兩種或兩種以上的氣體混合通過高分子膜時，由于各種氣體在膜中的溶解度和擴散系數的差異，導致不同氣體在膜中相對滲透速率有所不同。根據這一特性，可將氣體分為“快氣”和“慢氣”。

當混合氣體在驅動力——膜兩側壓差的作用下，滲透速率相對較快的氣體和水、氧、二氧化碳等透過膜后在膜滲透側被富集，而滲透速率相對較慢的氣體如氮氣、、氣等則在滯留側被富集，從而達到混合氣體分離之目的。

深冷制氮的工藝流程和設備簡介

1、深冷制氮的典型工藝流程：

整個流程由空氣壓縮及凈化、空氣分離、液氮汽化組成，見圖-1。

⑴ 空氣壓縮及凈化

空氣經空氣過濾器清除灰塵和機械雜質后進入空氣壓縮機，壓縮至所需壓力，然后送入空氣冷卻器，降低空氣溫度。再進入空氣干燥凈化器，除去空氣中的水份、二氧化碳、及其它碳氫化合物。

⑵ 空氣分離：

凈化后的空氣進入空分塔中的主換熱器，被返流氣體（產品氮氣、廢氣）冷卻至飽和溫度，送入精餾塔底部，在塔頂部得到氮氣，液空經節流后送入冷凝蒸發器蒸發，同時冷凝由精餾塔送來的部分氮氣，冷凝后的液氮一部分作為精餾塔的回流液，另一部分作為液氮產品出空分塔。

由冷凝蒸發器出來的廢氣經主換熱器復熱到約130K進膨脹機膨脹制冷為空分塔提供冷量，膨脹后的氣體一部分作為分子篩的再生和吹冷用，然后經排入大氣。

⑶ 液氮汽化

由空分塔出來的液氮進液氮貯槽貯存，當空分設備檢修時，貯槽內的液氮進入汽化器被加熱后，送入產品氮氣管道。

深冷制氮可制取純度≧99.999%的氮氣。

分子篩空分制氮

也叫PSA或變壓吸附式，以空氣為原料，以碳分子篩作為吸附劑，運用變壓吸附原理，利用碳分子篩對氧和氮的選擇性吸附而使氮和氧分離的方法，通稱PSA制氮。此法是七十年代迅速發展起來的一種新的制氮技術。與傳統制氮法相比，它具有工藝流程簡單、自動化程度高、產氣快(15～30分鐘)、能耗低，產品純度可在較大范圍內根據用戶需要進行調節，操作維護方便、運行成本較低、裝置適應性較強等特點，故在3000Nm3／h以下制氮設備中頗具競爭力，越來越得到中、小型氮氣用戶的歡迎，PSA制氮已成為中、小型氮氣用戶的方法。

制氮機的優點：

1.制氮機生產流程簡易、自動化技術水平高、產氣快(15～三十分鐘)、耗能低，商品純度可在很大范疇內依據客戶必須開展調整，實際操作維護保養便捷、運作成本費較低。

2.制氮機的主要用途普遍，可用以SMT行業應用

，半導體材料硅領域應，半導體封裝行業應用，電子元件行業應用，化工廠、新材料行業行業應用

，粉未冶金，金屬材質的激光切割加工領域，熱處理工藝行業應用

食品類、醫

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藥領域行業應用，別的應用行業。

3.制氮機的技術性，與眾不同的氣旋遍布器，使氣旋遍布更勻稱，地運用碳分子篩，二十分鐘上下就可以出示達標的氮氣。

4.制氮機是選用的進口碳分子結構，可使制氮機的長壽命達十年之上。

5.制氮機機器設備結構緊湊、總體撬裝，占地面積小不用基礎設施投資，項目投資少，健身運動構件少，非常容易清理。

6.制氮機產氣速度更快，傳統式的制氮機要12個鐘頭才可以產出率氮氣，如今的制氮機當場只需聯接開關電源就可以制得氮氣。

7.制氮機的氮氣純度高，可做到99.9999%之上，還可依據您的規定隨意的調整。

8.制氮機一般可在室內溫度和不太高的壓力下工作中，料層再造時無需加溫，環保節能經濟發展。

9.制氮機系統軟件自動式運作，整個過程可完成無人化。客戶可根據實時監控，做到對機器設備啟動、關機、總流量、氮氣純度、氣體壓力、氮氣壓力、水分含量的全天監管、調整，不過關氮氣完成全自動警報和排盡。