齒輪是干式真空泵常見一種功率帶動零件，它的耐用性與可靠性雖然與齒輪的材料，加工質量以及潤滑情況關系很大，但其裝配方法不當也會影響齒輪的傳動的效率，裝配不當會導致齒面加速磨損以及縮短其使用的壽命，因此在真空泵維修中的齒輪裝配工序尤為重要。

Stokes Microvac 系列油封真空滑閥泵

在 佳性能和可靠性方面，Stokes Microvac 滑閥泵樹立了 行業的滑閥泵標準，并能大限度減少維護與 時間。

Stokes Microvac 經過了 時間的考驗，堪稱、可靠的滑閥泵。如今經過進一步優化、升級和微調， 新的“J”系列將具有優性能、極低的維護需求和 運行成本。

低轉速幫助實現 長的泵使用壽命

簡單耐用的機制 帶來高可靠性且易于裝配

泵機享有 充分的質量保障和售后支持，免除

經過 80 年時間考驗的 性能

多種增壓機選項， 支持靈活的泵組合

新推出的“J”系列結合了 工程設計數十年的發展成果，噪音更低、密封更好且性能穩定 具有極低的維護需求和運行成本。

愛德華真空泵相對其他單級選片式真空泵具有更高的精度，同時結構相對來講比較復雜，所以我們在愛德華真空泵維修時需要制作精度較高的工具來對泵浦進行拆卸、安裝，下面就其軸承的檢修與裝配跟大家交流下。

拆卸軸承應使用工具，安裝時不得用錘直接敲擊軸承，需敲擊時必須墊以軟金屬。

裝配軸承時，應先檢查軸承質量、配合尺寸偏差等是否符合要求。

軸承內圈端面應與軸肩靠緊

軸承采用加熱安裝時，加熱可采用油浴，油溫不超過100-120度，軸承油浴時間10-15Min，嚴禁用火焰直接加熱軸承

適合清潔/干燥應用的 Edwards RV 泵的主要優點

的模式選擇器開關意味著泵可在高流速下保持潤滑

配備可選的油回收套件，可確保在高流量下，油保持在泵內

的防反吸保護可避免油霧回流到制程中

通過油壓來控制打開狀態，從而消除壓力波動

在泵由于傾泄閥而停止運行的 0.4 秒內快速關閉

獲得的模式選擇器意味著該泵在高真空應用和高吞吐量應用中都適用。對于后一種應用，可以安裝一個可選的油回收套件，以便讓泵在高吞吐量下連續運轉而不會將所有油排到排氣管中。

氧化劑

有許多消費者可能是真空泵在使用時出現了一些小故障，為了節約成本就會拿去維修，也不管找到的維修商家是否有能力修好該真空泵，只一味的注重價格。真空泵要處于通風位置或者室內裝有降溫裝置也可以，原因也是一樣的，只是為了讓真空泵的散熱性能更好，盡可能的降低真空泵的工作溫度。耗材及時更換。其中的又是：油霧分離器（排氣濾芯）和油。這兩種耗材一定要及時的更換。排氣過濾器如果一旦出現報廢或者其他質量問題時第yi時間更換！油出現了顏色變色、沉淀物增多、開始出現乳化等現象時不能僅僅停留在加油的保養，要全部更換真空泵油

適用于 Applied Materials 制程平臺的 IPUP

IPUP2：緊湊型低能量的 180m3/h 干泵，用于晶圓加工和其他清潔工作應用。它能夠 以低能耗快速抽空負載鎖定艙室。

IPUP2 小巧輕便，適用于負載鎖定 和清潔應用。其低振動和低噪聲級的優點使其適合于 在機臺上使用或安裝在工廠的夾心層中，從而有助于節省寶貴的 工廠地面空間，同時程序地提高泵送性能。環保模式可在 空閑期間降低設備使用率，從而降低使用成本， 有助于保護環境。

適合在 Applied Materials 的制程平臺上使用， 可提高處理能力，同時減少能耗。

3 萬億次循環 MTBF

與原始 IPUP? 相比，速度 提高 50%，能耗降低 70%

提供適用于現有 IPUP? 的 插入式替換部件

真空泵的常見故障是漏油、不能達到極限真空度和不能啟動。判定故障后, 維修方法是更換老化的密封部件, 添加和更換新油、清洗油路、更換老化的配油器、旋片和彈簧, 更換損壞的電源器件和電機線圈等。后給出真空泵的性能改造位置和方法。

ES 單級旋轉式葉片泵

Edwards ES 系列泵代表了 單極油封旋轉式葉片泵的重大進步。

增強的 性能：

同類的極限真空級別和更寬的工作壓力范圍

穩定性：

穩定的真空性能，無壓力波動

便捷性：

組合式 ISO/BSP 連接，易于在現場維修

靈活性：

可單獨使用，也可與機械增壓泵一同使用，適用于各種應用