廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫分子泵Turbo-V3K-G出售

抗振動(dòng)測試 通過對一批泵（處于運(yùn)行和非運(yùn)行條件下）進(jìn)行一系列測試，證明對外部源產(chǎn)生振動(dòng)的耐受性。在 105 分鐘的振動(dòng)周期中，全轉(zhuǎn)速和不運(yùn)行的每個(gè)泵在垂、水平、倒立方向上受到 0.5–2 g 加速度水平的振動(dòng)。該測試證實(shí)了泵的穩(wěn)定性以及耐振性，因?yàn)槲从^察到轉(zhuǎn)子機(jī)械接觸或泵運(yùn)行狀態(tài)的改變，且泵不平衡性仍然遠(yuǎn)低于閾值。溫度測試 將泵置于 –40 °C 至 +70 °C（處于非運(yùn)行狀態(tài)）以及 0 °C至 40 °C（處于運(yùn)行狀態(tài)）下暴露 86 小時(shí)。對每個(gè)泵的不平衡性和是否可正常操作驗(yàn)證 11 次，結(jié)果顯示僅存在的變異，遠(yuǎn)低于閾值。溫度測試證實(shí)了泵在各種預(yù)期運(yùn)行和非運(yùn)行溫度條件下的穩(wěn)定性。

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殊潤滑劑潤滑軸承

使用渦輪分子泵的高真空環(huán)境對潤滑油或潤滑脂非常敏感，因?yàn)樵诟哒婵窄h(huán)境下，潤滑油或潤滑脂非常容易汽化。一方面，這些油脂類的蒸氣會形成一種氣源，影響系統(tǒng)的真空度和純凈度；另一方面，這些蒸氣進(jìn)入到真空腔體后，會冷凝附著在其它零件上，影響高真空系統(tǒng)內(nèi)相關(guān)設(shè)備的工作。

TwisTorr 704 FS 采用安捷倫與軸承廠家合作研發(fā)的軸承，能夠任意方向安裝；并且，由于其使用的特殊潤滑劑飽和蒸汽壓極低，正常使用時(shí)幾乎沒有損耗，使得該泵在整個(gè)壽命周期內(nèi)都無需進(jìn)行加注潤滑脂、更換油棉等維護(hù)。

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滑閥式真空泵市場

國內(nèi)外各種真空爐、鍍膜機(jī)以及干燥、浸漬等設(shè)備都是用滑閥泵作為前級泵，但是滑閥泵鑄件重，加工工作量較大，所以國外各真空廠都在中國尋找合作伙伴。為了使國產(chǎn)滑閥泵能夠進(jìn)入國際市場，必須進(jìn)一步降低泵的振動(dòng)噪聲，噴油和漏油，提高滑閥泵長期運(yùn)行的可靠性。

廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫分子泵Turbo-V3K-G出售維修問題

分子泵噪音大如何界定？是否有合格標(biāo)準(zhǔn)，是多少？

答：小于72db合格，噪音的大小不太好界定，需要儀器和特定的測試環(huán)境

分子泵是否對冷卻有明確要求？如風(fēng)冷需要外界溫度是多少？如水冷則對水有何具體要求？如未達(dá)到要求會出現(xiàn)何后果？

答：注意水溫和水流量，冷卻不良會導(dǎo)致無故停機(jī)、碎泵、油變黑等。

分子泵電源存在接地、屏蔽等問題，應(yīng)如何做才是佳方式？

答：電源本身有接地線，只需要保證市網(wǎng)有良好接地就可以了；屏蔽主要是指對強(qiáng)磁場和強(qiáng)輻射的屏蔽。

頻器電源，轉(zhuǎn)速上升過程中就自動(dòng)關(guān)機(jī)，即顯示“Poff”？

答：原因：電壓低

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分子泵市場

分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都彩復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。

由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸汽被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著我國半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應(yīng)該是我國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，并研究開發(fā)各種復(fù)合分子泵、牽引泵和低溫分子泵，以滿足不同場合的需要。

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油池安裝注意事項(xiàng)　　①、拆油

②、油量控制

③、油池衛(wèi)生，防顆粒

④、對好、對稱上緊螺釘，防止有漏

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與 704FS 配合工作的安捷倫新一代分子泵控制器，變被動(dòng)保護(hù)為主動(dòng)調(diào)整，可以根據(jù)不同的工藝條件，自動(dòng)調(diào)整輸出功率和轉(zhuǎn)速，使泵在保證自身安全的同時(shí)，始終工作在一個(gè)達(dá)到一定的曲面上（3D），達(dá)到氣載量和壓縮比。同時(shí)因?yàn)楸苊饬朔肿颖贸?fù)荷運(yùn)行，可以延長其使用壽命。

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安捷倫 HLD 氦質(zhì)譜檢漏儀專為簡便易用和優(yōu)化性能而設(shè)計(jì)，其預(yù)置了 6 個(gè)不同的應(yīng)用設(shè)置，通過簡擇，即可在不同應(yīng)用間切換，對于大多數(shù)常見應(yīng)用（噴氦、分流、背壓法自動(dòng)檢漏等），直接選擇相應(yīng)的應(yīng)用即可。另外，根據(jù)每個(gè)應(yīng)用的特點(diǎn)，檢漏儀在出廠時(shí)已經(jīng)預(yù)置好了一些設(shè)置，并且每個(gè)應(yīng)用可存儲 3 組報(bào)警值，用戶可以根據(jù)不同的產(chǎn)品修改報(bào)警值并分別保存。

安捷倫 HLD 系列檢漏儀有一個(gè)好的大漏粗測模式，該模式采用的不是質(zhì)譜偏轉(zhuǎn)原理，因此不需要很好的真空，可以在高達(dá) 2 萬帕的壓力下檢漏，這一點(diǎn)對于大型真空系統(tǒng)的粗檢和復(fù)雜系統(tǒng)的排查性檢漏特別實(shí)用。