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廈門太星機電有限公司擁有十多年真空行業經驗和銷售及維修工程師團隊組成,公司提供國外及國內廠家生產的真空泵,檢漏儀,分子泵,擴散泵,水環真空泵,螺桿真空泵,羅茨泵,真空測量,真空泵油及其備品備件。

擴散泵是真空鍍膜機的主要部件,為保證真空鍍膜機的正常穩定運行,平時對真空鍍膜機擴散泵的維護和保養就顯得尤為重要。今天成越科儀就給大家分享一下真空鍍膜機擴散泵維修與保養知識。

擴散泵工作過程中冷卻水必須保證暢通,停止加熱后必須保證泵工作液已完全冷卻后方可關閉冷卻水。

擴散泵停止工作時,泵內應保持真空狀態,以免泵油劣化。

被抽氣體應是干燥、無腐蝕、無灰塵的氣體。

擴散泵如暫時不用,保管期間應該保持真空狀態,以免泵油污染和各零件腐蝕并將冷卻水套入的剩水吹凈。保持場地的室溫應在10-40攝氏度之間。

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擴散泵在長期工作后性能會逐漸變壞,應定期檢查。如:泵油是否減少或氧化,按相應要求加油或更換處理;零件及泵腔先用航空清洗,然后用進行擦洗,并置于80-100攝氏度溫度下烘干或用電吹風吹干。處理完后,按順序進行裝配,保持泵芯與泵底垂直與泵腔同心,各級噴嘴間隙要按原要求調整好。

待水分揮發干以后裝好泵芯,加入新擴散泵油,并裝回機體,接好水管,裝好電爐盤,便可以重新開機。

在重新開機前,要注意檢漏工作。方法是:啟動維護泵,關好大門,數分鐘后,觀察真空度,同時檢查連接處是否漏裝密封膠圈,或者壓壞密封圈。排除漏氣隱患后方可加熱,否則擴散泵油會燒壞,無法進入工作狀態。

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擴散泵的缺點是返油問題,加上擋油帽和冷阱及正確操作,其返油率可降到1×10-5mg/cm2min的地步。

油擴散泵致命的缺點就是泵油返流污染被抽系統。經過大量的研究,現代擴散泵由于增加了擋油帽、障板和冷阱等措施,使擴散泵的返油率降得很低。所有的油擴散泵都存在一定程度的返流現象。返流的氣體是少量殘余的碳氫化合物。返流有兩個不同性質的來源:泵油分子朝向擴散泵頂噴咀的上方運動構成泵的主要的返流。其次要的返流是被泵壁冷凝的泵油的遷移或再蒸發。利用好的鍋爐和噴咀設計,可使主要的返流降至低。在頂噴咀上方設置水冷擋油帽,它已成為頂噴咀的攔截返油的水冷裝置,由于不斷對冷帽結構的改進,使主要返流大大降低。

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利用水冷擋油帽,使泵的抽速稍有損失外,可使返油率降低。對于許多應用場合是允許的。若在系統附加些管道、閥門和彎管,可使真空室的返流降低1/10~1/1000。若利用水冷式的光學密閉的障板,可限制主要返流,但使泵的抽速約下降50%。次要的返流(即冷凝在表面上的泵油遷移和再蒸發是表面溫度和泵油蒸汽壓的函數,到達真空室的這種返流量取決于設置在泵與真空室之間的冷阱的幾何形狀和溫度,常用液氮( 77K)冷阱來捕集油分子。因此真空室的壓力明顯地低于泵油的蒸汽壓。障板或冷阱不僅必須光學密閉,而且還必須使進入障板或冷阱的油分子與冷面少碰撞一次。對于使用吸附劑(如沸石)的障板,為避免油分子直線飛行,要設置交錯的吸附劑托盤。沸石是一種含有直徑比氣體分子直徑稍大的微孔物質。1盎司( 28.35g)沸石內部約有5英畝吸附面積,在小型超高真空系統中,使用分子吸附劑障板是有效的。因為在低壓下,在幾個星期內它能連續地吸附碳氫化合物和其它氣體,并不需要液氮。

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