1分鐘前 茂名存儲(chǔ)卡外殼曝光顯影廠免費(fèi)咨詢「利成感光」[利成感光38dbdb8]內(nèi)容：曝光不足，導(dǎo)致單體聚合不，那么在顯影過(guò)程中，會(huì)使的膠膜變軟，線條不清晰，色澤暗淡，脫膠。曝光過(guò)度，會(huì)造成難顯影，留有殘膠。同時(shí)曝光影響圖案的線寬，過(guò)量曝光會(huì)使圖形線條變細(xì)，蝕刻產(chǎn)品線條變粗。顯影噴淋（developer dispense）：在硅片表面涂覆顯影液。為了將顯影液均勻地涂覆到硅片表面上，顯影噴嘴分為以下幾種：E2噴嘴，LD噴嘴，GP噴嘴，MGP噴嘴等。

顯影液去除并且清洗（rinse）：達(dá)到顯影時(shí)間后，使用DIW立即沖洗晶圓表面。去離子水不僅可以使顯影過(guò)程終止，而且會(huì)把顯影后缺陷顆粒沖洗掉。在沖洗過(guò)程中，晶圓旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的離心力也對(duì)去除表面顆粒有很大的幫助。曝光不足，導(dǎo)致單體聚合不，那么在顯影過(guò)程中，會(huì)使的膠膜變軟，線條不清晰，色澤暗淡，脫膠。曝光過(guò)度，會(huì)造成難顯影，留有殘膠。同時(shí)曝光影響圖案的線寬，過(guò)量曝光會(huì)使圖形線條變細(xì)，

顯影噴淋（developer dispense）：在硅片表面涂覆顯影液。為了將顯影液均勻地涂覆到硅片表面上，顯影噴嘴分為以下幾種：E2噴嘴，LD噴嘴，GP噴嘴，MGP噴嘴等。顯影液去除并且清洗（rinse）：曝光：使用紫外線曝光機(jī)將掩膜上的圖案投射到光刻膠上。顯影：使用顯影液將未曝光的光刻膠清除掉，將芯片圖案暴露出來(lái)。刻蝕：使用化學(xué)反應(yīng)或物理方法將芯片表面的材料刻蝕掉，形成所需的電子器件結(jié)構(gòu)。清洗：將芯片在化學(xué)清洗液中清洗干凈，并使用干燥器進(jìn)行干燥。