在選真空泵時就要注意要選擇真空度高，抽氣速率大的真空泵，如旋片式真空泵就才能滿足要求;而抽濾，旋轉蒸發儀要求的真空度和抽氣速率相對低，所以可選擇普通的真空泵就可以，如隔膜真空泵和循環水真空泵就可以。

隔膜真空泵根據對氣體處理的不同程度可以分為一級泵，二級泵，三級泵和四級泵，一級泵時對氣體經過一次的壓縮處理而達到抽氣減壓的作用，一級泵真空度低但抽氣量大，四級泵是對氣體經過四次壓縮處理而達到抽氣減壓的作用，四級泵技術要求較高，四級泵真空度gao但抽氣速率小，國內的隔膜gao做到二級，國外gao做到四級,因此真空度越高，抽氣速率越大價格也就越貴，所以選擇真空泵時一定要根據實際情況來選擇。

適合泵送氧化劑的 Edwards RV 泵的主要優點：

任何旋轉式葉片泵的高氣鎮流量

允許稀釋泵送的氣體以便大限度地減少油的氧化

提供 PFPE 選配型

適合泵送氧氣和鹵代化合物

RV 泵的高氣鎮允許更高的氧氣流量，同時保持稀釋到下限以下。在與可選的油回收套件配合使用時可防止氣鎮將所有油吹入到廢氣，與備有 PFPE 的泵配合使用時可避免油被氧化，RV 泵是適合泵送氧氣的可靠泵。同樣，這些特性使得 RV 泵適用于泵送其他氧化劑，如鹵素和鹵代化合物。對于這些化合物，著火/不是問題，但氣鎮仍可用于稀釋以保護油和軸承。應使用 PFPE 以延長油的壽命。

泵系列

Edwards 的堅固耐用型真空泵系列提供的極限性能，同時擁有良好的抽取速度。RV 不僅運轉安靜，而且有優異的蒸汽處理能力。

RV3

RV3 PFPE

RV5

RV5 PFPE

RV8

RV8 PFPE

RV12

RV12 PFPE

應用

目標應用包括：

負載鎖

計量

傳輸腔

灰化/剝離

PVD

主要特性和優勢

占地面積小且重量輕 - 作為可用的 工具上泵之一，EPX 顯著節省了 占地面積。鋁制構造使其重量輕巧，增加了安裝 選項。EPX 可以直接安裝到工具上，從而節省了前級管道和 安裝成本，如果需要也可遠程使用。

受保護的泵機構 - EPX 可以從大氣壓抽空到 UHV 級基準壓力并可在所有入口壓力下連續運轉。

超清潔機構 - 傳統的高真空軸承使用油脂潤滑，這可能成為制程 工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承油脂，并且不存在 任何其他的潛在污染源。

非常可靠 - EPX 具有大約 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常 每 5 年維修一次，地延長了泵的 使用壽命。

運轉時的噪聲低至 56 dB(A)，可在潔凈室內實現低噪聲。

凡使用我司提供的真空泵耗材在正常使用過程中導致貴司的真空泵故障和異常，我司將免費負責處理和維修，并免費提供機器給客戶備用，以確保客戶正常生產。

應用：真空冶金加工，薄膜覆層技術，制藥冷凍干燥,冷凍和空調系統抽空、干燥和回填；真空泵維修作為真空泵設備提升泵浦性能的重要的一種修復工序，其中零件之間的修復配合裝配尤為關鍵