氦質譜檢漏儀測量數據處理

漏率的溫度修正

標準漏孔漏率易受溫度變化影響，溫度對標準漏孔漏率的影響一般為3%/℃ ，所以如果實際環境溫度和標準漏孔證書中溫度不一致，需要將標準漏孔證書中漏率和標準漏孔漏率的氦質譜檢漏儀示值修正至同一環境溫度下來計算，并在測試結果中加以說明，修正方法如下:

方法一: 將標準漏孔證書中的漏率修正至實際環境溫度下，用標準漏孔證書中的漏率加上或減去溫度對標準漏孔漏率的影響系數計算值；

方法二: 將標準漏孔漏率的氦質譜檢漏儀示值平均值修正至標準漏孔證書中環境溫度下，用標準漏孔漏率的氦質譜檢漏儀示值平均值加上或減去溫度對標準漏孔漏率的影響系數計算值。

氦氣怎么檢漏？

利用氦氣是比氫氣小的第二輕的惰性氣體，氦氣在自然狀態下會向上垂直擴散，在被檢測的管道中注入氦氣。如果這些設備有漏點，那么我們就能通過監測儀器探測到有氦氣在管道外部。這就是管道中氦氣檢漏的方法。

對于一些高的精尖的細小電子元件，氦氣怎么檢漏呢？將要檢測的元件放入充滿氦氣的容器中并且加壓。規定的瓶裝氦氣按純度高低分別為工業用氦、純氦、高純氦三種。在壓力的作用下，如果這些元件存在漏點，必然會有氦氣通過這些小孔進入到元件內部。使用壓縮空氣將元件表面的少量殘留氦氣吹掃干凈之后，再利用質譜儀檢測元件表面泄露的氦氣。看到這里大家得注意，氦氣的價格不菲，進行一次氦氣檢漏的費用自然不低。

氦氣怎么檢漏，氦氣檢漏就是利用了氦氣分子小能夠輕易進入那些不被肉眼察覺的孔縫中，利用監測儀器就能探測到孔縫中泄露出的氦氣。耐壓要求：對產品加壓到實驗壓力，保壓一段時間，降到常壓，經檢查無泄漏和異常變形。檢測時首先探測到氦氣的點，得到氦氣的水含量，再利用色譜儀計算出氫氣、氧氣、C02氣體等雜質。氦檢漏有兩種工藝，一種是背壓法，另一種則是真空箱法。

真空法氦質譜檢漏

采用真空法檢漏時，需要利用輔助真空泵或檢漏儀對被檢產品內部密封室抽真空，采用氦罩或噴吹的方法在被檢產品外表面施氦氣，當被檢產品表面有漏孔時，氦氣就會通過漏孔進入被檢產品內部，再進入氦質譜檢漏儀，從而實現被檢產品泄漏量測量。2ppm），在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小。按照施漏氣體方法的不同，又可以將真空法分為真空噴吹法和真空氦罩法。其中真空噴吹法采用噴的方式向被檢產品外表面噴吹氦氣，可以實現漏孔的準確定位； 真空氦罩法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產品全部罩起來，在罩內充滿一定濃度的氦氣，可以實現被檢產品總漏率的測量。

真空法的優點是檢測靈敏度高，可以準確定位，能實現大容器或復雜結構產品的檢漏。

真空法的缺點是只能實現一個大氣壓差的漏率檢測，不能準確反映帶壓被檢產品的真實泄漏狀態。

真空法的檢測主要應用于真空密封性能要求，但不帶壓工作的產品，如空間活動部件、液氫槽車、環境模擬設備等。