測試時，將定量的氦氣噴吹在懷疑可能泄漏的部位，通過觀察檢漏儀上的漏率顯示來確定該部位是否存在泄漏及泄漏程度的大小。由于真空系統比較龐雜，影響真空的因素多，對此我們在試驗前，應先根據真空嚴密性的試驗情況、相關系統及設備的運行情況、機組的檢修情況等進行了解分析，初步判斷真空泄漏可能發生的設備或系統管道的位置。然后，在試驗過程中先對重點懷疑泄漏部位進行檢查，再對其他部位按照分系統、分段、逐個設備部件進行排查。

氦質譜檢漏儀是根據質譜學原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規組成的質譜室和抽氣系統及電氣部分等組成。檢漏儀自動化程度高：自動校準氦峰，自動調節零點，量程自動轉換，自動數據處理，可外接打印機。氦質譜檢漏儀由微機控制，菜單的選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。檢漏儀高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達數百帕左右，對檢測大系統和有大漏的工件很有益。

為了避免事故的發生，化工廠商在投建廠房時就應該對化學管道和設備做氣密檢漏并且后期生產中也需要定期檢漏。氦質譜檢漏設備檢漏過程中，如發現大量氦氣進質譜檢漏儀，應立即移去吸，防止因儀器長時間清除不掉氦影響而延誤測試。對檢漏方法的要求：檢漏靈敏度高，可以檢出很小的漏孔；反應時間短，可以提高工作效率；根據具體被檢對象，所用方法簡便易行，經濟實用。