廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫分子泵Turbo-V3K-G出售

抗振動測試 通過對一批泵（處于運行和非運行條件下）進行一系列測試，證明對外部源產生振動的耐受性。在 105 分鐘的振動周期中，全轉速和不運行的每個泵在垂、水平、倒立方向上受到 0.5–2 g 加速度水平的振動。該測試證實了泵的穩定性以及耐振性，因為未觀察到轉子機械接觸或泵運行狀態的改變，且泵不平衡性仍然遠低于閾值。溫度測試 將泵置于 –40 °C 至 +70 °C（處于非運行狀態）以及 0 °C至 40 °C（處于運行狀態）下暴露 86 小時。對每個泵的不平衡性和是否可正常操作驗證 11 次，結果顯示僅存在的變異，遠低于閾值。溫度測試證實了泵在各種預期運行和非運行溫度條件下的穩定性。

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殊潤滑劑潤滑軸承

使用渦輪分子泵的高真空環境對潤滑油或潤滑脂非常敏感，因為在高真空環境下，潤滑油或潤滑脂非常容易汽化。一方面，這些油脂類的蒸氣會形成一種氣源，影響系統的真空度和純凈度；另一方面，這些蒸氣進入到真空腔體后，會冷凝附著在其它零件上，影響高真空系統內相關設備的工作。

TwisTorr 704 FS 采用安捷倫與軸承廠家合作研發的軸承，能夠任意方向安裝；并且，由于其使用的特殊潤滑劑飽和蒸汽壓極低，正常使用時幾乎沒有損耗，使得該泵在整個壽命周期內都無需進行加注潤滑脂、更換油棉等維護。

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滑閥式真空泵市場

國內外各種真空爐、鍍膜機以及干燥、浸漬等設備都是用滑閥泵作為前級泵，但是滑閥泵鑄件重，加工工作量較大，所以國外各真空廠都在中國尋找合作伙伴。為了使國產滑閥泵能夠進入國際市場，必須進一步降低泵的振動噪聲，噴油和漏油，提高滑閥泵長期運行的可靠性。

廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫分子泵Turbo-V3K-G出售維修問題

分子泵噪音大如何界定？是否有合格標準，是多少？

答：小于72db合格，噪音的大小不太好界定，需要儀器和特定的測試環境

分子泵是否對冷卻有明確要求？如風冷需要外界溫度是多少？如水冷則對水有何具體要求？如未達到要求會出現何后果？

答：注意水溫和水流量，冷卻不良會導致無故停機、碎泵、油變黑等。

分子泵電源存在接地、屏蔽等問題，應如何做才是佳方式？

答：電源本身有接地線，只需要保證市網有良好接地就可以了；屏蔽主要是指對強磁場和強輻射的屏蔽。

頻器電源，轉速上升過程中就自動關機，即顯示“Poff”？

答：原因：電壓低

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分子泵市場

分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都彩復合分子泵和牽引泵作為主泵。

由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸汽被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應用，既提高了生產效率又改善了膜層質量。隨著我國半導體工業、薄膜產業和科學研究事業迅速發展，分子泵應該是我國真空泵制造業發展的重點。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，并研究開發各種復合分子泵、牽引泵和低溫分子泵，以滿足不同場合的需要。

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油池安裝注意事項　　①、拆油

②、油量控制

③、油池衛生，防顆粒

④、對好、對稱上緊螺釘，防止有漏

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與 704FS 配合工作的安捷倫新一代分子泵控制器，變被動保護為主動調整，可以根據不同的工藝條件，自動調整輸出功率和轉速，使泵在保證自身安全的同時，始終工作在一個達到一定的曲面上（3D），達到氣載量和壓縮比。同時因為避免了分子泵超負荷運行，可以延長其使用壽命。

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安捷倫 HLD 氦質譜檢漏儀專為簡便易用和優化性能而設計，其預置了 6 個不同的應用設置，通過簡擇，即可在不同應用間切換，對于大多數常見應用（噴氦、分流、背壓法自動檢漏等），直接選擇相應的應用即可。另外，根據每個應用的特點，檢漏儀在出廠時已經預置好了一些設置，并且每個應用可存儲 3 組報警值，用戶可以根據不同的產品修改報警值并分別保存。

安捷倫 HLD 系列檢漏儀有一個好的大漏粗測模式，該模式采用的不是質譜偏轉原理，因此不需要很好的真空，可以在高達 2 萬帕的壓力下檢漏，這一點對于大型真空系統的粗檢和復雜系統的排查性檢漏特別實用。