標(biāo)準(zhǔn)氣體的檢測

標(biāo)準(zhǔn)氣體的量值是否滿足要求， 分析檢測是重要的環(huán)節(jié)之一。按照制備方法充裝完成后， 量值的均勻性，穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性如何， 必需靠分析檢測來完成。氣相色譜法作為廣泛應(yīng)用的定量分析方法已被人們認(rèn)同，分離柱已從填充柱發(fā)展到毛細(xì)管柱，大大優(yōu)化了柱效能， 而檢測技術(shù)已從常量檢測發(fā)展到微量及痕量分析。

常用的檢測器包括TCD、 FID、 ECD、FPD、 TSD、 HID、DID、PDID，化學(xué)分析作為經(jīng)典分析方法也常用在腐蝕性氣體的分析中， 紅外光譜法、可見--紫外光譜法、 色譜/質(zhì)譜聯(lián)用技術(shù)也常用在氣體分析中。

安全貯運

1. 危險品專車運輸, 是廠家直接送貨并有合格的押運員, 懂行的搬運工, 輕裝輕卸。

2. 瓶帽必須配戴好, 避免在汽車急剎車及裝卸過程中撞開瓶閥發(fā)生危險, 特別是高純氫等易i燃?xì)獾倪\輸。

3. 禁止高純氧、空氣和可燃?xì)怏w混裝。

同時, 嚴(yán)禁煙火, 運輸工具上應(yīng)備有滅火器材。

4. 夏季運輸應(yīng)有遮陽設(shè)施, 避免曝曬。

5. 有氣體倉庫貯存。氣瓶倉庫應(yīng)通風(fēng)干燥、清潔, 避免陽光直射, 氣瓶庫應(yīng)清楚地i標(biāo)明“氣瓶貯存”字樣, 顯示適當(dāng)?shù)奈ｋU標(biāo)記(例如易i燃、易i爆、有毒等) 。

6. 有專人負(fù)責(zé)管理, 驗收核實, 登記發(fā)放做到有帳可查。

7. 不管是倉庫還是使用場所, 空瓶與實瓶都應(yīng)分開放置, 并有明顯標(biāo)志。毒性氣體氣瓶和瓶內(nèi)氣體相互接觸能引起燃燒、爆i炸, 產(chǎn)生毒物的氣瓶應(yīng)分室存放, 并在附近設(shè)置防毒用具、滅火器材。

8. 放置氣瓶時應(yīng)配戴好瓶帽。立放時要妥善固定, 防止倒瓶碰壞瓶閥。

9. 氣瓶露天使用時應(yīng)加以防護, 防止生銹和侵蝕, 庫存瓶要定期檢查, 色標(biāo)、合格證、泄漏等如不清楚、有疑問, 應(yīng)及時和廠家聯(lián)系, 分析確認(rèn)后才可使用。

10. 另外氣體采購計劃按生產(chǎn)需要的實際情況盡量做到現(xiàn)購現(xiàn)用, 以防止使用過期鋼瓶, 同時可減少很多不安全因素。

建議生產(chǎn)及銷售石化特種氣體的單位在產(chǎn)品出廠時瓶嘴上戴防污帽。建議運輸部門生產(chǎn)鋼瓶運輸車。

氣體產(chǎn)品大至可以分為兩大類別，即一般工業(yè)氣體和特種氣體。一般工業(yè)氣體是指經(jīng)過空氣分離設(shè)備制造的普通級的氧氣和氮氣、經(jīng)過焦?fàn)t氣分離或電解等方法制造出來的普通純度的其它種類氣體。工業(yè)氣體一般要求生產(chǎn)量大，但對氣體的純度要求不高。特種氣體則是用途有別于一般氣體的氣體。它在純度、品種、性能等方面都是嚴(yán)格按照一定規(guī)格進行生產(chǎn)和使用的。特種氣體因種類　很多，又可以分為三類，即高純氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體和電子特種氣體。

1、高純氣體

高純氣體通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能制取的某個純度等級的氣體，純度等級可以不同。

2、一般混合氣體

由兩種以上氣體混臺配制而成的氣體，而且主要標(biāo)出大致濃度，即可滿足使用要求，這種氣體稱為一般混合氣體。

其中主要應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路的消費制造。在半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用的有110余種單元特種氣體，其中常用的有20~30種。在集成電路制造應(yīng)用方面詳細(xì)包括集成電路芯片制程、化學(xué)氣相堆積和氣體應(yīng)用、刻蝕和氣體應(yīng)用、摻雜和氣體應(yīng)用。

在太陽能電池應(yīng)用方面詳細(xì)包括太陽能電池的應(yīng)用、晶體硅太陽能電池消費工藝和氣體應(yīng)用、薄膜太陽能電池消費工藝和氣體應(yīng)用；在化合物半導(dǎo)體應(yīng)用方面詳細(xì)包括化合物半導(dǎo)體的應(yīng)用、MOCVD/LED消費工藝和氣體應(yīng)用。