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公司基本資料信息
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采用壓力控制器方案,控制往真空腔體內充入的惰性氣體的壓力以營造一個控制良好的鍍膜環境。與反應腔體直接連接的外置真空計測量持續的過程壓力,該壓力讀數通過模擬信號傳輸到壓力控制器并顯示。
進入腔體內的參與反應的氣體的流量由質量流量控制器控制。因為上述的壓力控制器可以測得腔體內的壓力、并通過調節非反應類氣體的含量實時調節過程壓力,從而使腔體內形成利于沉積的鍍膜環境。
釹鐵硼稀土磁性材料是一種問世不久的新型強磁材料。近年來在小型馬達、汽車電子,工具、揚聲器、電力工具等方面應用發展很快。但釹鐵硼稀土磁性材料弱點是容易被空氣中的水分及氧氣所腐蝕,因此必須有一個的防護涂層釹鐵硼稀土磁性材料才有使用價值。
Parylene涂層不僅有優異的介電性能、低的介質損耗和高的介電強度,同時具有優良的機械性能和耐輻射性能。Parylene如此高的介電強度主要歸功于Parylene能形成連續無缺陷和無其它填充物的薄膜。