敲擊時(shí)必須墊以軟金屬。

裝配軸承時(shí)，應(yīng)先檢查軸承質(zhì)量、配合尺寸偏差等是否符合要求。

軸承內(nèi)圈端面應(yīng)與軸肩靠緊

軸承采用加熱安裝時(shí)，加熱可采用油浴，油溫不超過100-120度，軸承油浴時(shí)間10-15Min，嚴(yán)禁用火焰直接加熱軸承

適合清潔/干燥應(yīng)用的 Edwards RV 泵的主要優(yōu)點(diǎn)

的模式選擇器開關(guān)意味著泵可在高流速下保持潤滑

配備可選的油回收套件，可確保在高流量下，油保持在泵內(nèi)

的防反吸保護(hù)可避免油霧回流到制程中

通過油壓來控制打開狀態(tài)，從而消除壓力波動(dòng)

在泵由于傾泄閥而停止運(yùn)行的 0.4 秒內(nèi)快速關(guān)閉

獲得的模式選擇器意味著該泵在高真空應(yīng)用和高吞吐量應(yīng)用中都適用。對(duì)于后一種應(yīng)用，可以安裝一個(gè)可選的油回收套件，以便讓泵在高吞吐量下連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)而不會(huì)將所有油排到排氣管中。

氧化劑

有許多消費(fèi)者可能是真空泵在使用時(shí)出現(xiàn)了一些小故障，為了節(jié)約成本就會(huì)拿去維修，也不管找到的維修商家是否有能力修好該真空泵，只一味的注重價(jià)格。真空泵要處于通風(fēng)位置或者室內(nèi)裝有降溫裝置也可以，原因也是一樣的，只是為了讓真空泵的散熱性能更好，盡可能的降低真空泵的工作溫度。耗材及時(shí)更換。其中的又是：油霧分離器（排氣濾芯）和油。這兩種耗材一定要及時(shí)的更換。排氣過濾器如果一旦出現(xiàn)報(bào)廢或者其他質(zhì)量問題時(shí)第yi時(shí)間更換！油出現(xiàn)了顏色變色、沉淀物增多、開始出現(xiàn)乳化等現(xiàn)象時(shí)不能僅僅停留在加油的保養(yǎng)，要全部更換真空泵油

適用于 Applied Materials 制程平臺(tái)的 IPUP

IPUP2：緊湊型低能量的 180m3/h 干泵，用于晶圓加工和其他清潔工作應(yīng)用。它能夠 以低能耗快速抽空負(fù)載鎖定艙室。

IPUP2 小巧輕便，適用于負(fù)載鎖定 和清潔應(yīng)用。其低振動(dòng)和低噪聲級(jí)的優(yōu)點(diǎn)使其適合于 在機(jī)臺(tái)上使用或安裝在工廠的夾心層中，從而有助于節(jié)省寶貴的 工廠地面空間，同時(shí)程序地提高泵送性能。環(huán)保模式可在 空閑期間降低設(shè)備使用率，從而降低使用成本， 有助于保護(hù)環(huán)境。

適合在 Applied Materials 的制程平臺(tái)上使用， 可提高處理能力，同時(shí)減少能耗。

3 萬億次循環(huán) MTBF

與原始 IPUP? 相比，速度 提高 50%，能耗降低 70%

提供適用于現(xiàn)有 IPUP? 的 插入式替換部件

真空泵的常見故障是漏油、不能達(dá)到極限真空度和不能啟動(dòng)。判定故障后, 維修方法是更換老化的密封部件, 添加和更換新油、清洗油路、更換老化的配油器、旋片和彈簧, 更換損壞的電源器件和電機(jī)線圈等。后給出真空泵的性能改造位置和方法。

ES 單級(jí)旋轉(zhuǎn)式葉片泵

Edwards ES 系列泵代表了 單極油封旋轉(zhuǎn)式葉片泵的重大進(jìn)步。

增強(qiáng)的 性能：

同類的極限真空級(jí)別和更寬的工作壓力范圍

穩(wěn)定性：

穩(wěn)定的真空性能，無壓力波動(dòng)

便捷性：

組合式 ISO/BSP 連接，易于在現(xiàn)場維修

靈活性：

可單獨(dú)使用，也可與機(jī)械增壓泵一同使用，適用于各種應(yīng)用