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公司基本資料信息
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采用壓力控制器方案,控制往真空腔體內(nèi)充入的惰性氣體的壓力以營(yíng)造一個(gè)控制良好的鍍膜環(huán)境。與反應(yīng)腔體直接連接的外置真空計(jì)測(cè)量持續(xù)的過(guò)程壓力,該壓力讀數(shù)通過(guò)模擬信號(hào)傳輸?shù)綁毫刂破鞑@示。
進(jìn)入腔體內(nèi)的參與反應(yīng)的氣體的流量由質(zhì)量流量控制器控制。因?yàn)樯鲜龅膲毫刂破骺梢詼y(cè)得腔體內(nèi)的壓力、并通過(guò)調(diào)節(jié)非反應(yīng)類氣體的含量實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)過(guò)程壓力,從而使腔體內(nèi)形成利于沉積的鍍膜環(huán)境。
釹鐵硼稀土磁性材料是一種問(wèn)世不久的新型強(qiáng)磁材料。近年來(lái)在小型馬達(dá)、汽車電子,工具、揚(yáng)聲器、電力工具等方面應(yīng)用發(fā)展很快。但釹鐵硼稀土磁性材料弱點(diǎn)是容易被空氣中的水分及氧氣所腐蝕,因此必須有一個(gè)的防護(hù)涂層釹鐵硼稀土磁性材料才有使用價(jià)值。
Parylene涂層不僅有優(yōu)異的介電性能、低的介質(zhì)損耗和高的介電強(qiáng)度,同時(shí)具有優(yōu)良的機(jī)械性能和耐輻射性能。Parylene如此高的介電強(qiáng)度主要?dú)w功于Parylene能形成連續(xù)無(wú)缺陷和無(wú)其它填充物的薄膜。