真空箱式氦檢漏設備

適用對各類被檢要求氣密性漏率的產品（以下簡稱工件）進行真空法檢漏。同步對工件和真空箱抽真空，使工件內外壓差不大0.04Mpa，對被檢工件充注氦氣，應用真空箱法進行氦質譜氣密性檢測，通過該裝置判斷出被檢工件中的合格與不合格。逆擴散系統檢漏儀與常規系統相比，被檢件只與低真空相通,因此只需將被檢工件抽至低真空就能進行檢漏，氦氣是逆擴散到質譜管,不會對系統有污染,因此被廣泛采用,已成為市場的主品。然后將被檢工件內的氦氣回收循環使用，向工件內充入規定壓力的SF6工作氣體。系統嚴格按照客戶的要求設計制造，采用模塊化的設計，充分考慮客戶的檢漏要求，同時也盡可能采用標準化的模塊和部件，保證了系統的可靠性和可維護性。設備適應用電力行業,家用空調，制冷行業，汽車行業，新能源行業的氣密性檢測、應具有氣體充注。大漏判定功能，微漏定量檢漏功能，工件泄漏總的判定功能，并能滿足連續生產的需求，具有較高的自動化程度，操作簡便、可靠、安全。

真空箱氦檢漏

真空箱氦檢漏，根據氦檢漏的基本檢漏原理，用氦氣作為示蹤氣體，在真空箱內將氦氣充入工件，然后通過氦檢漏儀能、迅速準確的判斷工件的泄露情況。

基本技術參數編輯真空箱數量： 根據實際需要真空箱容積： 根據實際需要示漏氦氣壓力：根據實際需要耐壓試驗壓力：根據實際需要檢漏生產節拍：根據實際需要氦氣回收率： ≧98%‘’

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氦檢漏設備

氦質譜檢漏儀的噪聲主要來源于電路噪聲和本底噪聲，目前設備電子線路和電子元件的改進，使得電路噪聲已經降得很低，因此氦質譜檢漏儀的本底噪聲成為影響設備性能的主要因素。而其本底噪聲的產生主要是由于本底峰的不穩定造成的，主要形成的原因包括：

一、離子源中的發射電流、加速電壓以及分析器的電磁參數不穩定。

二、真空油脂、橡膠材料、有機絕緣材料都可吸附和再釋放出氦氣，而電離規，特別是磁放電真空規對氦有記憶效應，其表面污染時就更為嚴重。

三、抽氣系統中抽速不穩定和氦的反擴散。

四、檢漏儀中空氣的本底影響。

五、殘余氣體分子對離子的散射作用。

六、燈絲和其他電極受機械振動引起的效應。

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